2024/05/14 更新

ムラカミ スナオ
村上 直
MURAKAMI Sunao
Scopus 論文情報  
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Citation Countは当該年に発表した論文の被引用数

所属
大学院情報工学研究院 知的システム工学研究系
職名
准教授
外部リンク

研究キーワード

  • MEMS

  • 微細加工技術

  • 表面特性の制御

  • マイクロデバイス

研究分野

  • ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性

  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

  • ナノテク・材料 / 生体化学

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器

取得学位

  • 九州大学  -  博士(工学)   2007年02月

学内職務経歴

  • 2019年04月 - 現在   九州工業大学   大学院情報工学研究院   知的システム工学研究系     准教授

  • 2018年05月 - 2019年03月   九州工業大学   大学院情報工学研究院   機械情報工学研究系     准教授

  • 2012年03月 - 2018年04月   九州工業大学   大学院情報工学研究院   機械情報工学研究系     助教

所属学会・委員会

  • 2012年07月 - 現在   精密工学会   日本国

  • 2009年02月 - 現在   電気学会   日本国

  • 2001年07月 - 現在   化学工学会   日本国

  • 2018年08月 - 現在   アイ・トリプル・イー (IEEE)   アメリカ合衆国

  • 2010年10月 - 現在   日本機械学会   日本国

  • 2010年10月 - 現在   応用物理学会   日本国

  • 2005年11月 - 現在   日本バイオマテリアル学会   日本国

  • 2005年11月 - 現在   日本食品工学会   日本国

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論文

  • 研究室紹介 「九州工業大学 伊藤・村上研究室」 招待有り

    村上 直

    日本砥粒加工学会誌 ( 日本砥粒加工学会 )   68 ( 4 )   191 - 191   2024年04月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)

    その他リンク: https://www.jsat.or.jp/journal

  • 北九州から未来のイノベーションを:株式会社 安川電機 招待有り

    岩崎 正裕, 村上 直

    精密工学会誌 ( 公益社団法人 精密工学会 )   89 ( 12 )   901 - 902   2023年12月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)

    DOI: 10.2493/jjspe.89.901

    その他リンク: https://cir.nii.ac.jp/crid/1390016880936753536

  • 多段階のエッチングを用いた複合形状の微小柱状構造アレイの作製

    角田 大成, 岩崎 正裕, 村上 直, 坂本 憲児, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2023S ( 0 )   642 - 643   2023年03月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>基材表面への微細加工の手法として、エッチング加工が挙げられる。特にシリコンの深掘りエッチング(DRIE)は、シリコン基材の表面に微小な3次元構造体を加工・構築するために重要な技術であり、樹脂成形のための鋳型構造の作製にも適用可能である。本研究では、DRIEを含む多段階のエッチング加工を用いて、シリコン基材表面に複合形状の微小柱状構造アレイを作製した結果を報告する。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2023s.0_642

    CiNii Research

  • デバイス基材表面の構造による弾性表面波の伝搬特性の制御の試み

    岩崎 正裕, 井上 滉平, 村上 直, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2023S ( 0 )   640 - 641   2023年03月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>弾性表面波(SAW)デバイスは圧電マイクロデバイスの一種である。そのデバイス特性は、くし歯型電極を含む素子構造や基材の種類・方位に応じたSAW伝搬特性により影響される。複数のSAW素子を同一の基材上に配置(アレイ化)する場合、各素子で励振されたSAWの近接素子との相互作用を抑制することが求められる。そこで本研究では、デバイス基板への表面構造の作製等により、SAW伝搬特性を制御することを試みた。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2023s.0_640

    CiNii Research

  • タンタル酸リチウム基材上に作製した弾性表面波デバイスの特性に関する研究

    井上 滉平, 岩崎 渉, 森田 伸友, 伊藤 高廣, 村上 直

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2023S ( 0 )   638 - 639   2023年03月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>弾性表面波(SAW)デバイスは、基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスである。36度回転Y板X伝搬タンタル酸リチウム単結晶基材上を伝搬するSAWを用いると液相系センサを構築できることが報告されている。本研究では、液相系センサ構築へ向け上記基材上にSAWデバイスを作製し、SAW伝搬面に液体を負荷した場合におけるデバイス特性の評価および制御を試みた。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2023s.0_638

    CiNii Research

  • Impulse-Driven Traveling Capsule Endoscope 査読有り 国際誌

    Katsuta C., Ito T., Murakami S., Ohtake H., Karasawa K., Tanaka A., Kimura T., Kutsumi H.

    Mechanisms and Machine Science   148   960 - 967   2023年01月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    We have developed a traveling small capsule, which has a smooth outer surface and is driven by inertia force and friction force. Measuring only 11 mm in diameter and 31 mm in length, it is sufficiently small to be placed in the human intestines. Although the capsule does not have wheels nor legs, it can travel utilizing vibration. For these reasons, there is nothing protruding to harm the soft tissue of intestine. The capsule contains a small magnet, a coil, batteries or capacitors and a circuit, and an electric pulse drives the magnet to move the capsule. We have derived a simple method to estimate the optimum frequency of the running mechanism vibration for the capsule to move at maximum velocity. In experiments using pig intestines and live dogs, we confirmed locomotion in the intestines and wireless transmission of camera images. We have also confirmed that wireless power transfer can be used to move the capsule in vivo. Our capsule may be useful for medical treatments such as inspection and drug delivery.

    DOI: 10.1007/978-3-031-45770-8_95

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    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85177606504&origin=inward

  • Microfabrication of surface acoustic wave devices with AlN thin film deposited on half-inch quartz wafer 査読有り 国際誌

    Nagano A., Kitamura K., Noda S., Murakami S., Iguchi K., Khumpuang S., Hara S.

    Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi)   215 ( 4 )   2022年12月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    In this paper, we have fabricated surface acoustic wave (SAW) devices with six sets of interdigital transducers (IDTs) on half-inch wafers of quartz with deposited thin films of aluminum nitride (AlN). Firstly, AlN thin films have been deposited by reactive sputtering in Ar-N2 gas mixture at 400°C with the high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) system which was developed for microfabrication process in the localized clean environment with half-inch wafer (Minimal Fab). After that, IDTs of Al thin films have been prepared on the AlN thin films. The X-ray diffraction (XRD) pattern of the AlN thin films shows that the AlN films have c-axis (002) orientation. Furthermore, the frequency responses have been measured with four paired IDTs of the SAW devices, which were selected from six sets of IDTs as an input electrode and an output electrode. These results show device properties responding to the design of the IDTs and also suggest the potential of the fabricated SAW devices as the four-paralleled frequency filter and/or sensing system.

    DOI: 10.1002/eej.23412

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    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85141419117&origin=inward

  • Impulse-driven capsule for medical inspection -Improvement of drive mechanism-

    Koki KOIZUMI, Koki IWASHITA, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Toshihiro KIMURA k, Kaoru KARASAWA, Chihiro KATSUTA, Akane TANAKA, Hiromu KUTSUMI

    Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022) ( The Japan Society for Precision Enginnering (JSPE) )   2022年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Nara   2022年11月28日  -  2022年12月02日

  • Microfabrication of surface acoustic wave devices with micro-patterned AlN thin films 国際誌

    Sunao Murakami, Kanato Kitamura, Takahiro Ito

    Conference Proceedings of the 13th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2022)   43 - 44   2022年10月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Japan   Kagoshima   2022年10月16日  -  2022年10月19日

  • ハーフインチ水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの作製 査読有り

    永野 朝日, 北村 奏人, 野田 周一, 村上 直, 井口 航平, クンプアン ソマワン, 原 史朗

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) ( 一般社団法人 電気学会 )   142 ( 9 )   248 - 253   2022年09月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    <p>In this paper, we have fabricated surface acoustic wave (SAW) devices with six sets of interdigital transducers (IDTs) on half-inch wafers of quartz with deposited thin films of aluminum nitride (AlN). Firstly, AlN thin films have been deposited by reactive sputtering in Ar-N<sub>2</sub> gas mixture at 400°C with the high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) system which was developed for microfabrication process in the localized clean environment with half-inch wafer (Minimal Fab). After that, IDTs of Al thin films have been prepared on the AlN thin films. The X-ray diffraction (XRD) pattern of the AlN thin films shows that the AlN films have <i>c</i>-axis (002) orientation. Furthermore, the frequency responses have been measured with four paired IDTs of the SAW devices, which were selected from six sets of IDTs as an input electrode and an output electrode. These results show device properties responding to the design of the IDTs and also suggest the potential of the fabricated SAW devices as the 4-paralleled frequency filter and/or sensing system.</p>

    DOI: 10.1541/ieejsmas.142.248

    Scopus

    CiNii Research

    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85139170836&origin=inward

  • 消化管内カプセル走行改善の研究

    小泉 皓暉, 伊藤 高廣, 村上 直

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2022S ( 0 )   221 - 222   2022年03月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>走行カプセルに突起を付けた場合の走行性能の改善についての研究を行った。従来のカプセルはなめらかな形状で、振動によって前進する。このカプセルに突起を付けることが、走行にどのような影響を及ぼすのか、実験による検証を行った。突起の大きさ、場所、角度を変えて成形した10種類のカプセルを用い、走行速度の測定実験、障害物の乗り越え実験を行った。その結果、走行スピードは50%以上の向上が可能となった。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2022s.0_221

    CiNii Research

  • AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究

    井口 航平, 岩崎 渉, 森田 伸友, 伊藤 高廣, 村上 直

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2022S ( 0 )   284 - 285   2022年03月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>弾性表面波(SAW)デバイスは、基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスであり、センサへの応用が期待されている。高感度なセンサとして利用するためには、高い周波数帯域で小さな伝搬損失が必要であり、AlNの結晶性とSAWデバイスの設計値がデバイス特性に大きく影響する。本研究では、AlNの結晶性とSAWデバイスの波長と伝搬距離に応じた特性変化について調査した。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2022s.0_284

    CiNii Research

  • AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究

    井口 航平, 岩崎 渉, 上原 雅人, 大曲 新矢, 本村 大成, 森田 伸友, 伊藤 高廣, 村上 直

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021A ( 0 )   360 - 361   2021年09月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>弾性表面波(SAW)デバイスは、基材の表面近傍を伝播する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスであり、センサへの応用が期待されている。高感度なセンサとして利用するためには、より高い信号強度での動作が必要であり、その圧電材の特性がデバイス性能に大きく影響する。AlN薄膜では、結晶性を改善することにより圧電性を向上できる。本研究では、AlN薄膜の結晶性に応じたSAWデバイスの特性変化について調査した。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021a.0_360

    CiNii Research

  • 自走式カプセル内視鏡の研究

    岩下 広樹, 伊藤 高廣, 村上 直, 木村 俊広, 唐澤 薫, 勝田 ちひろ, 田中 あかね, 久津見 弘

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021A ( 0 )   385 - 386   2021年09月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>診断画像の無線送信機能や走行機構を備えた次世代型のカプセル内視鏡の研究を行っている。しかし、これらの追加機能を実装するにあたり、電力不足の問題が発生しており、これを体外からの無線給電により解決しようと試みている。本研究における無線給電では、kHz帯を用いた磁界共鳴方式を採用している。給電に使用する送電コイルのパラメータと供給電力の関係を調査し、動物実験において給電システムの評価を行った。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021a.0_385

    CiNii Research

  • 点滴流量計測小型高精度化の研究

    内村 護, カチョーンルンルアン パナート, 伊藤 高廣, 村上 直

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021A ( 0 )   383 - 384   2021年09月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>点滴治療では流量管理は安全確保や時間管理に不可欠である.主な制御方法として点滴筒内の滴下速度の調整があるが,薬液によっては含有する界面活性剤による影響等により,1滴が規格以下の体積で落下するため,精度を高めるために手間や費用がかけられている.本研究では,液滴の体積測定に光を用いることで,高精度な流量測定が可能となり,光路の工夫によって小型化にも成功した.点滴装置の性能向上に資することが期待される.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021a.0_383

    CiNii Research

  • 医療用マイクロニードルの研究

    川端 一輝, 松島 俊也, 水口 凌, 伊藤 高廣, 引間 知広, 村上 直, 松尾 正昭, 田代 康典, 原 正哉, 椿 浩忠

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021A ( 0 )   387 - 388   2021年09月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>近年、投薬時の痛みが少なく、患者への負担の少ない投薬方法としてマイクロニードル(MN)を用いた投薬方法が注目されている。投薬性能を有し、金型を用いた射出成形による生産性の高いMNの作製を目指す。本研究では、生分解性材料を用いて、本数違いの烏口型MNを作製し、成形精度の測定と穿刺実験を行った。その結果、烏口型MNの本数違いに伴って、成形精度と穿刺性能の違いが見られた。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021a.0_387

    CiNii Research

  • Improved design of polymer micromachined transmission for flapping wing nano air vehicle(共著) 査読有り 国際誌

    Rashmikant, Daisuke ISHIHARA, Ryotaro SUETSUGU, Sunao MURAKAMI, Prakasha RAMEGOWDA

    Proceedings of the 16th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2021) ( IEEE )   1320 - 1325   2021年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    China   Xiamen   2021年04月25日  -  2021年04月29日

    This paper presents an improved design of polymer micromachined transmission for flapping-wing Nano Air Vehicles (FWNAVs) in comparison with our last design. Design Improvement includes (1) reduction of the crack and fracture during microfabrication, and (2) performance improvement of the transmission. The novelty of our polymer micromachined transmission includes (1) the transmission mechanism based on the geometrical nonlinear bending deformation, and (2) the complete 2.5-dimensional structure that can be fabricated using standard microfabrication techniques including the etching, the photolithography, the deposition, and the curing process. The complete 2.5-dimensional structure requires no post-assembly and leads to further miniaturization without so much difficulty. Each wing of FWNAVs will be driven by the proposed transmission and actuator separately. The present transmission can produce around 40° stroke angle, which is about 50% higher than that of our previous work without considering the mass effect.

    DOI: 10.1109/NEMS51815.2021.9451440

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    その他リンク: https://ieeexplore.ieee.org/document/9451440

  • 微小柱状構造アレイの作製におけるドライエッチングの条件検討

    山本 雅喜, 村上 直, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021 ( 0 )   822 - 823   2021年01月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    オンライン開催   2021年03月16日  -  2021年03月22日

    <p>シリコン基材表面への微小な3次元構造体の作製手法として、微細加工技術であるエッチングが挙げられる。特に、シリコンの深堀ドライエッチングは微細な3次元構造体を加工するために重要な技術であり、この技術を利用することで、シリコンウエハより、樹脂成形のための鋳型を作製することも可能である。今回は、シリコンウエハ上に樹脂成形用の凸形状の鋳型構造を作製することを目的に、ドライエッチングの条件検討を行った。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021S.0_822

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130008084230

  • New shape microneedle array for medical application(共著) 査読有り 国際誌

    Shunya MATSUSHIMA, Kazuya YAMADA, Yuki MIZUNO, Tatsuya FUKUDA, Takahiro ITO, Tomohiro HIKIMA, Sunao MURAKAMI, Hirotada TSUBAKI, Masaya HARA, Yasunori TASHIRO

    Proceedings of 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020) ( (公社)精密工学会 )   C-2-1   2020年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    online   2020年11月23日  -  2020年11月27日

  • Fabrication of microneedle array for medical application(共著) 査読有り 国際誌

    Kazuya YAMADA, Shunkya MATSUSHIMA, Yuki MIZUNO, Tatsuya FUKUDA, Kanae TAKASAWA a, Takahiro ITO* a, Sunao MURAKAMI a, Tomohiro HIKIMA, Hirotada TSUBAKI, Masaya HARA, Yasunori TASHIRO, Masaaki MATSUO

    Proceedings of 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020) ( (公社)精密工学会 )   C-2-2   2020年11月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    online   2020年11月23日  -  2020年11月27日

  • Impulse-driven Capsule for Medical Inspection(共著) 査読有り 国際誌

    Yuichiro KAWASHIMA, Kenta ASAI, Shotaro WATANABE, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Kaoru KARASAWA, Chihiro KATSUTA, Akane TANAKA, Hiromu KUTSUMI

    Proceedings of 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020) ( (公社)精密工学会 )   C-2-3   2020年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    online   2020年11月23日  -  2020年11月27日

  • Polymer micromachined transmission for insect–inspired flapping wing nano air vehicles(共著) 査読有り 国際誌

    Daisuke ISHIHARA, Sunao MURAKAMI, Naoto OHIRA, Jyunpei UEO, Masakatsu TAKAGI, Kohei URAKAWA, Tomoyoshi HORIE

    Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2020)   176 - 179   PS2.3   2020年09月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    online   2020年09月27日  -  2020年09月30日

    This paper presents a polymer micromachined transmission from small translational displacement to large rotational displacement, which has the potential for further miniaturizing a variety of micro robot applications such as insect-inspired flapping wing nano air vehicles (FWNAVs). Innovative claims include (1) the transmission mechanism using a geometrically nonlinear bending, (2) the microfabrication process consisting of only the standard steps such as the deposition, the photolithography, the curing, and the release without any post-assembling, and (3) the stroke angle of about 40° without any dynamic effect.

    DOI: 10.1109/NEMS50311.2020.9265594

    Scopus

    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85098514474&origin=inward

  • 110年の伝統と歴史に裏付けられた技術:株式会社 唐津プレシジョン(共著) 招待有り

    北村 奏人, 村上 直

    精密工学会誌 ( 公益社団法人 精密工学会 )   86 ( 8 )   618 - 619   2020年01月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)

    DOI: 10.2493/jjspe.86.618

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007884654

  • 医療用マイクロニードルアレイの作製(共著)

    山田 一也, 原 正哉, 田代 康典, 松尾 正昭, 松島 俊也, 水野 有希, 福田 龍彌, 高澤 香奈衣, 伊藤 高廣, 引間 知広, 村上 直, 椿 浩忠

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2020 ( 0 )   472 - 473   2020年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>従来の注射に代え、皮膚から体内に薬物を入れる、マイクロニードルアレイを開発した。皮膚に貼るだけで、いつでもどこで誰でも、痛みなく薬を投与できるようになる。工業的生産を目指し、作製には射出成形を用いた。マイクロニードルの先端を十分に鋭くする製造方法及び、精密金型を開発した。表面形状評価、穿刺深さの測定を行いマイクロニードルが十分な性能を持つことを確認した。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2020A.0_472

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007989100

  • 微小3次元構造アレイ作製におけるシリコン基板表面の結晶方位の影響(共著)

    村上 直, 木原 帆慧, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2020 ( 0 )   491 - 492   2020年01月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>シリコン基材表面への微小な3次元構造体の作製手法として、除去加工であるエッチングが挙げられる。特に、特定の方向にのみ基材を除去する加工を異方性エッチングという。著者らはこれまでも、シリコン基材の異方性エッチングにより、シリコン基板表面へ、微小3次元構造体のアレイの作製を行ってきた。今回は、その3次元構造体アレイの作製において、シリコン基材の結晶方位が及ぼす影響等について検討した。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2020A.0_491

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007989053

  • 自走式カプセル内視鏡の研究(共著)

    川島 雄一朗, 浅井 謙太, 渡邉 翔太朗, 伊藤 高廣, 村上 直, 唐澤 薫, 勝田 ちひろ, 田中 あかね, 久津見 弘

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2020 ( 0 )   474 - 475   2020年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>従来のチューブ型の内視鏡に代わる新しい内視鏡検査の手法として、近年カプセル内視鏡が普及し始めている。筆者らが提案する、コイルと磁石の振動を利用した走行機構を搭載することで、検査時間の大幅な短縮が見込める。また、無線カメラモジュールの搭載により、チューブ型の内視鏡のようにリアルタイムでの検査を行うことも可能である。今回、イヌを用いた実験により。腸内でのカプセルの走行、カメラ画像の無線伝送を確認した。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2020A.0_474

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007989098

  • 2種類の圧電材を積層した弾性表面波デバイスの周波数特性(共著)

    力丸真也, 北村奏人, 村上直 , 伊藤高廣

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会) 論文集   20pm3-PS3-70   2019年11月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    浜松   2019年11月19日  -  2019年11月21日

  • 複合エッチング加工技術を用いた基板表面への微小3次元構造アレイの作製(共著) 査読有り

    村上直,山本 秀介,荒木 一宏,伊藤 高廣

    電気学会論文誌E ( 一般社団法人 電気学会 )   138 ( 6 )   263 - 267   2018年06月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    Anisotropic etching is a useful processing method for the fabrication of three-dimensional (3D) microstructures on single crystal silicon (SCS) substrates. In this paper, we have fabricated the arrays of 3D convex microstructures using the combined etching process which includes two types of anisotropic etching process. The arrays of the micropillar structures with vertical sidewalls were firstly fabricated on the substrate surface using deep reactive ion etching (D-RIE) of SCS. Furthermore, anisotropic wet etching of the micropillars was performed in the etching solution and the shape of the additionally-etched 3D microstructures was investigated. We have also suggested the potential of the combined etching process to decrease the fabrication time of the arrays of micro pyramid which are usually fabricated using only the anisotropic wet etching of SCS. © 2018 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.263

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    CiNii Article

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    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85047765874&doi=10.1541%2fieejsmas.138.263&partnerID=40&md5=a8767209de56b7389e9a10043814633c

  • 昆虫規範型微小飛行体用トランスミッションのポリマーマイクロマシニングと駆動試験(共著)

    浦川 晃平, 石原 大輔, 高木 方勝, 村上 直, 上尾 純平, 熊谷 武尊, 堀江 知義

    年次大会 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   2018 ( 0 )   J0270401   2018年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    DOI: 10.1299/jsmemecj.2018.J0270401

    CiNii Article

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    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007619310

  • 2.5次元構造を有する昆虫規範型微小飛行体の試作(共著)

    高木 方勝, 石原 大輔, 大平 直人, 村上 直, 堀江 知義

    バイオエンジニアリング講演会講演論文集 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   2018 ( 0 )   1I12   2018年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    DOI: 10.1299/jsmebio.2018.30.1I12

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007410874

  • Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible PI membranes(共著) 査読有り 国際誌

    Sunao Murakami, Daisuke Ishihara, Masateru Araki, Naoto Ohira, Takahiro Ito, Tomoyoshi Horie

    Micro and Nano Letters ( The Institution of Engineering and Technology )   12 ( 11 )   913 - 915   2017年11月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    The authors have designed and microfabricated millimetre-scale wing-shaped hybrid microstructures composed of rigid structures of single crystal silicon (SCS) substrates and flexible polyimide (PI) membranes. The wing-shaped microstructures mimicking insect flapping flight have been newly designed using a fluid-structure interaction analysis, and the hybrid microstructures based on the design method have been successfully microfabricated using a simple process flow with SCS substrates coated with PI membranes. Shape of the SCS parts in the hybrid microstructures have been successfully fabricated using deep reactive ion etching of the SCS substrate with small etching rate, and the wing plates of PI membranes have been prepared with the photolithography and the curing processes. The flexibility of the PI membranes of the fabricated hybrid microstructures was also confirmed using the bending test of the PI membranes.

    DOI: 10.1049/mnl.2017.0428

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    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85033476979&origin=inward

  • Microfabrication of the array of convex microstructures of silicon using the combined etching process with bilayer etching mask(共著) 査読有り

    Murakami S., Araki K., Yamamoto S., Ito T.

    Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   2017.9 ( 0 )   041   B12   2017年11月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Japan   Hiroshima   2017年11月13日  -  2017年11月17日

    In this study, we have fabricated the arrays of convex microstructures on single crystal silicon (SCS) substrates using the procedure which includes two types of anisotropic etching process. We f irstly fabricated the arrays of micropillars with vertical sidewalls using deep reactive ion etching (D-RIE) process of SCS. After that, we etched the micropillars additionally using the anisotropic wet etching process of SCS. We investigated the etched shape of the convex microstructures in the microfabrication procedure, and successfully fabricated the arrays with bilayer etching masks composed of the layer of aluminum and silicon dioxide with the controlled thickness.

    DOI: 10.1299/jsmelem.2017.9.041

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    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85041374778&origin=inward

  • Fluid–structure interaction design of insect–like micro flapping wing(共著) 査読有り 国際誌

    D. Ishihara, N. Ohira, M. Takagi, S. Murakami, T. Horie

    Proceedings of the VII International Conference on Computational Methods for Coupled Problems in Science and Engineering (COUPLED PRBLEMS 2017) ( International Center for Numerical Methods in Engineering )   2017-January   870 - 875   WeM02   2017年06月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    In this study, a FSI design of an insect-like micro flapping wing is proposed. Similar to actual insects, the proposed design actively uses the FSI to create the passive wing motions. Each design solution has a 2.5-D structure for the MEMS technology. The 3-D unsteady monolithic FSI equation system is solved to find the satisfactory design solutions using a projection method in a parallel computation environment. An area of satisfactory design solutions in a design parameter space or Design Window (DW) is presented. Each design solution in the present DW can generate the thrust sufficient to support the weight of the model insect. Therefore, the insect-like MEMS-based MAVs are possible.
    © 2017 International Center for Numerical Methods in Engineering.

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    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85033477617&origin=inward

  • MEMS 技術に基づく微小羽ばたき翼の変位変換システムの設計と試作

    大平 直人, 石原 大輔, 村上 直, 堀江 知義

    バイオエンジニアリング講演会講演論文集 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   2017 ( 0 )   2F23   2017年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    DOI: 10.1299/jsmebio.2017.29.2F23

    CiNii Article

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    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007123468

  • 昆虫規範型MEMS翼に対する流体構造連成デザインアプローチ

    石原 大輔, 荒木 政輝, 大平 直人, 村上 直, 堀江 知義

    理論応用力学講演会 講演論文集 ( 日本学術会議 「機械工学委員会・土木工学・建築学委員会合同IUTAM分科会」 )   64 ( 0 )   OS8-02-01   2017年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>In this study, a FSI design approach of an insect–inspired MEMS wing is proposed. Similar to actual insects, the proposed design actively uses the FSI to create the passive wing motion. Each design solution has a so-called 2.5–D structure for the MEMS technology. The 3–D unsteady monolithic FSI equation system is solved to find the satisfactory design solutions using a projection method. An area of satisfactory design solutions in a design parameter space is found. Each design solution in this area can generate the thrust sufficient to support the weight of the model insect.</p>

    DOI: 10.11345/japannctam.64.0_os8-02-01

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  • 医療用マイクロニードルの作製

    花田 大知, 伊藤 高廣, 引間 知広, 村上 直, 椿 浩忠, 原 正哉, 黒木 潤二, 田代 康典, 松尾 正昭

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2017A ( 0 )   287 - 288   2017年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    従来の注射に代えて、マイクロニードルアレイにより皮膚から薬剤を体内に入れ、誰でも、どこでも、いつでも、痛みなく投薬ができることを目指している。皮膚に開けた穴が塞がりにくくしたマイクロニードル形状とその製作方法を提案する。独自の窪み形状により皮膚の穴が塞がることを防ぐと同時に、薬剤の量を増やしている。精密金型と、射出成形による作製方法を考案した。また、動物実験によりその効果も評価した。

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017a.0_287

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  • 金/クロム薄膜電極を有する弾性表面波デバイスの作製

    力丸 真也, 冨山 直人, 村上 直, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2017A ( 0 )   289 - 290   2017年01月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    1種類のガス検出用のセンサは既に一部で実用化されている一方、広範な複数種のガスを同時に検知可能で、携帯可能なガスセンサは開発途上である。本研究では、弾性表面波(Surface Acoustic Wave; SAW)デバイスをセンサ素子のベース構造に用いたセンサチップの開発を最終目的としている。そのデバイスで、電極構造は、SAWの励振・検出を行う非常に重要な要素である。今回は、金/クロム薄膜を電極素材として選択し、SAWデバイスの作製を行った。

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017a.0_289

    CiNii Article

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  • 弾性表面波デバイスアレイへの素子分離溝の作製(共著)

    冨山 直人, 石井朋幸, 村上直, 伊藤高廣

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会) 論文集   25am2-PS-021   2016年10月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    日本   平戸   2016年10月24日  -  2016年10月26日

  • Capsule Micromechanism Driven by Impulse—Wireless Implementation(共著) 査読有り 国際誌

    T. Ito, S. Murakami

    Microactuators and Micromechanisms ( Kluwer Academic Publishers )   45   67 - 77   2016年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Germany   Ilmenau   2016年10月05日  -  2016年10月07日

    We have developed a traveling small capsule, which has a smooth outer surface and is driven by vibration. Measuring only 11 mm in diameter and 25 mm in length, it is sufficiently small to be placed in the human gullet or intestines. Although the capsule does not have wheels nor legs, it can travel utilizing vibration. For these reasons, there is nothing protruding to harm the soft tissue of intestine. The capsule contains a small magnet, a coil, batteries and a circuit, and an electric pulse drives the coil to move the capsule. We did the experimental investigation that our capsule can travel in a plastic pipe and it can also travel on pig intestine surface. We also have developed liquid medicine dispenser that can be put inside the capsule. Our capsule may be useful for medical treatments such as inspection and drug delivery.

    DOI: 10.1007/978-3-319-45387-3

    Scopus

    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84989941826&origin=inward

  • Fluid-structure interaction design of micro flexible wing mimicking insect flapping flight(共著) 査読有り

    D. Ishihara, S. Murakami, M. Araki, T. Horie

    Proceedings of the 12th World Congress on Computational Mechanics (WCCM XII)   No. 151142   2016年07月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Korea   Seoul   2016年07月24日  -  2016年07月29日

  • 微小孔アレイへの送液のための温調機能付きマイクロ流路デバイスの作製とその機能評価

    吉賀 雅史, 青井 将士, 石井 朋幸, 藤 圭亮, 村上 直, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2016S ( 0 )   493 - 494   2016年01月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    本研究では,医療用微小針等の孔アレイに組み合わせて送液に使用することを想定した,マイクロ流路およびマイクロヒーターの作製を目的とした.流路デバイスは,微細切削加工により流路を加工したガラス基板を樹脂基板で封止することで作製した.また,MEMS技術を利用することで,温度調整用のニッケル薄膜抵抗型マイクロヒーターを作製した.両デバイスを組み合わせたデバイスにおいて,液の加熱・流通等の機能評価を行った.

    DOI: 10.11522/pscjspe.2016s.0_493

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  • 異方性エッチングを用いた複合加工による3次元微小構造アレイの作製

    荒木 一宏, 村上 直, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2016A ( 0 )   295 - 296   2016年01月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    シリコン基材の3次元微細加工の手法としてエッチングが挙げられる。うち、特定の方向にのみ基材を除去する加工を異方性エッチングという。本研究では,真空環境下および液中での異方性エッチングを組み合わせてシリコン基板表面に対する複合加工を行った。まず真空下でのドライエッチングで作製した柱状構造を、更に液中でのウェットエッチングで加工することにより、複雑な3次元形状の微小構造アレイを作製した結果を報告する。

    DOI: 10.11522/pscjspe.2016a.0_295

    CiNii Article

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  • Direct hydrogen peroxide synthesis using glass microfabricated reactor - Paralleled packed bed operation(共著) 査読有り

    Tomoya Inoue,Jiro Adachi,Kenichiro Ohtaki,Ming Lu,Sunao Murakami,Xu Sun,Dong F. Wang

    Chemical Engineering Journl   278   517 - 526   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.1016/j.cej.2014.11.019

    Scopus

    その他リンク: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1385894714014624

  • Direct synthesis of hydrogen peroxide using glass fabricated microreactor - Multichannel operation and catalyst comparison(共著) 招待有り 査読有り

    Tomoya Inoue, Kenichiro Ohtaki, Jiro Adachi, Ming Lu, Sunao Murakami

    Catalysis Today   248   169 - 176   2014.5オンライン公開済み   2015年06月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    既報で報告した過酸化水素・直接合成用の触媒充填型ガラス製マイクロ反応器において、充填する触媒粒子を変えた場合の反応特性の違いを調べることで、その反応の動特性の理解を試みた。

    DOI: 10.1016/j.cattod.2014.03.065

    Scopus

    その他リンク: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092058611400296X

  • 結晶異方性ウェットエッチング加工によるマイクロピラミッド形状の表面微細構造の作製(共著)

    石井 朋幸、清水 正義、村上 直、伊藤 高廣

    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会)論文集   21pm3-PS34   2014年10月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    日本   島根県松江市   2014年10月20日  -  2014年10月22日

  • シリコンウエハ全面にわたる結晶異方性ウェットエッチング加工での表面加工形状の均一性の向上(共著) 査読有り

    村上直,大森龍之介,清水 正義,伊藤 高廣

    電気学会論文誌E   134 ( 8 )   258 - 263   2014年08月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    単結晶シリコンの結晶異方性ウェットエッチング加工において、加工時の保護マスクのパターンやエッチング方法・条件を制御することで、底面の一辺長が7~10μm程度のマイクロピラミッドが基板上にアレイ状に配列した表面構造での面内均一性を向上させることに成功した。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.258

    Scopus

    CiNii Article

    その他リンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/8/134_258/_article/-char/ja/

  • Impulse-driven capsule for medical treatment - Wireless implementation-(共著) 査読有り

    Takahiro Ito, Sunao Murakami, Teru Hayashi

    Proceedings of the 15th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2014)   C27   2014年07月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Japan   Kanazawa   2014年07月22日  -  2014年07月25日

  • Sub-micron-wide surficial trench frames to define the coating areas of sensitive layers on silicon MEMS resonant chemical sensors(共著) 招待有り 査読有り

    S. Murakami, T. Ikehara, M. Konno, R. Maeda, T. Fukawa, M. Kimura, T. Mihara

    Electronics and Communications in Japan   96 ( 10 )   60 - 66   2013年10月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    幅500 nmの枠溝構造を予め表面に微細加工したシリコン製マイクロカンチレバーを作製した。その枠溝の付与により、可動状態のカンチレバー表面の微小な領域内にのみ、溶液塗布による薄膜形成領域を制限することが容易となった。

    DOI: 10.1002/ecj.11379

    Scopus

    その他リンク: http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/ecj.11379/abstract

  • Direct synthesis of hydrogen peroxide based on microreactor technology(共著) 査読有り 国際誌

    T. Inoue, K. Ohtaki, S. Murakami, S. Matsumoto

    Fuel Processing Technology ( Elsevier B.V. )   108   8 - 11   2013年04月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    The direct synthesis of hydrogen peroxide from hydrogen and oxygen has been explored for decades, although it has been challenged by the inherent risk of handling explosive gas mixture and mass transfer resistance for its nature of gas–liquid–solid reaction. Using newly designed and fabricated glass microreactors, we successfully handle the reaction with promising productivity. 10 wt.% aqueous hydrogen peroxide solution is obtained at room temperature (ca. 293 K), 1 MPa. It owes to proper gas- and liquid handling as well as characteristics of microreactor technology (rapid heat/mass transfer), and proper preparation of the catalysts.

    DOI: 10.1016/j.fuproc.2012.04.009

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  • Frequency stability of a closed-loop oscillator using micro-electro-mechanical cantilever resonator against temperature fluctuation(共著) 査読有り

    Tsuyoshi Ikehara,Mitsuo Konno,Sunao Murakami,Takashi Mihara

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 6 )   06FL08   2012年06月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    シリコン製マイクロカンチレバーを作製し、その開ループおよび閉ループの状態での共振周波数の温度による変化について調べた。

    DOI: 10.1143/JJAP.51.06FL08

    Scopus

    その他リンク: http://iopscience.iop.org/1347-4065/51/6S/06FL08/

  • Parallelization of catalytic packed-bed microchannels with pressure-drop microstructures for gas-liquid multiphase reactions (共著) 査読有り

    Sunao Murakami,Kenichiro Otaki,Sohei Matsumoto,Tomoya Inoue

    Japanese Journal of Applled Physics   51 ( 6 )   06FK11   2012年06月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    気-液混相反応用の触媒充填型マイクロ反応器における反応スケールの増大を目的に、4本の流路を並列化したガラス製マイクロ流路デバイスを作製した。流路各部の圧力損失を考慮した流路構造の設計により、反応ガスの各流路への分配の均等性の向上を実現した。

    DOI: 10.1143/JJAP.51.06FK11

    Scopus

    その他リンク: http://iopscience.iop.org/1347-4065/51/6S/06FK11/

  • Integration of p-n junction diode to cantilever mass sensor for frequency drift compensation due to temperature fluctuation(共著) 査読有り 国際誌

    Tsuyoshi Ikehara, Mitsuo Konno, Sunao Murakami, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura, Takashi Mihara

    Sensors and Materials   23 ( 7 )   381 - 396   2011年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    Silicon resonant sensors generally show frequency drift due to temperature fluctuation. A p-n junction diode was integrated to a resonant mass sensor using a silicon cantilever in one chip for frequency drift compensation due to temperature fluctuation. The diode could be fabricated by almost the same fabrication process simultaneously with piezoresistive stress gauges and showed good p-n junction characteristics for a temperature sensor. The sensor chip consisted of multiple cantilevers and the diode was assembled to a sensor package with a PZT vibrator and oscillated using a feedback electric circuit. Frequency drift trends under induced temperature changes could be almost compensated using the temperature read by the on-chip diode and a temperature coefficient. The temperature coefficients were -34 and -78 ppm/°C for gold-coated and polybutadiene-coated cantilevers, respectively, and found to depend strongly on the surface adsorption films on the sensor. Frequency drift compensation under a chemical sensing situation was also demonstrated, which was reduced from the original drift up to 30 Hz to almost 2 Hz. Temperature compensation using an on-chip temperature sensor is considered to be important for chemical sensing using silicon cantilevers where gas flows can easily change the temperature of the sensor.

    Scopus

    その他リンク: http://myukk.org/sm_pdf/SM0854.pdf

  • Design, fabrication, and evaluation of highly sensitive compact chemical sensor system employing a micro cantilever array and a preconcentrator(共著) 査読有り

    Takashi Mihara, Tsuyoshi Ikehara, Mitsuo Konno, Sunao Murakami, Ryutaro Maeda, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura

    Sensors and Materials   23 ( 7 )   397 - 417   2011年10月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    we developed a highly sensitive compact chemical sensor system employing a polymer-coated microcantilever sensor array and a thermal preconcentrator. The design, structure, fabrication, and experiment results are reported here. This sensor system had 1) a sub-ppb detection limit concentrated by a preconcentrator and 2) analytical function by thermal desorption of the preconcentrator and multiple cantilevers (acting as the mass sensor) with different polymers. The preconcentrator contained 0.03 g of carbon fiber, and absorption/desorption were controlled by the temperature from room temperature to 520°C. The sample gas was introduced into the preconcentrator using a miniature air pump at a flow rate of 2.0 L/min. Four silicon microcantilevers in one silicon chip fabricated by micro-electromechanical systems (MEMS) technology were packaged in a ceramic flat package and driven by a PZT actuator plate mounted in the package. Using the 4th vibration mode (resonant frequency: 764 kHz) of a polybutadiene (2.52 urn thick)-coated cantilever, the sensitivity was 514 Hz/ppm for toluene and 850 Hz/ ppm for p-xylene with a 5 min preconcentration time. The preconcentration factor and system efficiency of sensing were estimated to be 830 and 0.78, respectively, for toluene. The estimated detection limit of the sensor system was less than 1 ppb for toluene and p-xylene with a 10 L sample volume, which was good enough for application to environmental monitoring. Separate detection of the mixed toluene and p-xylene was also achieved in the form of different time peaks during the heating preconcentrator operation.

    Scopus

    その他リンク: http://myukk.org/sm_pdf/SM0855.pdf

  • Fabrication of two-point-supported annular microresonators with vertical transducer gaps(共著) 査読有り 国際誌

    Sunao Murakami, Mitsuo Konno,Tsuyoshi Ikehara, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara

    Micro and Nano Letters ( The Institution of Engineering and Technology )   6 ( 7 )   469 - 472   2011年07月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    マイクロ振動子デバイスにおける支持点よりのエネルギー損失を低減する目的で、2点支持の円環型振動子デバイスを作製した。振動子の外周上に振動の節が出現するように円環の穴径等を調整した振動子を、静電的相互作用により駆動することに成功した。

    DOI: 10.1049/mnl.2011.0097

    Scopus

    その他リンク: https://digital-library.theiet.org/content/journals/10.1049/mnl.2011.0097;jsessionid=52h5n50qs1tj2.x-iet-live-01

  • Novel MEMS oscillator using in-plane disk resonator with sensing platform and its mass sensing (共著) 査読有り

    Mitsuo Konnno, Tsuyoshi Ikehara, Sunao Murakami, Ryutaro Maeda, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura, Takashi Mihara

    Proceedings of 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (Transducers 2011)   518 - 521   2011年06月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    P.R. China   Beijing   2011年06月05日  -  2011年06月09日

    平面内振動モードでの振動の節が外周上に位置するように円環型振動子の構造を設計し、その支持梁よりのエネルギー損失を抑えて高いQ値を実現した。また、円環内にガス吸着膜形成用プラットフォーム付きの振動子を用いた有機溶剤の検出にも成功した。

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969670

    Scopus

    その他リンク: http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=5969670

  • 単結晶シリコンの異方性がディスク型MEMS振動子の振動特性に及ぼす影響(共著) 査読有り

    村上直,昆野舜夫,池原毅,前田龍太郎,三原孝士

    電気学会論文誌E ( 一般社団法人 電気学会 )   130 ( 9 )   - 426   430   2010年09月

     詳細を見る

    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    単結晶シリコン製の円板型マイクロ振動子を2種類の面内共振モードで駆動した際に、振動子の支持方位と結晶方位の関係が振動特性に及ぼす影響を検討した。各モードに関して、振動解析および、作製したデバイスの周波数特性より、共振モード形状の対称性により、結晶方位が共振周波数に与える影響の大小は異なることを示した。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.130.426

    Scopus

    CiNii Article

    その他リンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/130/9/130_9_426/_article/-char/ja/

  • Fabrication of 150 nm-wide transducer gaps for disk-type resonators by single dry etching process(共著) 査読有り

    Sunao Murakami, Mitsuo Konno, Tsuyoshi Ikehara, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara

    Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 6 )   06GN04   2010年06月

     詳細を見る

    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    直径200 μmのシリコン製ディスク型振動子を、150 nm幅エアギャップ構造を介して静電的に駆動・検出するデバイスを作製した。作製プロセス確立のため、ドライエッチング条件を調整し、垂直性の高い側壁を有する100および150 nm幅のトレンチ構造の作製に成功した。

    DOI: 10.1143/JJAP.49.06GN04

    Scopus

    その他リンク: http://iopscience.iop.org/1347-4065/49/6S/06GN04/

  • カンチレバー型化学センサのオンチップ温度センサによる温度補償(共著)

    池原毅,村上直,昆野舜夫,布川正史,木村睦,三原孝士

    (査読有)平成22年度 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 ケミカルセンサ研究会資料   57 - 62   2010年06月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

  • MEMS振動子等価回路を用いた発振器の開発と質量センサへの応用(共著)

    昆野舜夫,池原毅,村上直,前田龍太郎,三原孝士

    (査読有)第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会)論文集   524 - 527   2009年10月

     詳細を見る

    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

  • In vivo tissue response and degradation behavior of PLLA and stereocomplexed PLA nanofibers(共著) 査読有り 国際誌

    Daisuke Ishii, Tang H. Ying, Atsushi Mahara, Sunao Murakami, Tetsuji Yamaoka, Won-ki. Lee, Tadahisa Iwata

    Biomacromolecules ( American Chemical Society )   10 ( 2 )   237 - 242   2009年02月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.1021/bm8009363

    Scopus

    PubMed

    その他リンク: https://pubs.acs.org/doi/10.1021/bm8009363

  • Scaffolds from electrospun polyhydroxyalkanoate copolymers: Fabrication, characterization, bioabsorption and tissue response(共著) 査読有り 国際誌

    Tang H. Ying, Daisuke Ishii, Atsushi Mahara, Sunao Murakami, Tetsuji Yamaoka, Kamar Sudesh, Razip Samian, Masahiro Fujita, Mizuo Maeda, Tadahisa Iwata

    Biomaterials ( Elsevier Ltd )   29 ( 10 )   1307 - 1317   2008年04月

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  • Effect of diglucosamine on the entrapment of protein into liposomes(共著) 査読有り

    Sunao Murakami, Tsutomu Ono, Shinji Sakai, Hiroyuki Ijima, Koei Kawakami

    Journal of Liposome Research ( Taylor & Francis Group, LLC )   16 ( 2 )   103 - 112   2006年05月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.1080/08982100600680667

    Scopus

    PubMed

    その他リンク: https://www.tandfonline.com/doi/abs/10.1080/08982100600680667?journalCode=ilpr20

  • Enhancement of the liver specific functions of primary rat hepatocytes co-cultured with bone marrow cells on tissue culture treated polystyrene surfaces(共著) 査読有り 国際誌

    Hiroyuki Ijima, Sunao Murakami, Takeshi Matsuo, Takayuki Takei, Tsutomu Ono, Koei Kawakami

    Journal of Artificial Organs ( The Japanese Society for Artificial Organs )   8 ( 2 )   104 - 109   2005年08月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.1007/s10047-005-0289-9

    Scopus

    PubMed

    その他リンク: https://link.springer.com/article/10.1007%2Fs10047-005-0289-9

  • Development of co-culture system of hepatocytes with bone marrow cells for expression and maintenance of hepatic functions(共著) 査読有り

    Sunao Murakami, Hiroyuki Ijima, Tsutomu Ono, Koei Kawakami

    The International Journal of Artificial Organs ( Wichtig Editore )   27 ( 2 )   118 - 126   2004年02月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    Scopus

    PubMed

    その他リンク: https://journals.sagepub.com/doi/10.1177/039139880402700207

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口頭発表・ポスター発表等

  • 多段階のエッチングを用いた複合形状の微小柱状構造アレイの作製

    角田 大成, 岩崎 正裕, 村上 直, 坂本 憲児, 伊藤 高廣

    2023年度精密工学会春季大会 学術講演会   2023年03月  精密工学会

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    開催期間: 2023年03月14日 - 2023年03月16日   記述言語:英語   開催地:東京   国名:日本国  

  • デバイス基材表面の構造による弾性表面波の伝搬特性の制御の試み

    岩崎 正裕, 井上 滉平, 村上 直, 伊藤 高廣

    2023年度精密工学会春季大会 学術講演会   2023年03月  精密工学会

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    開催期間: 2023年03月14日 - 2023年03月16日   記述言語:日本語   開催地:東京   国名:日本国  

  • タンタル酸リチウム基材上に作製した弾性表面波デバイスの特性に関する研究

    井上 滉平, 伊藤 高廣, 村上 直, 岩崎 渉, 森田 伸友

    2023年度精密工学会春季大会 学術講演会  2023年03月  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2023年03月14日 - 2023年03月16日   記述言語:日本語   開催地:東京   国名:日本国  

  • Impulse-driven capsule for medical inspection -Improvement of drive mechanism-

    Koki Koizumi, Koki IWASHITA, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Toshihiro KIMURA, Kaoru KARASAWA, Chihiro KATSUTA, Akane TANAKA, Hiromu KUTSUMI

    19th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2022)  2022年12月  精密工学会

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    開催期間: 2022年11月28日 - 2022年12月02日   記述言語:英語   開催地:奈良(ハイブリッド開催)   国名:日本国  

    その他リンク: http://www.scoop-japan.com/kaigi/icpe2022/

  • Microfabrication of surface acoustic wave devices with micro-patterned AlN thin films

    Sunao Murakami, Kanato Kitamura, Takahiro Ito

    13th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2022)  2022年10月 

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    開催期間: 2022年10月16日 - 2022年10月19日   記述言語:英語   開催地:Kagoshima   国名:日本国  

  • 点滴用高精度流量計測器の開発と研究

    目黒 輝, 内村 護, カチョンルンルアン パナート, 伊藤 高廣, 村上 直

    2022年度精密工学会秋季大会 学術講演会  2022年09月  精密工学会

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    開催期間: 2022年09月07日 - 2202年09月09日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • AlN 膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究

    井口 航平, 伊藤 高廣, 村上 直, 岩崎 渉, 森田 伸友

    2022年度精密工学会春季大会 学術講演会  2022年03月  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2022年03月15日 - 2022年03月17日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • 消化管内カプセル走行改善の研究

    小泉 皓暉, 伊藤 高廣, 村上 直

    2022年度精密工学会春季大会 学術講演会  2022年03月  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2022年03月15日 - 2022年03月17日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • ハーフインチ径水晶ウエハ上へ成膜したAlN薄膜上への弾性表面波デバイスアレイの試作と評価

    永野 朝日,北村 奏人,野田 周一,井口 航平,村上 直,クンプアン ソマワン,原 史朗

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会

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    開催期間: 2021年11月09日 - 2021年11月11日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • AlN 膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究

    井口 航平, 岩崎 渉, 上原 雅人, 大曲 新也, 本村 大成, 森田 伸友, 村上 直, 伊藤 高廣

    2021年度精密工学会秋季大会 学術講演会  2021年09月  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2021年09月21日 - 2021年09月30日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • 医療用マイクロニードルの研究

    川端 一輝, 松島 俊也, 水口 凌, 伊藤 高廣, 引間 知広, 村上 直, 松尾 正昭, 原 正哉, 椿 浩忠田代 康典,

    2021年度精密工学会秋季大会 学術講演会  2021年09月  精密工学会

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    開催期間: 2021年09月21日 - 2021年09月30日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • 自走式カプセル内視鏡の研究—無線給電と動物実験—

    岩下 広樹, 伊藤 高廣, 村上 直, 木村 俊広, 唐澤 薫, 勝田 ちひろ, 田中 あかね, 久津 見弘

    2021年度精密工学会秋季大会 学術講演会  2021年09月  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2021年09月21日 - 2021年09月30日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • 点滴流量計測小型高精度化の研究

    内村 護, カチョーンルンルアンパナート, 伊藤 高廣, 村上 直

    2021年度精密工学会秋季大会 学術講演会  2021年09月  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2021年09月21日 - 2021年09月30日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • Improved design of polymer micromachined transmission for flapping wing nano air vehicle

    Rashmikant, Daisuke ISHIHARA, Ryotaro SUETSUGU, Sunao MURAKAMI, Prakasha C. RAMEGOWDA

    16th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2021)   2021年04月  IEEE Nanotechnology Council

     詳細を見る

    開催期間: 2021年04月25日 - 2021年04月29日   記述言語:英語   開催地:Xiamen   国名:中華人民共和国  

  • 微小柱状構造アレイの作製におけるドライエッチングの条件検討

    山本 雅喜, 村上 直, 伊藤 高廣

    2021年度精密工学会春季大会 学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2021年03月16日 - 2021年03月22日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • New shape microneedle array for medical application

    Shunya MATSUSHIMA, Kazuya YAMADA, Yuki MIZUNO, Tatsuya FUKUDA, Takahiro ITO, Tomohiro HIKIMA, Sunao MURAKAMI, Hirotada TSUBAKI, Masaya HARA, Yasunori TASHIRO

    18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020)  The Japan Society for Precision Engineering (JSPE)

     詳細を見る

    開催期間: 2020年11月23日 - 2020年11月27日   記述言語:英語   開催地:Online  

    その他リンク: http://www.scoop-japan.com/kaigi/icpe2020/program.html

  • Fabrication of microneedle array for medical application

    Kazuya YAMADA, Shunya MATSUSHIMA, Yuki MIZUNO, Tatsuya FUKUDA, Kanae TAKASAWA, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Tomohiro HIKIMA, Hirotada TSUBAKI, Masaya HARA, Yasunori TASHIRO, Masaaki MATSUO

    18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020)  The Japan Society for Precision Engineering (JSPE)

     詳細を見る

    開催期間: 2020年11月23日 - 2020年11月27日   記述言語:英語   開催地:Online  

    その他リンク: http://www.scoop-japan.com/kaigi/icpe2020/program.html

  • Impulse-driven Capsule for Medical Inspection

    Yuichiro KAWASHIMA, Kenta ASAI, Shotaro WATANABE, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Kaoru KARASAWA, Chihiro KATSUTA, Akane TANAKA, Hiromu KUTSUMI

    18th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2020)  The Japan Society for Precision Engineering (JSPE)

     詳細を見る

    開催期間: 2020年11月23日 - 2020年11月27日   記述言語:英語   開催地:Online  

    その他リンク: http://www.scoop-japan.com/kaigi/icpe2020/program.html

  • Polymer micromachined transmission for insect–inspired flapping wing nano air vehicles

    Daisuke ISHIHARA, Sunao MURAKAMI, Naoto OHIRA, Jyunpei UEO, Masakatsu TAKAGI, Kohei URAKAWA, Tomoyoshi HORIE

    the 13th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems  IEEE Nanotechnology Council

     詳細を見る

    開催期間: 2020年09月27日 - 2020年09月30日   記述言語:英語   開催地:Online  

    その他リンク: https://ieee-nems.org/2020/program/

  • 医療用マイクロニードルの研究

    山田 一也, 松島 俊也, 水野 有希, 福田 龍彌, 高澤 香奈衣, 伊藤 高廣, 引間 知広, 村上 直, 椿 浩忠, 原 正哉, 田代 康典, 松尾 正昭

    2020年度精密工学会秋季大会 学術講演会  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2020年09月01日 - 2020年09月07日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • 微小3次元構造アレイ作製におけるシリコン基板表面の結晶方位の影響

    村上 直,木原 帆慧,伊藤 高廣

    2020年度精密工学会秋季大会 学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2020年09月01日 - 2020年09月07日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • 自走式カプセル内視鏡の研究

    川島 雄一朗, 浅井 謙太, 渡邉 翔太朗, 伊藤 高廣, 村上 直, 唐澤 薫, 勝田 ちひろ, 田中 あかね, 久津 見弘

    2020年度精密工学会秋季大会 学術講演会  精密工学会

     詳細を見る

    開催期間: 2020年09月01日 - 2020年09月07日   記述言語:日本語   開催地:オンライン  

  • 圧電薄膜の追加形成による弾性表面波デバイスの周波数特性の変化

    力丸 真也, 北村 奏人, 村上 直, 伊藤 高廣

    2019年度精密工学会春季大会 学術講演会 

     詳細を見る

    開催期間: 2019年03月13日 - 2019年03月15日   記述言語:日本語  

  • Impulse-driven capsule for medical inspection

    Hiroyuki Ichiki, Kenta Asai, Shotaro Watanabe, Takahiro Ito, Sunao Murakami

    17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)  2018年11月  The Japan Society for Precision Engineering (JSPE)

     詳細を見る

    開催期間: 2018年11月12日 - 2018年11月16日   記述言語:英語   開催地:Kamakura   国名:日本国  

    その他リンク: http://www.scoop-japan.com/kaigi/icpe2018/program.html

  • Microneedle array for medical application

    Taichi Hanada, Takahiro Ito, Tomohiro Hikinma, Sunao Murakami, Hirotada Tsubaki, Masaya Hara, Yasunori Tashiro, Masaaki Matsuo

    17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)  2018年11月  The Japan Society for Precision Engineering (JSPE)

     詳細を見る

    開催期間: 2018年11月12日 - 2018年11月16日   記述言語:英語   開催地:Kamakura   国名:日本国  

    その他リンク: http://www.scoop-japan.com/kaigi/icpe2018/program.html

  • 金/クロム薄膜電極を有する弾性表面波デバイスの作製

    力丸 真也, 冨山 直人, 村上 直, 伊藤 高廣

    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会 講演論文集 

     詳細を見る

    開催期間: 2017年09月20日 - 2017年09月22日   記述言語:日本語  

    1種類のガス検出用のセンサは既に一部で実用化されている一方、広範な複数種のガスを同時に検知可能で、携帯可能なガスセンサは開発途上である。本研究では、弾性表面波(Surface Acoustic Wave; SAW)デバイスをセンサ素子のベース構造に用いたセンサチップの開発を最終目的としている。そのデバイスで、電極構造は、SAWの励振・検出を行う非常に重要な要素である。今回は、金/クロム薄膜を電極素材として選択し、SAWデバイスの作製を行った。

    CiNii Article

  • 医療用マイクロニードルの作製

    花田 大知, 伊藤 高廣, 引間 知広, 村上 直, 椿 浩忠, 原 正哉, 黒木 潤二, 田代 康典, 松尾 正昭

    2017年度精密工学会秋季大会 講演論文集 

     詳細を見る

    開催期間: 2017年09月20日 - 2017年09月22日   記述言語:日本語  

    従来の注射に代えて、マイクロニードルアレイにより皮膚から薬剤を体内に入れ、誰でも、どこでも、いつでも、痛みなく投薬ができることを目指している。皮膚に開けた穴が塞がりにくくしたマイクロニードル形状とその製作方法を提案する。独自の窪み形状により皮膚の穴が塞がることを防ぐと同時に、薬剤の量を増やしている。精密金型と、射出成形による作製方法を考案した。また、動物実験によりその効果も評価した。

    CiNii Article

  • Fluid–structure interaction design of insect–like micro flapping wing

    Daisuke Ishihara, Naoto Ohira, Masakatsu Takagi, Sunao Murakami, Masateru Araki, Tomoyoshi Horie

    The VII International Conference on Computational Methods for Coupled Problems in Science and Engineering (COUPLED PRBLEMS 2017)  2017年06月  International Centre for Numerical Methods in Engineering

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    開催期間: 2017年06月12日 - 2017年06月14日   記述言語:英語   開催地:Rhodes Island   国名:ギリシャ共和国  

    その他リンク: https://congress.cimne.com/coupled2017/frontal/default.asp

  • Fluid – structure interaction design of micro flexible wing mimicking insect flapping flight 招待有り

    Daisuke Ishihara, Sunao Murakami, Masateru Araki, Tomoyoshi Horie

    The 12th World Congress on Computational Mechanics (WCCM XII) / The 6th Asia-Pacific Congress on Computational Mechanics (APCOM VI)  International Association for Computational Mechanics (IACM)

     詳細を見る

    開催期間: 2016年06月24日 - 2016年06月29日   記述言語:英語   開催地:Seoul   国名:大韓民国  

  • 消化管内走行カプセルの走行動作の研究

    瀬野浦 聖洸, 井上 星矢, 村上 直, 伊藤 高廣, 林 輝

    精密工学会学術講演会講演論文集 

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    開催期間: 2015年01月   記述言語:日本語  

    現在、消化管検査には内視鏡が多く用いられる。しかし、従来の内視鏡では小腸の検査が困難であるため、カプセル内視鏡が普及し始めている。カプセル内視鏡は、消化管のぜん動運動に依存して管内を進むため、検査時間が長くなり、任意箇所に留まることができない。これらを解決するために、本研究では振動を利用することで管内を自立移動できるカプセルの開発を目的としている。今回は、カプセルの走行に利用する振動を考察した。

    CiNii Article

  • シリコンの結晶異方性ウェットエッチングによる円錐形状の表面微細構造の作製

    石井 朋幸, 清水 正義, 村上 直, 田代 康典, 鬼木 喬玄, 伊藤 高廣

    精密工学会学術講演会講演論文集 

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    開催期間: 2015年01月   記述言語:日本語  

    本研究では,水酸化テトラメチルアンモニウムを使用した単結晶シリコン(SCS)の結晶異方性ウェットエッチングにおいて,その条件等により加工後の形状を制御することで,昨年度までに作製した凸の四角錐形状に加え,円錐形状の表面微細構造の作製を試みた。特に,ウェットエッチングにおけるSCS基板の結晶異方性とエッチング時の保護マスクパターン形状に着目することで,底面が円形状の表面微細構造物の作製に成功した。

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学術関係受賞

  • The 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020) Best Paper Award

    公益社団法人 精密工学会   Impulse-driven Capsule for Medical Inspection   2020年11月26日

    Yuichiro KAWASHIMA, Kenta ASAI, Shotaro WATANABE, Takahiro ITO, Sunao MURAKAMI, Kaoru KARASAWA, Chihiro KATSUTA, Akane TANAKA, Hiromu KUTSUMI

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    受賞国:日本国

    本賞は、ICPE2020において発表された全講演の中より特に研究内容が優れた講演に対して授与された論文賞である

科研費獲得実績

  • 微小体積での多成分ガス検知を目指したセンサ用素子の階層的配置と3次元溝構造の制御

    研究課題番号:15K21225  2015年04月 - 2018年03月   若手研究(B)

担当授業科目(学内)

  • 2023年度   半導体トピックセミナー

  • 2023年度   半導体トピックセミナー

  • 2023年度   マイクロデバイス・システム特論AM

  • 2023年度   マイクロデバイス・システム特論SC

  • 2023年度   半導体トピックセミナー

  • 2023年度   知的システム工学特別講義

  • 2023年度   知的システム工学実験演習Ⅱ

  • 2023年度   知的システム工学実験演習Ⅰ

  • 2022年度   知的システム工学実験演習Ⅰ

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    科目区分:学部専門科目

  • 2022年度   半導体トピックセミナー

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    科目区分:大学院専門科目

  • 2022年度   半導体トピックセミナー

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    科目区分:大学院専門科目

  • 2022年度   マイクロデバイス・システム特論AM

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    科目区分:大学院専門科目

  • 2022年度   マイクロデバイス・システム特論SC

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    科目区分:大学院専門科目

  • 2022年度   マイクロデバイス・システム特論RO

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    科目区分:大学院専門科目

  • 2022年度   半導体トピックセミナー

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    科目区分:大学院専門科目

  • 2022年度   知的システム工学実験演習Ⅲ

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    科目区分:学部専門科目

  • 2022年度   情報工学概論

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    科目区分:学部教養科目

  • 2022年度   知的システム工学特別講義

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    科目区分:学部専門科目

  • 2022年度   知的システム工学実験演習Ⅳ

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    科目区分:学部専門科目

  • 2022年度   知的システム工学実験演習Ⅱ

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    科目区分:学部専門科目

  • 2022年度   情報工学基礎実験

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    科目区分:学部教養科目

  • 2021年度   マイクロデバイス・システム特論

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    科目区分:大学院専門科目

  • 2021年度   半導体トピックセミナー

  • 2021年度   知的システム工学実験演習Ⅲ

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    科目区分:学部専門科目

  • 2021年度   知的システム工学実験演習Ⅳ

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    科目区分:学部専門科目

  • 2021年度   情報工学概論

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    科目区分:学部教養科目

  • 2020年度   マイクロデバイス・システム特論

  • 2020年度   情報工学概論

  • 2019年度   機械情報プロジェクト II

  • 2019年度   機械情報プロジェクト III

  • 2019年度   情報工学基礎実験

  • 2019年度   日本語コミュニケーション

  • 2019年度   情報工学概論

  • 2019年度   マイクロデバイス・システム特論

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教育活動に関する受賞・指導学生の受賞など

  • 2017年度 精密工学会九州支部 熊本地方講演会 ベストプレゼンテーション賞

    公益社団法人 精密工学会 九州支部  

    2017年12月17日

    力丸 真也

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    研究指導を実質的に主担当している博士前期課程の学生が行った口頭発表(タイトル:「圧電マイクロデバイスのための金属薄膜電極パターンの作製」)が、研究および講演の内容が優れた講演発表に対して贈られる賞を受賞

FD活動への参加

  • 2023年09月   2023年度第1回教養教育院FD研修会「大学教育における生成AI利用の現状と課題」

  • 2023年07月   2023年度第1回情報工学研究院FD研修「教学IRデータから見る情報工学部」

  • 2023年07月   2023年度全学FD研修会「地域課題解決型AI教育プログラム」

  • 2023年07月   令和5年度 経済安全保障講演会

  • 2023年03月   2022年度学習教育センター主催全学FD研修「"コーチング"について知ろう」

  • 2022年11月   2022年度全学FD研修会「探究的な学習における教育評価」

  • 2022年10月   2022年度第2回情報工学研究院FD研修「ルーブリック評価入門」

  • 2022年10月   2022年度学習教育センター主催全学FD研修「大学におけるIRのあり方 ~東京工業大学の事例より~」

  • 2022年09月   2022年度教養教育院FD研修会「大学における障害のある学生等への支援について ~本学での対応を中心に~」

  • 2022年07月   2022年度第1回情報工学研究院FD研修「コロナ禍における学生支援・相談の現状」

  • 2022年07月   2022年度学習教育センター主催全学FD研修「オンデマンド授業の制作・運用について」

  • 2021年10月   2021年度第2回情報工学研究院FD研修「ルーブリック評価入門」

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学会・委員会等活動

  • 精密工学会   九州支部 商議員  

    2016年02月 - 現在

  • 電気学会   第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 分野8 主査  

    2024年01月 - 現在

  • 精密工学会   本部・広報委員  

    2018年04月 - 現在

  • 精密工学会   オーガナイズドセッション「MEMSの商業化」 セッションオーガナイザー  

    2017年10月 - 現在

  • 電気学会   「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員  

    2019年02月 - 現在

  • 電気学会   第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 分野8 副査  

    2023年01月 - 2023年12月

  • The 13th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS   Program Committee member  

    2022年08月 - 2022年10月

  • 日本機械学会 生産加工・工作機械部門   第10回JSME先端生産技術に関する国際会議 (LEM21) 実行委員  

    2020年10月 - 2021年11月

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社会貢献活動(講演会・出前講義等)

  • 飯塚キャンパスオープンキャンパス・学科研究紹介

    役割:運営参加・支援, 実演

    飯塚キャンパスオープンキャンパス2023  飯塚キャンパス  2023年07月15日 - 2023年07月16日

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    対象: 高校生, 保護者

    種別:施設一般公開

  • マイクロ化総合技術センター 一般公開(工大祭の際に実施)

    役割:運営参加・支援

    2017年11月19日

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    対象: 社会人・一般

    種別:セミナー・ワークショップ

  • マイクロ化総合技術センター 2017年度 製造中核人材育成セミナー

    役割:講師, 運営参加・支援

    2017年08月01日 - 2017年08月02日

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    対象: 社会人・一般

    種別:セミナー・ワークショップ

  • 飯塚キャンパスオープンキャンパス・オープンラボ「ミクロの機械の不思議 マイクロマシン」

    役割:実演

    飯塚キャンパスオープンキャンパス2017  飯塚キャンパス  2017年07月15日 - 2017年07月16日

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    対象: 高校生, 保護者, 社会人・一般

    種別:施設一般公開

  • 飯塚キャンパスオープンキャンパス・オープンラボ「ミクロの機械の不思議 マイクロマシン」

    役割:実演

    飯塚キャンパスオープンキャンパス2016  飯塚キャンパス  2016年07月16日 - 2016年07月17日

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    対象: 高校生, 保護者, 社会人・一般

    種別:施設一般公開