Papers - NAKAO Motoi

ポリシリコンのオージェ電子分光法および質量分析法による評価 Reviewed

岩田智巳, 溝川悠介, 中尾基, 井上靖, 松村博史, 宮瀬淳, 中西繁光, 山岡正美, 榊原利夫, 川本和則

真空   34   129   1991.04

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Language：Japanese   Publishing type：Research paper (scientific journal)

リンドープポリシリコンのオージェ電子分光分析 Reviewed

中尾基, 溝川悠介, 岩田智巳, 井上靖, 松村博史, 宮瀬淳, 中西繁光, 山岡正美, 榊原利夫, 川本和則

真空   34   134   1991.04

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Authorship：Corresponding author   Language：Japanese   Publishing type：Research paper (scientific journal)