Conference Prsentations (Oral, Poster) -
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Flexible support table for fine positioning through attraction forces between permanent magnets (4th. report) - Evaluation of output displacement and axis interference for uniaxial table -
2025.03 The Japan Society for Precision Engineering
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Floating support properties of fine feed table for non-contact support with squeezed-air effect
Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu
The 20th International Conference on Precision Engineering
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Design of a device for surface profile measurement integrating 3x3 displacement sensors
Kotaro Nakahara, Tatsuki Noda, Naoya Shirozu, Yuuma Tamaru and Hiroki Shimizu
The 20th International Conference on Precision Engineering
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永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第3報）−1軸テーブルの微動変位特性−
田丸雄摩,床嶋功明,清水浩貴
2024年度精密工学会秋季大会 2024.09 精密工学会
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永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第2報）−出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定−
田丸雄摩,床嶋功明,清水浩貴
2024年度精密工学会春季大会 2024.03 精密工学会
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3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定：第2報−形状測定用デバイスの設計−
野田樹生,中原洸太朗,田丸雄摩,清水浩貴
2024年度精密工学会春季大会 2024.03 精密工学会
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Evaluation of Fine Feed Table Positioning for Non-contact Support Based on the Squeezed-air Effect
Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu
The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology 2023.11 Hong Kong Society for Precision Engineering
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永久磁石相互の吸引力を用いた可撓支持微動テーブル（第1報）ー磁気吸引力校正と変位予測ー
床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
2023年度精密工学会秋季大会
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3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定−測定データ接続法の比較−
時實拓紀，野田樹生，田丸雄摩，清水浩貴
2023年度精密工学会春季大会
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多点同時計測可能なカンチレバー式変位計デバイス−機械学習による校正−
加倉誠勝，小濱大輝，田丸雄摩，清水浩貴
2023年度精密工学会春季大会
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永久磁石相互の磁気吸引力を用いた可撓支持微動テーブルの性能推定
床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
日本機械学会第54回卒業研究発表会
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Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect
Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA,Hiroki SHIMIZU
The 19th International Conference on Precision Engineering 2022.12 The Japan Society for Precision Engineering
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (6th report) - Properties of small-step displacement feed -
Yuuma Tamaru,Tomohiro Ushijima,Hiroki Shimizu
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (5th report) - Properties of long-stroke feed -
Yuuma Tamaru,Tomohiro Ushijima,Hiroki Shimizu
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Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces
The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (4th report)
Yuuma Tamaru,Tomohiro Ushijima,Hiroki Shimizu
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MEMS技術を応用した多点法走査型測定用センサデバイスの開発（第9報）-10点同時測定MEMSデバイスの試作と評価-
田宮弘一,田丸雄摩,清水浩貴
2021年度精密工学会春季大会
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (3rd report) - Consideration of support ability improvement by parallelism alignment -
Yuuma Tamaru, Shutaro Tofuku,Hiroki Shimizu
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磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第3報）—2軸駆動装置におけるジグザグ送り—
田丸雄摩,河田謙介,清水浩貴
2020年度精密工学会春季大会
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Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect
Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu
8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
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磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第2報）—2軸駆動装置の開発と性能評価—
田丸雄摩
2019年度精密工学会秋季大会
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Properties of Uniaxial Flexible Support Table for Fine Positioning by Magnetic Attraction Controlled
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MEMS技術を利用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第8報）ー10点同時測定による誤差累積の影響低減ー
水上翔一朗
2019年度精密工学会春季大会
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逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定
宮田佑
2019年度精密工学会春季大会
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磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発
田丸雄摩
2019年度精密工学会春季大会
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磁気吸引力を利用した2軸可撓支持微動テーブルの開発
河田謙介
日本機械学会第50回卒業研究発表会
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浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第2報） －180°位相差加振支持による微動テーブルの制振評価－
田丸雄摩
2018年度精密工学会秋季大会
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Developing of flexible support table for fine positioning by magnetic controlled
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Evaluation for fine positioning table properties supported by squeezed air films based on static pressure controlled
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Development of fine motion table supported by squeezed air films based on levitation force control
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Scanning flatness measurement using multi point method and angle correction (3th Report)
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Development of sensor device using MEMS technology for scanning profile measurement with multi - point method ( 7th Report)
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Development of positioning table with non-contact support by magnetic force controlled
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Development of fine positioning table supported on squeezed-air film by static pressure controlled
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真直形状測定用3点法マルチカンチレバー変位計の高感度化モデルの検討
荒牧健太郎
日本機械学会2016年度年次大会
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角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第3報）－平面測定のためのゼロ点調整誤差除去法の提案－
山下亮祐
2016年度精密工学会春季大会学術講演会 精密工学会
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2点法真直度測定結果の接続による平面形状測定
石橋和也
日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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MEMSデバイス評価装置の機能向上と機械特性評価
諌山聡一朗
日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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大面積ホログラフィック光学素子製作装置の設計と開発
上沼一也
日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振（第2報）－浮上と制振相互間の加振位相ずれと制振性能の関係－
田丸雄摩
2015年度精密工学会秋季大会学術講演会 精密工学会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報）－デバイス探針の摩耗評価装置の製作－
清水浩貴
2015年度精密工学会秋季大会学術講演会 精密工学会
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スクイーズ効果で浮上支持された物体の制振性能向上
中村俊紀
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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大面積ホログラフィック光学素子製作装置の開発
古谷龍太郎
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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MEMS変位計デバイス摩耗試験装置の開発
松本航
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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走査形状測定用三点法マルチカンチレバー変位計の高精度化－相互干渉に起因する誤差の低減－
小松総一朗
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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Active Damping Control for Floating Object Supported on Squeeze Film Air Effect(Improving of Measuring Verification by Completely Non-Contact Support)
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報：表面荒れを抑えた探針製作法）
殘華智仁
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第一報：測定原理の検討と基礎的検証）
藤田豊栄
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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Prototyping of device for flatness evaluation using five-point method
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Characteristic of Horizontal Holding Force for Specimen by Squeezed-Air Film Effect
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Highly stable angle sensor reducing the influence of deflection of the laser beam
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Prototyping of the on-machine profiler for machined surface using 3-point method
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Development of an equipment for manufacturing holographic optical element
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Trial production of displacement sensing device for planer surface measurement by three-point method
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推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（圧電素子の急速変形による慣性力を利用した推進）
森田賢史，田丸雄摩，清水浩貴
日本機械学会九州学生会
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3 点法真直形状測定に用いるマルチカンチレ バー変位計の試作
久保智裕，清水浩貴，田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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AFMの原理に基づく機械加工面形状計測装置に関する基礎的研究
荒木健太，清水浩貴，田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振
松本勇毅，田丸雄摩，清水浩貴
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 （ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合）
水頭正一郎，清水浩貴，田丸雄摩
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作））
柳原慎也
2012年度精密工学会春季大会
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拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第3報）（試料ステージの姿勢誤差補正と安定性の向上）
塩見真弘
2012年度精密工学会春季大会
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弾性ヒンジを用いた多自由度の位置・姿勢誤差補正機構
野上貴巨
日本機械学会九州学生会
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小型可変形鏡のためのPUSH-PULLアクチュエータユニットの開発
今井康弘
日本機械学会九州学生会
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両端角度補正付き3点法を用いた走査型平面度測定法
岩本裕輝
日本機械学会九州学生会
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2. MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）
秋好崇宏
2011年度精密工学会春季大会
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推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（案内の傾斜角調整による推進）
本人
2010年度精密工学会九州支部熊本地方講演会論文集
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拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報）（曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ）
機械知能 平田裕一
2010年度精密工学会春季大会講演論文集
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可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化（第2報）（押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発）
機械知能 式守良寛
2010年度精密工学会春季大会講演会
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非点収差法を用いたマイクロタッチプローブ球精密変位検出法（プローブ球変位時のスポット形状解析と基礎実験）
2011年度精密工学会春季大会講演論文集
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）
2011年度精密工学会春季大会講演論文集
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両端角度測定を併用した3点法による走査形状測定
機械知能 秋好崇宏
2009年度精密工学会秋季大会講演論文集
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姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ（第1報 構想の装置の試作）
機械知能工学専攻
2009年度精密工学会春季大会講演論文集
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非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ（光学系設計とシミュレーションによる感度解析）
日本機械学会九州支部第62期講演会
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浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ支持リニアスライダ
本人
2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
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スクイーズ膜支持によるリニアモータの基礎特性
室本国人
九州学生会・第39回学生会卒業研究発表講演会
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可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高性能化（第1報）-特性補正の基礎実験-
諸冨啓
2008年度精密工学会春季大会講演論文集
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連係微動による位置決めステージの開発
本人
2007年度精密工学会秋季大会講演論文集
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拡張レーザーオートコリメーション法による形状測定装置の開発（自律校正法の検討）
機械知能工学科 林修
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
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予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り（第2報）（システムの改良による高速化）
機械知能工学科 鎌田紘介
第60回日本機械学会九州支部総会講演会
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連係微動による高精度位置決め（反復連係微動）
本人
2005年度精密工学会秋季大会講演論文集
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予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り
藤本泰徳
2005年度精密工学会春季大会講演論文集
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すべりねじ駆動におけるテーブルの送り挙動
野田貴三
精密工学会春季大会講演論文集
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マイクロ切削加工に関する基礎研究
2005年度精密工学会春季大会
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ボールねじの予圧制御による粗微動送り方式の微動特性
木山浩
2004年度精密工学会春季大会講演論文集
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送りねじの予圧制御による超精密位置決め
木山浩
2003年度精密工学会秋季大会講演論文集
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マイクロ切削加工の研究
山下洋司
2003年度精密工学会九州支部大会講演論文集
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微動テーブルとナノメータ送りヘッドによるマイクロ加工
本人
日本機械学会九州支部講演会講演論文集
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変位の長ストロークと高分解能を両立する微動機構
本人
2002年度精密工学会春季大会講演論文集
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変位拡大による長ストロークと変位縮小による高分解能を有する一体微動機構の検討
本人
2000年度精密工学会春季大会講演論文集