Feasibility study of multi-point two-dimensional profile measurement by 3-2-1 and 3×3 sensor layout Reviewed International journal

Fujiwara R., Shimizu H.

Measurement: Sensors   18   2021.12

A MEMS device for straightness measurement integrating 10 cantilever displacement sensors Reviewed International journal

Shimizu H., Tamiya K., Mizukami S., Tamaru Y.

10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021   409 - 411   2021.11

Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces Reviewed International journal

Tamaru Y., Kawata K., Shimizu H.

10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021   640 - 645   2021.11

High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials Reviewed International journal

K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu

Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology ( Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology )   C13   2019.11

Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors Reviewed

Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru

Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   D08   Paper ID:125   2019.09

Square layout four-point method for two-dimensional profile measurement and self-calibration method of zero-adjustment error Reviewed International journal

12 ( 5 )   707 - 713   2018.09

A novel compensation method of zero-adjustment error in flatness measurement using serial four-point method Reviewed International journal

SHIMIZU Hiroki, YAMASHITA Ryousuke, HASHIGUCHI Takuya, MIYATA Tasuku

Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21 ( The Japan Society of Mechanical Engineers )   2017.9 ( 0 )   163   2017.11

Linear slider supported by squeezed air films with self-propulsion mechanism based on floating height difference Reviewed

TAMARU Yuuma, SHIMIZU Hiroki

Transactions of the JSME (in Japanese)   83 ( 854 )   17 - 00278-17-00278   2017.10

Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation Reviewed

2015.10

Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe Reviewed

9 ( 5 )   551 - 557   2015.09

Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors Reviewed

1 - 5   Paper ID 1196   2015.09

Displacment Detection of Small Sphere using Eccentric Astigmatic Method Reviewed

1 - 4   index: B18   2014.09

Correction of positioning and angular errors for ball screw feed unit Reviewed

Yuuma TAMARU, Hiroki SHIMIZU, Hiroshi KAMODA

Transactions of the JSME   80 ( 816 )   1 - 11   DR0240   2014.08

Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators Reviewed

613   200 - 203   2014.05

16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,<特集>機械工学年鑑)

清水 浩貴

日本機械学会誌 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   116 ( 1137 )   571 - 572   2013.01

長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動 Reviewed

田丸雄摩，高藤和樹，清水浩貴

日本機械学会論文集（Ｃ編）   74 ( 745 )   2294 - 2299   2008.09

Theoretical Study on Self-calibration for the Wide-rangeLaser Auto-collimation Method Reviewed

H.Shimizu,O.Hayashi

Key Engineering Materials   381-382   271 - 274   2008.06

高感度2軸マイクロ角度センサの開発 Reviewed

高偉,齋藤悠佑,佐藤隼人,清野慧,清水浩貴,広瀬純

精密工学会誌   72 ( 9 )   1174 - 1178   2006.09

Three-Dimensional Slit Width Measurement for Long Precision Slot Dies Reviewed

M. Furukawa,W. Gao,H. Shimizu,S. Kiyono,M. Yasutake,K. Takahashi

Key Engineering Materials   295-296   343 - 348   2005.10

A Biological Sensor for Detecting Foreign Bodies Using a Balloon Probe Reviewed

H. Shimizu,S. Kiyono,W. Gao,H. Shoji

Key Engineering Materials   295-296   133 - 138   2005.10

An electrical pen for signature verification using a two-dimensional optical angle sensor Reviewed

Hiroki Shimizu,Satoshi Kiyono,Takenori Motoki,Wei Gao

Sensors and Actuators, A   111   216 - 221   2004.04

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）一長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討一

夘田将太

2015 年度精密工学会春季大会  精密工学会

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）一平面測定用デバイスの製作一

菊地洋輝

2015 年度精密工学会春季大会  精密工学会

MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発（第5報）—平面測定用デバイスの設計と構造解析—

菊地洋輝

2014 年度精密工学会秋季大会  精密工学会

スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振 （完全非接触支持による制振特性検証の精度向上）

松本勇毅

2014 年度精密工学会春季大会  精密工学会

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）—表面荒れを抑えた探針製作法—

殘華智仁

2014 年度精密工学会春季大会  精密工学会

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第1報）—測定原理の検討と基礎的検証—

藤田豊栄

2014 年度精密工学会春季大会  精密工学会

On-machine profiler for machined surface using 3-point method

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第3報）—ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合—

水頭正一郎

2012 年度精密工学会秋季大会  精密工学会

スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振

松本勇毅

2012 年度精密工学会秋季大会  精密工学会

拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報－曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ－

機械知能工学科

2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化（第2報）-押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発-

機械知能工学専攻

2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ

機械知能工学専攻，佐々木啓成

日本機械学会九州支部講演論文集 

可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化(第１報)－特性補正の基礎実験－

機械知能工学専攻，諸冨啓

2008年度精密工学会春季大会学術講演会 

姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ－第1報　構想と装置の試作－

機械知能工学専攻,鎌田紘介

2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

拡張レーザーオートコリメーション法による形状測定装置の開発―自律校正法の検討―

機械知能工学専攻

精密工学会春季大会講演論文集 

An Extended Auto-Collimation Method Combined with a Deflect Optical System for Non-Contact Profile Measurement

Proc. of 5th International euspen Conference