研究者詳細 - 村上　直

射出成形金型の変形に伴う成形不良に関する研究

道平和樹, 石井将規, 是澤宏之, 楢原弘之, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2024S ( 0 ) 201 - 202 2024年02月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

射出成形法で用いる金型は弾性体であるため，樹脂による大きな圧力で変形が生じる．この変形挙動は未解明であるとともに，様々な成形不良が生じている．本報では，樹脂圧力により金型分割面が変形し間隙が生じることによって発生する成形不良に着目する．よって成形機を含めた構造解析等により金型変形について検討した．

DOI： 10.11522/pscjspe.2024s.0_201

Self-Propelled Capsule Endoscope and Tracking Control of Its Wireless Power Supply Coil 査読有り国際誌

Ito T., Fujita K., Miyauchi K., Murakami S., Ohtake H., Katsuta C., Karasawa K., Tanaka A., Matsuda H., Kimura T., Kutsumi H.

2024 1st International Conference on Robotics, Engineering, Science, and Technology, RESTCON 2024 12 - 15 2024年01月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

We have developed the self-propelled capsule endoscope. Although it is the same size as a conventional capsule endoscope, with a diameter of 11 mm and a length of 31 mm, it can travel inside the gastrointestinal tract. A running mechanism that uses vibrations allows it to run without any protrusions on the outer shell. Therefore, there is no risk of harming the inside of the body. This is a noteworthy feature of this capsule. Experiments have confirmed that this capsule can travel in the intestines of living dogs. Because the power supply to this capsule needs to continue stably for over an hour, we developed a wireless power supply method to the internal capsule. Conventional wireless power supply with a fixed power transmission coil had the problem that power supply would be interrupted if the capsule moved. Therefore, we investigated stabilizing the power supply by moving the power transmission coil in X-Y to follow the capsule in response to increases and decreases in the power supply. We were able to confirm the feasibility through experiments. This technology can be expected to perform endoscopic examinations with less burden on both patients and doctors, and can also be applied to power supply to medical devices inside the body.

DOI： 10.1109/RESTCON60981.2024.10463562

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85190245182&origin=inward

北九州から未来のイノベーションを:株式会社安川電機招待有り

岩崎　正裕, 村上　直

精密工学会誌 ( 公益社団法人　精密工学会 ) 89 ( 12 ) 901 - 902 2023年12月

弾性表面波デバイス基板両面への温度・流量測定のための素子構造の追加作製（共著）

蜷川渉，永野朝日，村上直，伊藤高廣

第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 ( 電気学会 ) 40 3p-, 2023-11 2023年11月

タンタル酸リチウム基材上に作製した弾性表面波デバイスの特性に関する研究　第2報

井上滉平, 岩﨑渉, 森田伸友, 伊藤高廣, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2023A ( 0 ) 557 - 558 2023年08月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

弾性表面波（SAW）デバイスは基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスである。我々はSAWを利用した化学センサの構築へ向け、挿入損失の小さいデバイスの開発を試みている。本研究では、36度回転Y板X伝搬タンタル酸リチウム単結晶基材上にSAWデバイスを作製し、電極の材質および形状の違いによる挿入損失などのデバイス特性の比較・評価を行った。

DOI： 10.11522/pscjspe.2023a.0_557

消化管内走行カプセルの研究

宮内研侍, 藤田康平, 伊藤高廣, 村上直, 木村俊広

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2023A ( 0 ) 132 - 133 2023年08月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

自走式カプセル内視鏡のワイヤレス給電手法を検討した。従来の、送電コイル固定のワイヤレス給電では、カプセルが移動すると給電が途切れる問題があった。そこで給電電力の増減に応じて送電コイルをX-Y動作させカプセルに追従して給電を安定させる検討を行った。実験により実現可能性を確認することが出来た。本技術により、患者・医師双方に負担が少ない内視鏡検査が期待でき、体内医療機器への給電にも応用できる。

DOI： 10.11522/pscjspe.2023a.0_132

溶解型マイクロニードルアレイの成形

髙木悠成, 武井栄憲, 天野菜摘, 引間知広, 伊藤高廣, 村上直, 椿浩忠, 松尾正昭, 原正哉, 田代康典, 鬼木喬玄

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2023A ( 0 ) 128 - 129 2023年08月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

本研究では溶解型マイクロニードルアレイ（医療用、美容用）の成形方法を検討し、評価した。実験では生体適合性および生分解性高分子材料を用い、遠心分離と陰圧の2種類の方法で成形した針を試作した。上記条件において成形後の針の高さ、形状を比較することで最も成形精度の良い条件を求めた。実験をした結果、良好な形状を成形でき、実用化への可能性を確認できた。

DOI： 10.11522/pscjspe.2023a.0_128

その他リンク： https://kyutech.repo.nii.ac.jp/records/2001135

射出成形金型の成形中の変形挙動に関する研究

道平和樹, 是澤宏之, 楢原弘之, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2023A ( 0 ) 721 - 722 2023年08月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

射出成形法で用いる金型は弾性体であるため，成形中に樹脂による大きな圧力で変形が生じる．しかし，この変形挙動を詳しく解明できていない．よって様々な成形不良が生じている．本報ではその中でバリという成形不良に着目する．バリは樹脂圧力により金型分割面に間隙が生じることが一つの原因である．よって射出成形機の変形も考慮した構造解析を用いて金型分割面に生じる間隙を求め，検討した．

DOI： 10.11522/pscjspe.2023a.0_721

多段階のエッチングを用いた複合形状の微小柱状構造アレイの作製

角田大成, 岩崎正裕, 村上直, 坂本憲児, 伊藤高廣

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2023S ( 0 ) 642 - 643 2023年03月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

基材表面への微細加工の手法として、エッチング加工が挙げられる。特にシリコンの深掘りエッチング(DRIE)は、シリコン基材の表面に微小な3次元構造体を加工・構築するために重要な技術であり、樹脂成形のための鋳型構造の作製にも適用可能である。本研究では、DRIEを含む多段階のエッチング加工を用いて、シリコン基材表面に複合形状の微小柱状構造アレイを作製した結果を報告する。

DOI： 10.11522/pscjspe.2023s.0_642

デバイス基材表面の構造による弾性表面波の伝搬特性の制御の試み

岩崎正裕, 井上滉平, 村上直, 伊藤高廣

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2023S ( 0 ) 640 - 641 2023年03月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

弾性表面波(SAW)デバイスは圧電マイクロデバイスの一種である。そのデバイス特性は、くし歯型電極を含む素子構造や基材の種類・方位に応じたSAW伝搬特性により影響される。複数のSAW素子を同一の基材上に配置（アレイ化）する場合、各素子で励振されたSAWの近接素子との相互作用を抑制することが求められる。そこで本研究では、デバイス基板への表面構造の作製等により、SAW伝搬特性を制御することを試みた。

DOI： 10.11522/pscjspe.2023s.0_640

タンタル酸リチウム基材上に作製した弾性表面波デバイスの特性に関する研究

井上滉平, 岩崎渉, 森田伸友, 伊藤高廣, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2023S ( 0 ) 638 - 639 2023年03月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

弾性表面波（SAW）デバイスは、基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスである。36度回転Y板X伝搬タンタル酸リチウム単結晶基材上を伝搬するSAWを用いると液相系センサを構築できることが報告されている。本研究では、液相系センサ構築へ向け上記基材上にSAWデバイスを作製し、SAW伝搬面に液体を負荷した場合におけるデバイス特性の評価および制御を試みた。

DOI： 10.11522/pscjspe.2023s.0_638

Impulse-Driven Traveling Capsule Endoscope 査読有り国際誌

Katsuta C., Ito T., Murakami S., Ohtake H., Karasawa K., Tanaka A., Kimura T., Kutsumi H.

Mechanisms and Machine Science 148 960 - 967 2023年01月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

We have developed a traveling small capsule, which has a smooth outer surface and is driven by inertia force and friction force. Measuring only 11 mm in diameter and 31 mm in length, it is sufficiently small to be placed in the human intestines. Although the capsule does not have wheels nor legs, it can travel utilizing vibration. For these reasons, there is nothing protruding to harm the soft tissue of intestine. The capsule contains a small magnet, a coil, batteries or capacitors and a circuit, and an electric pulse drives the magnet to move the capsule. We have derived a simple method to estimate the optimum frequency of the running mechanism vibration for the capsule to move at maximum velocity. In experiments using pig intestines and live dogs, we confirmed locomotion in the intestines and wireless transmission of camera images. We have also confirmed that wireless power transfer can be used to move the capsule in vivo. Our capsule may be useful for medical treatments such as inspection and drug delivery.

DOI： 10.1007/978-3-031-45770-8_95

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85177606504&origin=inward

Microfabrication of surface acoustic wave devices with AlN thin film deposited on half-inch quartz wafer 査読有り国際誌

Nagano A., Kitamura K., Noda S., Murakami S., Iguchi K., Khumpuang S., Hara S.

Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi) 215 ( 4 ) 2022年12月

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

In this paper, we have fabricated surface acoustic wave (SAW) devices with six sets of interdigital transducers (IDTs) on half-inch wafers of quartz with deposited thin films of aluminum nitride (AlN). Firstly, AlN thin films have been deposited by reactive sputtering in Ar-N2 gas mixture at 400°C with the high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) system which was developed for microfabrication process in the localized clean environment with half-inch wafer (Minimal Fab). After that, IDTs of Al thin films have been prepared on the AlN thin films. The X-ray diffraction (XRD) pattern of the AlN thin films shows that the AlN films have c-axis (002) orientation. Furthermore, the frequency responses have been measured with four paired IDTs of the SAW devices, which were selected from six sets of IDTs as an input electrode and an output electrode. These results show device properties responding to the design of the IDTs and also suggest the potential of the fabricated SAW devices as the four-paralleled frequency filter and/or sensing system.

DOI： 10.1002/eej.23412

ハーフインチ水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの作製査読有り

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85141419117&origin=inward

Impulse-driven capsule for medical inspection -Improvement of drive mechanism-

Koki KOIZUMI, Koki IWASHITA, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Toshihiro KIMURA k, Kaoru KARASAWA, Chihiro KATSUTA, Akane TANAKA, Hiromu KUTSUMI

Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022) ( The Japan Society for Precision Enginnering (JSPE) ) 2022年11月

Microfabrication of surface acoustic wave devices with micro-patterned AlN thin films 国際誌

Sunao Murakami, Kanato Kitamura, Takahiro Ito

Conference Proceedings of the 13th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2022) 43 - 44 2022年10月

永野朝日, 北村奏人, 野田周一, 村上直, 井口航平, クンプアンソマワン, 原史朗

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） ( 一般社団法人電気学会 ) 142 ( 9 ) 248 - 253 2022年09月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

In this paper, we have fabricated surface acoustic wave (SAW) devices with six sets of interdigital transducers (IDTs) on half-inch wafers of quartz with deposited thin films of aluminum nitride (AlN). Firstly, AlN thin films have been deposited by reactive sputtering in Ar-N2 gas mixture at 400°C with the high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) system which was developed for microfabrication process in the localized clean environment with half-inch wafer (Minimal Fab). After that, IDTs of Al thin films have been prepared on the AlN thin films. The X-ray diffraction (XRD) pattern of the AlN thin films shows that the AlN films have c-axis (002) orientation. Furthermore, the frequency responses have been measured with four paired IDTs of the SAW devices, which were selected from six sets of IDTs as an input electrode and an output electrode. These results show device properties responding to the design of the IDTs and also suggest the potential of the fabricated SAW devices as the 4-paralleled frequency filter and/or sensing system.

DOI： 10.1541/ieejsmas.142.248

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85139170836&origin=inward

消化管内カプセル走行改善の研究

小泉皓暉, 伊藤高廣, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2022S ( 0 ) 221 - 222 2022年03月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

走行カプセルに突起を付けた場合の走行性能の改善についての研究を行った。従来のカプセルはなめらかな形状で、振動によって前進する。このカプセルに突起を付けることが、走行にどのような影響を及ぼすのか、実験による検証を行った。突起の大きさ、場所、角度を変えて成形した10種類のカプセルを用い、走行速度の測定実験、障害物の乗り越え実験を行った。その結果、走行スピードは50％以上の向上が可能となった。

DOI： 10.11522/pscjspe.2022s.0_221

AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究

井口航平, 岩崎渉, 森田伸友, 伊藤高廣, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2022S ( 0 ) 284 - 285 2022年03月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

弾性表面波(SAW)デバイスは、基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスであり、センサへの応用が期待されている。高感度なセンサとして利用するためには、高い周波数帯域で小さな伝搬損失が必要であり、AlNの結晶性とSAWデバイスの設計値がデバイス特性に大きく影響する。本研究では、AlNの結晶性とSAWデバイスの波長と伝搬距離に応じた特性変化について調査した。

DOI： 10.11522/pscjspe.2022s.0_284

AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究

井口航平, 岩崎渉, 上原雅人, 大曲新矢, 本村大成, 森田伸友, 伊藤高廣, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2021A ( 0 ) 360 - 361 2021年09月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

弾性表面波（SAW）デバイスは、基材の表面近傍を伝播する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスであり、センサへの応用が期待されている。高感度なセンサとして利用するためには、より高い信号強度での動作が必要であり、その圧電材の特性がデバイス性能に大きく影響する。AlN薄膜では、結晶性を改善することにより圧電性を向上できる。本研究では、AlN薄膜の結晶性に応じたSAWデバイスの特性変化について調査した。

DOI： 10.11522/pscjspe.2021a.0_360

自走式カプセル内視鏡の研究

岩下広樹, 伊藤高廣, 村上直, 木村俊広, 唐澤薫, 勝田ちひろ, 田中あかね, 久津見弘

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2021A ( 0 ) 385 - 386 2021年09月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

診断画像の無線送信機能や走行機構を備えた次世代型のカプセル内視鏡の研究を行っている。しかし、これらの追加機能を実装するにあたり、電力不足の問題が発生しており、これを体外からの無線給電により解決しようと試みている。本研究における無線給電では、kHz帯を用いた磁界共鳴方式を採用している。給電に使用する送電コイルのパラメータと供給電力の関係を調査し、動物実験において給電システムの評価を行った。

DOI： 10.11522/pscjspe.2021a.0_385

点滴流量計測小型高精度化の研究

内村護, カチョーンルンルアンパナート, 伊藤高廣, 村上直

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2021A ( 0 ) 383 - 384 2021年09月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

点滴治療では流量管理は安全確保や時間管理に不可欠である．主な制御方法として点滴筒内の滴下速度の調整があるが，薬液によっては含有する界面活性剤による影響等により，1滴が規格以下の体積で落下するため，精度を高めるために手間や費用がかけられている．本研究では，液滴の体積測定に光を用いることで，高精度な流量測定が可能となり，光路の工夫によって小型化にも成功した．点滴装置の性能向上に資することが期待される．

DOI： 10.11522/pscjspe.2021a.0_383

医療用マイクロニードルの研究

川端一輝, 松島俊也, 水口凌, 伊藤高廣, 引間知広, 村上直, 松尾正昭, 田代康典, 原正哉, 椿浩忠

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2021A ( 0 ) 387 - 388 2021年09月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

近年、投薬時の痛みが少なく、患者への負担の少ない投薬方法としてマイクロニードル（MN）を用いた投薬方法が注目されている。投薬性能を有し、金型を用いた射出成形による生産性の高いMNの作製を目指す。本研究では、生分解性材料を用いて、本数違いの烏口型MNを作製し、成形精度の測定と穿刺実験を行った。その結果、烏口型ＭＮの本数違いに伴って、成形精度と穿刺性能の違いが見られた。

DOI： 10.11522/pscjspe.2021a.0_387

Improved design of polymer micromachined transmission for flapping wing nano air vehicle（共著）査読有り国際誌

Rashmikant, Daisuke ISHIHARA, Ryotaro SUETSUGU, Sunao MURAKAMI, Prakasha RAMEGOWDA

Proceedings of the 16th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2021) ( IEEE ) 1320 - 1325 2021年04月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

China Xiamen 2021年04月25日 - 2021年04月29日

This paper presents an improved design of polymer micromachined transmission for flapping-wing Nano Air Vehicles (FWNAVs) in comparison with our last design. Design Improvement includes (1) reduction of the crack and fracture during microfabrication, and (2) performance improvement of the transmission. The novelty of our polymer micromachined transmission includes (1) the transmission mechanism based on the geometrical nonlinear bending deformation, and (2) the complete 2.5-dimensional structure that can be fabricated using standard microfabrication techniques including the etching, the photolithography, the deposition, and the curing process. The complete 2.5-dimensional structure requires no post-assembly and leads to further miniaturization without so much difficulty. Each wing of FWNAVs will be driven by the proposed transmission and actuator separately. The present transmission can produce around 40° stroke angle, which is about 50% higher than that of our previous work without considering the mass effect.

DOI： 10.1109/NEMS51815.2021.9451440

その他リンク： https://ieeexplore.ieee.org/document/9451440

微小柱状構造アレイの作製におけるドライエッチングの条件検討

山本雅喜, 村上直, 伊藤高廣

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2021 ( 0 ) 822 - 823 2021年01月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

オンライン開催 2021年03月16日 - 2021年03月22日

シリコン基材表面への微小な3次元構造体の作製手法として、微細加工技術であるエッチングが挙げられる。特に、シリコンの深堀ドライエッチングは微細な3次元構造体を加工するために重要な技術であり、この技術を利用することで、シリコンウエハより、樹脂成形のための鋳型を作製することも可能である。今回は、シリコンウエハ上に樹脂成形用の凸形状の鋳型構造を作製することを目的に、ドライエッチングの条件検討を行った。

DOI： 10.11522/pscjspe.2021S.0_822

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/130008084230

New shape microneedle array for medical application（共著）査読有り国際誌

Shunya MATSUSHIMA, Kazuya YAMADA, Yuki MIZUNO, Tatsuya FUKUDA, Takahiro ITO, Tomohiro HIKIMA, Sunao MURAKAMI, Hirotada TSUBAKI, Masaya HARA, Yasunori TASHIRO

Proceedings of 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020) ( （公社）精密工学会 ) C-2-1 2020年11月

Fabrication of microneedle array for medical application（共著）査読有り国際誌

Kazuya YAMADA, Shunkya MATSUSHIMA, Yuki MIZUNO, Tatsuya FUKUDA, Kanae TAKASAWA a, Takahiro ITO* a, Sunao MURAKAMI a, Tomohiro HIKIMA, Hirotada TSUBAKI, Masaya HARA, Yasunori TASHIRO, Masaaki MATSUO

Proceedings of 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020) ( （公社）精密工学会 ) C-2-2 2020年11月

Impulse-driven Capsule for Medical Inspection（共著）査読有り国際誌

Yuichiro KAWASHIMA, Kenta ASAI, Shotaro WATANABE, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Kaoru KARASAWA, Chihiro KATSUTA, Akane TANAKA, Hiromu KUTSUMI

Proceedings of 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020) ( （公社）精密工学会 ) C-2-3 2020年11月

Polymer micromachined transmission for insect–inspired flapping wing nano air vehicles（共著）査読有り国際誌

Daisuke ISHIHARA, Sunao MURAKAMI, Naoto OHIRA, Jyunpei UEO, Masakatsu TAKAGI, Kohei URAKAWA, Tomoyoshi HORIE

Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2020) 176 - 179 PS2.3 2020年09月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

online 2020年09月27日 - 2020年09月30日

This paper presents a polymer micromachined transmission from small translational displacement to large rotational displacement, which has the potential for further miniaturizing a variety of micro robot applications such as insect-inspired flapping wing nano air vehicles (FWNAVs). Innovative claims include (1) the transmission mechanism using a geometrically nonlinear bending, (2) the microfabrication process consisting of only the standard steps such as the deposition, the photolithography, the curing, and the release without any post-assembling, and (3) the stroke angle of about 40° without any dynamic effect.

DOI： 10.1109/NEMS50311.2020.9265594

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85098514474&origin=inward

110年の伝統と歴史に裏付けられた技術:株式会社唐津プレシジョン（共著）招待有り

北村奏人, 村上直

精密工学会誌 ( 公益社団法人精密工学会 ) 86 ( 8 ) 618 - 619 2020年01月

医療用マイクロニードルアレイの作製（共著）

山田一也, 原正哉, 田代康典, 松尾正昭, 松島俊也, 水野有希, 福田龍彌, 高澤香奈衣, 伊藤高廣, 引間知広, 村上直, 椿浩忠

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2020 ( 0 ) 472 - 473 2020年01月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

従来の注射に代え、皮膚から体内に薬物を入れる、マイクロニードルアレイを開発した。皮膚に貼るだけで、いつでもどこで誰でも、痛みなく薬を投与できるようになる。工業的生産を目指し、作製には射出成形を用いた。マイクロニードルの先端を十分に鋭くする製造方法及び、精密金型を開発した。表面形状評価、穿刺深さの測定を行いマイクロニードルが十分な性能を持つことを確認した。

DOI： 10.11522/pscjspe.2020A.0_472

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/130007989100

微小3次元構造アレイ作製におけるシリコン基板表面の結晶方位の影響（共著）

村上直, 木原帆慧, 伊藤高廣

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2020 ( 0 ) 491 - 492 2020年01月

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

シリコン基材表面への微小な3次元構造体の作製手法として、除去加工であるエッチングが挙げられる。特に、特定の方向にのみ基材を除去する加工を異方性エッチングという。著者らはこれまでも、シリコン基材の異方性エッチングにより、シリコン基板表面へ、微小3次元構造体のアレイの作製を行ってきた。今回は、その3次元構造体アレイの作製において、シリコン基材の結晶方位が及ぼす影響等について検討した。

DOI： 10.11522/pscjspe.2020A.0_491

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/130007989053

自走式カプセル内視鏡の研究（共著）

川島雄一朗, 浅井謙太, 渡邉翔太朗, 伊藤高廣, 村上直, 唐澤薫, 勝田ちひろ, 田中あかね, 久津見弘

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2020 ( 0 ) 474 - 475 2020年01月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

従来のチューブ型の内視鏡に代わる新しい内視鏡検査の手法として、近年カプセル内視鏡が普及し始めている。筆者らが提案する、コイルと磁石の振動を利用した走行機構を搭載することで、検査時間の大幅な短縮が見込める。また、無線カメラモジュールの搭載により、チューブ型の内視鏡のようにリアルタイムでの検査を行うことも可能である。今回、イヌを用いた実験により。腸内でのカプセルの走行、カメラ画像の無線伝送を確認した。

DOI： 10.11522/pscjspe.2020A.0_474

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/130007989098

2種類の圧電材を積層した弾性表面波デバイスの周波数特性（共著）

力丸真也, 北村奏人, 村上直 , 伊藤高廣

第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（電気学会）　論文集 20pm3-PS3-70 2019年11月

複合エッチング加工技術を用いた基板表面への微小3次元構造アレイの作製（共著）査読有り

村上直，山本秀介，荒木一宏，伊藤高廣

電気学会論文誌E ( 一般社団法人　電気学会 ) 138 ( 6 ) 263 - 267 2018年06月

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Anisotropic etching is a useful processing method for the fabrication of three-dimensional (3D) microstructures on single crystal silicon (SCS) substrates. In this paper, we have fabricated the arrays of 3D convex microstructures using the combined etching process which includes two types of anisotropic etching process. The arrays of the micropillar structures with vertical sidewalls were firstly fabricated on the substrate surface using deep reactive ion etching (D-RIE) of SCS. Furthermore, anisotropic wet etching of the micropillars was performed in the etching solution and the shape of the additionally-etched 3D microstructures was investigated. We have also suggested the potential of the combined etching process to decrease the fabrication time of the arrays of micro pyramid which are usually fabricated using only the anisotropic wet etching of SCS. © 2018 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

DOI： 10.1541/ieejsmas.138.263

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85047765874&doi=10.1541%2fieejsmas.138.263&partnerID=40&md5=a8767209de56b7389e9a10043814633c

2.5次元構造を有する昆虫規範型微小飛行体の試作（共著）

高木方勝, 石原大輔, 大平直人, 村上直, 堀江知義

バイオエンジニアリング講演会講演論文集 ( 一般社団法人日本機械学会 ) 2018 ( 0 ) 1I12 2018年01月

昆虫規範型微小飛行体用トランスミッションのポリマーマイクロマシニングと駆動試験（共著）

浦川晃平, 石原大輔, 高木方勝, 村上直, 上尾純平, 熊谷武尊, 堀江知義

年次大会 ( 一般社団法人日本機械学会 ) 2018 ( 0 ) J0270401 2018年01月

Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible PI membranes（共著）査読有り国際誌

Sunao Murakami, Daisuke Ishihara, Masateru Araki, Naoto Ohira, Takahiro Ito, Tomoyoshi Horie

Micro and Nano Letters ( The Institution of Engineering and Technology ) 12 ( 11 ) 913 - 915 2017年11月

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

The authors have designed and microfabricated millimetre-scale wing-shaped hybrid microstructures composed of rigid structures of single crystal silicon (SCS) substrates and flexible polyimide (PI) membranes. The wing-shaped microstructures mimicking insect flapping flight have been newly designed using a fluid-structure interaction analysis, and the hybrid microstructures based on the design method have been successfully microfabricated using a simple process flow with SCS substrates coated with PI membranes. Shape of the SCS parts in the hybrid microstructures have been successfully fabricated using deep reactive ion etching of the SCS substrate with small etching rate, and the wing plates of PI membranes have been prepared with the photolithography and the curing processes. The flexibility of the PI membranes of the fabricated hybrid microstructures was also confirmed using the bending test of the PI membranes.

DOI： 10.1049/mnl.2017.0428

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85033476979&origin=inward

Microfabrication of the array of convex microstructures of silicon using the combined etching process with bilayer etching mask（共著）査読有り

Murakami S., Araki K., Yamamoto S., Ito T.

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 ( 一般社団法人日本機械学会 ) 2017.9 ( 0 ) 041 B12 2017年11月

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Japan Hiroshima 2017年11月13日 - 2017年11月17日

In this study, we have fabricated the arrays of convex microstructures on single crystal silicon (SCS) substrates using the procedure which includes two types of anisotropic etching process. We f irstly fabricated the arrays of micropillars with vertical sidewalls using deep reactive ion etching (D-RIE) process of SCS. After that, we etched the micropillars additionally using the anisotropic wet etching process of SCS. We investigated the etched shape of the convex microstructures in the microfabrication procedure, and successfully fabricated the arrays with bilayer etching masks composed of the layer of aluminum and silicon dioxide with the controlled thickness.

DOI： 10.1299/jsmelem.2017.9.041

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85041374778&origin=inward

Fluid–structure interaction design of insect–like micro flapping wing（共著）査読有り国際誌

D. Ishihara, N. Ohira, M. Takagi, S. Murakami, T. Horie

Proceedings of the VII International Conference on Computational Methods for Coupled Problems in Science and Engineering (COUPLED PRBLEMS 2017) ( International Center for Numerical Methods in Engineering ) 2017-January 870 - 875 WeM02 2017年06月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

In this study, a FSI design of an insect-like micro flapping wing is proposed. Similar to actual insects, the proposed design actively uses the FSI to create the passive wing motions. Each design solution has a 2.5-D structure for the MEMS technology. The 3-D unsteady monolithic FSI equation system is solved to find the satisfactory design solutions using a projection method in a parallel computation environment. An area of satisfactory design solutions in a design parameter space or Design Window (DW) is presented. Each design solution in the present DW can generate the thrust sufficient to support the weight of the model insect. Therefore, the insect-like MEMS-based MAVs are possible.
© 2017 International Center for Numerical Methods in Engineering.

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85033477617&origin=inward

MEMS 技術に基づく微小羽ばたき翼の変位変換システムの設計と試作

大平直人, 石原大輔, 村上直, 堀江知義

バイオエンジニアリング講演会講演論文集 ( 一般社団法人日本機械学会 ) 2017 ( 0 ) 2F23 2017年01月

昆虫規範型MEMS翼に対する流体構造連成デザインアプローチ

石原大輔, 荒木政輝, 大平直人, 村上直, 堀江知義

理論応用力学講演会講演論文集 ( 日本学術会議「機械工学委員会・土木工学・建築学委員会合同IUTAM分科会」 ) 64 ( 0 ) OS8-02-01 2017年01月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

In this study, a FSI design approach of an insect–inspired MEMS wing is proposed. Similar to actual insects, the proposed design actively uses the FSI to create the passive wing motion. Each design solution has a so-called 2.5–D structure for the MEMS technology. The 3–D unsteady monolithic FSI equation system is solved to find the satisfactory design solutions using a projection method. An area of satisfactory design solutions in a design parameter space is found. Each design solution in this area can generate the thrust sufficient to support the weight of the model insect.

DOI： 10.11345/japannctam.64.0_os8-02-01

医療用マイクロニードルの作製

花田大知, 伊藤高廣, 引間知広, 村上直, 椿浩忠, 原正哉, 黒木潤二, 田代康典, 松尾正昭

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2017A ( 0 ) 287 - 288 2017年01月

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

従来の注射に代えて、マイクロニードルアレイにより皮膚から薬剤を体内に入れ、誰でも、どこでも、いつでも、痛みなく投薬ができることを目指している。皮膚に開けた穴が塞がりにくくしたマイクロニードル形状とその製作方法を提案する。独自の窪み形状により皮膚の穴が塞がることを防ぐと同時に、薬剤の量を増やしている。精密金型と、射出成形による作製方法を考案した。また、動物実験によりその効果も評価した。

DOI： 10.11522/pscjspe.2017a.0_287

金/クロム薄膜電極を有する弾性表面波デバイスの作製

力丸真也, 冨山直人, 村上直, 伊藤高廣

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2017A ( 0 ) 289 - 290 2017年01月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

1種類のガス検出用のセンサは既に一部で実用化されている一方、広範な複数種のガスを同時に検知可能で、携帯可能なガスセンサは開発途上である。本研究では、弾性表面波(Surface Acoustic Wave; SAW)デバイスをセンサ素子のベース構造に用いたセンサチップの開発を最終目的としている。そのデバイスで、電極構造は、SAWの励振・検出を行う非常に重要な要素である。今回は、金/クロム薄膜を電極素材として選択し、SAWデバイスの作製を行った。

DOI： 10.11522/pscjspe.2017a.0_289

弾性表面波デバイスアレイへの素子分離溝の作製（共著）

冨山直人, 石井朋幸, 村上直, 伊藤高廣

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（電気学会）　論文集 25am2-PS-021 2016年10月

Capsule Micromechanism Driven by Impulse—Wireless Implementation（共著）査読有り国際誌

T. Ito, S. Murakami

Microactuators and Micromechanisms ( Kluwer Academic Publishers ) 45 67 - 77 2016年10月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Germany Ilmenau 2016年10月05日 - 2016年10月07日

We have developed a traveling small capsule, which has a smooth outer surface and is driven by vibration. Measuring only 11 mm in diameter and 25 mm in length, it is sufficiently small to be placed in the human gullet or intestines. Although the capsule does not have wheels nor legs, it can travel utilizing vibration. For these reasons, there is nothing protruding to harm the soft tissue of intestine. The capsule contains a small magnet, a coil, batteries and a circuit, and an electric pulse drives the coil to move the capsule. We did the experimental investigation that our capsule can travel in a plastic pipe and it can also travel on pig intestine surface. We also have developed liquid medicine dispenser that can be put inside the capsule. Our capsule may be useful for medical treatments such as inspection and drug delivery.

DOI： 10.1007/978-3-319-45387-3

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84989941826&origin=inward

Fluid-structure interaction design of micro flexible wing mimicking insect flapping flight（共著）査読有り

D. Ishihara, S. Murakami, M. Araki, T. Horie

Proceedings of the 12th World Congress on Computational Mechanics (WCCM XII) No. 151142 2016年07月

異方性エッチングを用いた複合加工による3次元微小構造アレイの作製

荒木一宏, 村上直, 伊藤高廣

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2016A ( 0 ) 295 - 296 2016年01月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

シリコン基材の3次元微細加工の手法としてエッチングが挙げられる。うち、特定の方向にのみ基材を除去する加工を異方性エッチングという。本研究では，真空環境下および液中での異方性エッチングを組み合わせてシリコン基板表面に対する複合加工を行った。まず真空下でのドライエッチングで作製した柱状構造を、更に液中でのウェットエッチングで加工することにより、複雑な3次元形状の微小構造アレイを作製した結果を報告する。

DOI： 10.11522/pscjspe.2016a.0_295

微小孔アレイへの送液のための温調機能付きマイクロ流路デバイスの作製とその機能評価

吉賀雅史, 青井将士, 石井朋幸, 藤圭亮, 村上直, 伊藤高廣

精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人精密工学会 ) 2016S ( 0 ) 493 - 494 2016年01月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

本研究では，医療用微小針等の孔アレイに組み合わせて送液に使用することを想定した,マイクロ流路およびマイクロヒーターの作製を目的とした．流路デバイスは,微細切削加工により流路を加工したガラス基板を樹脂基板で封止することで作製した.また,MEMS技術を利用することで,温度調整用のニッケル薄膜抵抗型マイクロヒーターを作製した.両デバイスを組み合わせたデバイスにおいて,液の加熱・流通等の機能評価を行った.

DOI： 10.11522/pscjspe.2016s.0_493

Direct hydrogen peroxide synthesis using glass microfabricated reactor - Paralleled packed bed operation（共著）査読有り

Tomoya Inoue，Jiro Adachi，Kenichiro Ohtaki，Ming Lu，Sunao Murakami，Xu Sun，Dong F. Wang

Chemical Engineering Journl 278 517 - 526 2015年10月

Direct synthesis of hydrogen peroxide using glass fabricated microreactor - Multichannel operation and catalyst comparison（共著）招待有り査読有り

Tomoya Inoue, Kenichiro Ohtaki, Jiro Adachi, Ming Lu, Sunao Murakami

Catalysis Today 248 169 - 176 2014.5オンライン公開済み 2015年06月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

既報で報告した過酸化水素・直接合成用の触媒充填型ガラス製マイクロ反応器において、充填する触媒粒子を変えた場合の反応特性の違いを調べることで、その反応の動特性の理解を試みた。

DOI： 10.1016/j.cattod.2014.03.065

その他リンク： http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092058611400296X

結晶異方性ウェットエッチング加工によるマイクロピラミッド形状の表面微細構造の作製（共著）

石井朋幸、清水正義、村上直、伊藤高廣

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（電気学会）論文集 21pm3-PS34 2014年10月

シリコンウエハ全面にわたる結晶異方性ウェットエッチング加工での表面加工形状の均一性の向上（共著）査読有り

村上直，大森龍之介，清水正義，伊藤高廣

電気学会論文誌E 134 ( 8 ) 258 - 263 2014年08月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

単結晶シリコンの結晶異方性ウェットエッチング加工において、加工時の保護マスクのパターンやエッチング方法・条件を制御することで、底面の一辺長が7~10μm程度のマイクロピラミッドが基板上にアレイ状に配列した表面構造での面内均一性を向上させることに成功した。

DOI： 10.1541/ieejsmas.134.258

その他リンク： https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/8/134_258/_article/-char/ja/

Impulse-driven capsule for medical treatment - Wireless implementation-（共著）査読有り

Takahiro Ito, Sunao Murakami, Teru Hayashi

Proceedings of the 15th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2014) C27 2014年07月

Sub-micron-wide surficial trench frames to define the coating areas of sensitive layers on silicon MEMS resonant chemical sensors（共著）招待有り査読有り

S. Murakami, T. Ikehara, M. Konno, R. Maeda, T. Fukawa, M. Kimura, T. Mihara

Electronics and Communications in Japan 96 ( 10 ) 60 - 66 2013年10月

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

幅500 nmの枠溝構造を予め表面に微細加工したシリコン製マイクロカンチレバーを作製した。その枠溝の付与により、可動状態のカンチレバー表面の微小な領域内にのみ、溶液塗布による薄膜形成領域を制限することが容易となった。

DOI： 10.1002/ecj.11379

その他リンク： http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/ecj.11379/abstract

Direct synthesis of hydrogen peroxide based on microreactor technology（共著）査読有り国際誌

T. Inoue, K. Ohtaki, S. Murakami, S. Matsumoto

Fuel Processing Technology ( Elsevier B.V. ) 108 8 - 11 2013年04月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

The direct synthesis of hydrogen peroxide from hydrogen and oxygen has been explored for decades, although it has been challenged by the inherent risk of handling explosive gas mixture and mass transfer resistance for its nature of gas–liquid–solid reaction. Using newly designed and fabricated glass microreactors, we successfully handle the reaction with promising productivity. 10 wt.% aqueous hydrogen peroxide solution is obtained at room temperature (ca. 293 K), 1 MPa. It owes to proper gas- and liquid handling as well as characteristics of microreactor technology (rapid heat/mass transfer), and proper preparation of the catalysts.

DOI： 10.1016/j.fuproc.2012.04.009

Frequency stability of a closed-loop oscillator using micro-electro-mechanical cantilever resonator against temperature fluctuation（共著）査読有り

Tsuyoshi Ikehara，Mitsuo Konno，Sunao Murakami，Takashi Mihara

Japanese Journal of Applied Physics 51 ( 6 ) 06FL08 2012年06月

Parallelization of catalytic packed-bed microchannels with pressure-drop microstructures for gas-liquid multiphase reactions （共著）査読有り

Sunao Murakami，Kenichiro Otaki，Sohei Matsumoto，Tomoya Inoue

Japanese Journal of Applled Physics 51 ( 6 ) 06FK11 2012年06月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

気-液混相反応用の触媒充填型マイクロ反応器における反応スケールの増大を目的に、4本の流路を並列化したガラス製マイクロ流路デバイスを作製した。流路各部の圧力損失を考慮した流路構造の設計により、反応ガスの各流路への分配の均等性の向上を実現した。

DOI： 10.1143/JJAP.51.06FK11

その他リンク： http://iopscience.iop.org/1347-4065/51/6S/06FK11/

Integration of p-n junction diode to cantilever mass sensor for frequency drift compensation due to temperature fluctuation（共著）査読有り国際誌

Tsuyoshi Ikehara, Mitsuo Konno, Sunao Murakami, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura, Takashi Mihara

Sensors and Materials 23 ( 7 ) 381 - 396 2011年10月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Silicon resonant sensors generally show frequency drift due to temperature fluctuation. A p-n junction diode was integrated to a resonant mass sensor using a silicon cantilever in one chip for frequency drift compensation due to temperature fluctuation. The diode could be fabricated by almost the same fabrication process simultaneously with piezoresistive stress gauges and showed good p-n junction characteristics for a temperature sensor. The sensor chip consisted of multiple cantilevers and the diode was assembled to a sensor package with a PZT vibrator and oscillated using a feedback electric circuit. Frequency drift trends under induced temperature changes could be almost compensated using the temperature read by the on-chip diode and a temperature coefficient. The temperature coefficients were -34 and -78 ppm/°C for gold-coated and polybutadiene-coated cantilevers, respectively, and found to depend strongly on the surface adsorption films on the sensor. Frequency drift compensation under a chemical sensing situation was also demonstrated, which was reduced from the original drift up to 30 Hz to almost 2 Hz. Temperature compensation using an on-chip temperature sensor is considered to be important for chemical sensing using silicon cantilevers where gas flows can easily change the temperature of the sensor.

その他リンク： http://myukk.org/sm_pdf/SM0854.pdf

Design, fabrication, and evaluation of highly sensitive compact chemical sensor system employing a micro cantilever array and a preconcentrator（共著）査読有り

Takashi Mihara, Tsuyoshi Ikehara, Mitsuo Konno, Sunao Murakami, Ryutaro Maeda, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura

Sensors and Materials 23 ( 7 ) 397 - 417 2011年10月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

we developed a highly sensitive compact chemical sensor system employing a polymer-coated microcantilever sensor array and a thermal preconcentrator. The design, structure, fabrication, and experiment results are reported here. This sensor system had 1) a sub-ppb detection limit concentrated by a preconcentrator and 2) analytical function by thermal desorption of the preconcentrator and multiple cantilevers (acting as the mass sensor) with different polymers. The preconcentrator contained 0.03 g of carbon fiber, and absorption/desorption were controlled by the temperature from room temperature to 520°C. The sample gas was introduced into the preconcentrator using a miniature air pump at a flow rate of 2.0 L/min. Four silicon microcantilevers in one silicon chip fabricated by micro-electromechanical systems (MEMS) technology were packaged in a ceramic flat package and driven by a PZT actuator plate mounted in the package. Using the 4th vibration mode (resonant frequency: 764 kHz) of a polybutadiene (2.52 urn thick)-coated cantilever, the sensitivity was 514 Hz/ppm for toluene and 850 Hz/ ppm for p-xylene with a 5 min preconcentration time. The preconcentration factor and system efficiency of sensing were estimated to be 830 and 0.78, respectively, for toluene. The estimated detection limit of the sensor system was less than 1 ppb for toluene and p-xylene with a 10 L sample volume, which was good enough for application to environmental monitoring. Separate detection of the mixed toluene and p-xylene was also achieved in the form of different time peaks during the heating preconcentrator operation.

その他リンク： http://myukk.org/sm_pdf/SM0855.pdf

Fabrication of two-point-supported annular microresonators with vertical transducer gaps（共著）査読有り国際誌

Sunao Murakami, Mitsuo Konno,Tsuyoshi Ikehara, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara

Micro and Nano Letters ( The Institution of Engineering and Technology ) 6 ( 7 ) 469 - 472 2011年07月

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

マイクロ振動子デバイスにおける支持点よりのエネルギー損失を低減する目的で、2点支持の円環型振動子デバイスを作製した。振動子の外周上に振動の節が出現するように円環の穴径等を調整した振動子を、静電的相互作用により駆動することに成功した。

DOI： 10.1049/mnl.2011.0097

その他リンク： https://digital-library.theiet.org/content/journals/10.1049/mnl.2011.0097;jsessionid=52h5n50qs1tj2.x-iet-live-01

Novel MEMS oscillator using in-plane disk resonator with sensing platform and its mass sensing （共著）査読有り

Mitsuo Konnno, Tsuyoshi Ikehara, Sunao Murakami, Ryutaro Maeda, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura, Takashi Mihara

Proceedings of 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (Transducers 2011) 518 - 521 2011年06月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

P.R. China Beijing 2011年06月05日 - 2011年06月09日

平面内振動モードでの振動の節が外周上に位置するように円環型振動子の構造を設計し、その支持梁よりのエネルギー損失を抑えて高いQ値を実現した。また、円環内にガス吸着膜形成用プラットフォーム付きの振動子を用いた有機溶剤の検出にも成功した。

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969670

その他リンク： http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=5969670

単結晶シリコンの異方性がディスク型MEMS振動子の振動特性に及ぼす影響（共著）査読有り

村上直，昆野舜夫，池原毅，前田龍太郎，三原孝士

電気学会論文誌E ( 一般社団法人　電気学会 ) 130 ( 9 ) - 426 430 2010年09月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

単結晶シリコン製の円板型マイクロ振動子を2種類の面内共振モードで駆動した際に、振動子の支持方位と結晶方位の関係が振動特性に及ぼす影響を検討した。各モードに関して、振動解析および、作製したデバイスの周波数特性より、共振モード形状の対称性により、結晶方位が共振周波数に与える影響の大小は異なることを示した。

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.426

その他リンク： https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/130/9/130_9_426/_article/-char/ja/

Fabrication of 150 nm-wide transducer gaps for disk-type resonators by single dry etching process（共著）査読有り

Sunao Murakami, Mitsuo Konno, Tsuyoshi Ikehara, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara

Japanese Journal of Applied Physics 49 ( 6 ) 06GN04 2010年06月

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

直径200 μmのシリコン製ディスク型振動子を、150 nm幅エアギャップ構造を介して静電的に駆動・検出するデバイスを作製した。作製プロセス確立のため、ドライエッチング条件を調整し、垂直性の高い側壁を有する100および150 nm幅のトレンチ構造の作製に成功した。

DOI： 10.1143/JJAP.49.06GN04