2024/05/14 更新

シミズ ヒロキ
清水 浩貴
SHIMIZU Hiroki
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Citation Countは当該年に発表した論文の被引用数

所属
大学院工学研究院 機械知能工学研究系
職名
准教授
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研究キーワード

  • 計測工学

研究分野

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 計測工学

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 加工学、生産工学

取得学位

  • 大阪大学  -  博士(工学)   2000年03月

学内職務経歴

  • 2008年04月 - 現在   九州工業大学   大学院工学研究院   機械知能工学研究系     准教授

  • 2007年04月 - 2008年03月   九州工業大学   工学部   機械知能工学科     准教授

所属学会・委員会

  • 2006年04月 - 現在   精密工学会   日本国

  • 2007年04月 - 現在   日本機械学会   日本国

論文

  • Confocal probe based on the second harmonic generation for measurement of linear and angular displacements 査読有り 国際誌

    Sato R., Shimizu Y., Shimizu H., Matsukuma H., Gao W.

    Optics Express   31 ( 7 )   11982 - 11993   2023年03月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    A measurement method based on a confocal probe on the second harmonic generation that can measure linear and angular displacements in the focusing point is proposed. In the proposed method, a pinhole or an optical fiber placed in front of the detector in conventional confocal probes is replaced by a nonlinear optical crystal, which is utilized as a medium generating second harmonic wave whose light intensity changes by the linear and angular displacements of a target under measurement. The feasibility of the proposed method is verified by theoretical calculations and experiments with the newly designed optical setup. Experimental results have demonstrated that the developed confocal probe has a resolution of 20 nm and 5 arc-seconds for measurement of linear and angular displacements, respectively.

    DOI: 10.1364/OE.486421

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  • 第二次高調波共焦点プローブに関する研究

    佐藤 遼, 清水 裕樹, 清水 浩貴, 松隈 啓, 高 偉

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2023S ( 0 )   412 - 413   2023年03月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>従来のコリメート光を用いたオートコリメータとは異なり,局所エリアにおける角度計測が可能な収束光を用いた新たな角度計測手法として,非線形光学結晶における第二次高調波発生原理を応用した共焦点プローブを提案する.提案原理に基づく数値シミュレーション解析を行うとともに,プロトタイプ光学系を構築し,角度測定範囲および測定分解能について検討を行い提案原理の実現可能性について検討を行った結果を報告する.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2023s.0_412

    CiNii Research

  • 多点同時計測可能なカンチレバー式変位計デバイス

    加倉 誠勝, 小濱 大輝, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2023S ( 0 )   436 - 437   2023年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>一本のカンチレバーに2ないし3の探針と,探針数以上のひずみ検出部を設けることで多点変位の同時計測が可能なカンチレバー式変位計を提案する.この変位計は多点法形状計測に応用できる一方,変位とひずみの関係が複雑になる問題がある.そこで有限要素法によるひずみ解析の結果に機械学習の回帰の手法を適用してひずみと変位の変換モデルの作成を行い,変位の測定が行えることを確認した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2023s.0_436

    CiNii Research

  • 3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定

    時實 拓紀, 野田 樹生, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2023S ( 0 )   382 - 383   2023年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>9つの距離センサを縦横に3つずつ並べた正方形配置のセンサユニットを用い,これを工作機械上で走査することで取得したデータを接続して平面加工物の形状再現を行う手法について検討した.既に算出済みの形状値にステージの運動誤差を考慮して測定データを接続する際の重ね合わせ領域のデータ処理方法,及び測定データの接続経路を変更することによる形状再現精度を数値シミュレーションを用いて比較した結果を報告する.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2023s.0_382

    CiNii Research

  • Investigation of Angle Measurement Based on Direct Third Harmonic Generation in Centrosymmetric Crystals 査読有り 国際誌

    Li K., Lin J., Zhang Z., Sato R., Shimizu H., Matsukuma H., Gao W.

    Applied Sciences (Switzerland)   13 ( 2 )   2023年01月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    This paper proposed angle measurement methods based on direct third harmonic generation (THG) in centrosymmetric crystals. The principles of the intensity-dependent and the wavelength-dependent angle measurement methods were illustrated. In this study, three prospective centrosymmetric crystals and two different phase-matching types were investigated in a wavelength range from 900 nm to 2500 nm. For the intensity-dependent method, a dispersion-less wavelength range was found from 1700 nm to 2000 nm for α-BBO and calcite. Compared with rutile, α-BBO and calcite had relatively better measurement performance based on the angle measurement sensitivity calculation. The wavelength-dependent method was considered in a dispersive range of around 1560 nm. The results suggested that α-BBO and calcite were also suitable for wavelength-dependent measurement. In addition, the effects of focusing parameters were considered in the simulation, and the optimized focal length (f = 100 mm) and the focused position (in the center of the crystal) were determined.

    DOI: 10.3390/app13020996

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  • Reduction of Crosstalk Errors in a Surface Encoder Having a Long Z-Directional Measuring Range 査読有り 国際誌

    Hong Y., Sato R., Shimizu Y., Matsukuma H., Shimizu H., Gao W.

    Sensors   22 ( 23 )   2022年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    A modified two-axis surface encoder is proposed to separately measure both the in-plane displacement and the Z-directional out-of-plane displacement with minor crosstalk errors. The surface encoder is composed of a scale grating and a small-sized sensor head. In the modified surface encoder, the measurement laser beam from the sensor head is designed to be projected onto the scale grating at a right angle. For measurement of the X- and Y-directional in-plane scale displacement, the positive and negative first-order diffracted beams from the scale grating are superimposed on each other in the sensor head, producing interference signals. On the other hand, the Z-directional out-of-plane scale displacement is measured based on the principle of a Michelson-type interferometer. To avoid the influence of reflection from the middle area of the transparent grating, which causes periodic crosstalk errors in the previous research, a specially fabricated transparent grating with a hole in the middle is employed in the newly designed optical system. A prototype sensor head is constructed, and basic performances of the modified surface encoder are tested by experiments.

    DOI: 10.3390/s22239563

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  • A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces 査読有り 国際誌

    Shimizu Hiroki, Tamiya Koichi, Mizukami Shoichiro, Tamaru Yuuma

    International Journal of Automation Technology ( 富士技術出版株式会社 )   16 ( 5 )   582 - 587   2022年09月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    <p>Multi-point scanning measurement, which is effective in eliminating motion errors of the stage in on-machine profile measurement, requires multiple displacement sensors of equal pitch to measure displacements simultaneously. However, it is not easy to arrange small sensors with high alignment accuracy when applying the multi-point method at a narrow pitch. In addition, if many sensors can be arranged in parallel, improvement in measurement accuracy can be expected. Therefore, a new micro electro mechanical system (MEMS) device for straightness measurement, one that integrates 10 cantilever displacement sensors, has been proposed. This device can be expected to solve the problem involved in the multi-point method because of the characteristics of MEMS, as the semiconductor processing method can make mechanical structures with high accuracy and it can easily make the device with many identical structures. The device is designed to measure waviness less than 100 μm in height. Ten cantilevers of 11 mm length are fabricated in parallel with 1.8 mm pitch on a side of a base substrate 20 mm square. The strain induced by a displacement of the probe placed near the front edge of the cantilever is detected as a change in the resistance of the piezo resistor at the foot of the cantilever. In the fabrication process of this device, crystal anisotropic etching is performed for 12 hours to form probes 250 μm high. A new fabrication process is also proposed in which a protective process is added to prevent damage to the circuits already formed during the etching. A prototype is investigated, and it is found that the resistance value increases about 0.45% in proportion to the displacement of 100 μm. It is therefore confirmed that this device has the basic ability to detect displacement.</p>

    DOI: 10.20965/ijat.2022.p0582

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    CiNii Research

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  • Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces 査読有り 国際誌

    Tamaru Yuuma, Kawata Kensuke, Shimizu Hiroki

    International Journal of Automation Technology ( 富士技術出版株式会社 )   16 ( 5 )   588 - 597   2022年09月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    <p>High-precision positioning can be obtained by reducing sliding friction and securing support rigidity. A prototype of a biaxial positioning table with non-contact drive by magnetic force and flexible mechanism support was developed to meet these requirements. The magnetic poles of a permanent magnet and an electromagnet were placed opposite to each other with an appropriate gap between them, and the attraction force between the two poles was used as the actuator for fine feed. The table was supported with a flexible mechanism composed of metal (A2017) beams with notches and elastic hinges assembled into a square frame shape. The permanent magnets were commercial neodymium magnets, and the electromagnets were self-made of S45C core bars. Two types of attraction force, maximum and minimum, were set depending on the number of neodymium magnets and the magnetic pole gap. The relationship between the applied current and attraction force for each type was calibrated using an electronic balance. Upon increasing and decreasing the applied current to the electromagnets, a linear relationship was shown between them. The relationship between the attraction force and the <i>X</i>- and <i>Y</i>-axes displacements was simulated by finite element analysis. Based on both results, the relationship between the applied current and displacement was estimated. The fine-feed experiment was conducted in both directions of the <i>X</i>- and <i>Y</i>-axes by applying current to electromagnets in a stepwise sequence. The displacements of total strokes in the long-stroke feed on applying the maximum attraction force were 340 μm and 315 μm for the <i>X</i>-axis and 160 μm and 133 μm for the <i>Y</i>-axis. These values are 2.0–2.8 times larger than the estimated displacement. Additionally, 3%–12% of the other axes interference occurred between the <i>X</i>- and <i>Y</i>-axes. In the high resolution feed applying the minimum attraction force, the displacement per step was 75 nm and 78 nm for the <i>X</i>-axis and 35 nm and 39 nm for the <i>Y</i>-axis. Cooperative feed with a combination of long stroke and high resolution was verified to be feasible.</p>

    DOI: 10.20965/ijat.2022.p0588

    CiNii Research

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第6報)

    田丸 雄摩, 牛島 智大, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2022A ( 0 )   28 - 29   2022年08月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>摺動摩擦のないスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している.加振面と被加振面の平行度調整が可能であることを特徴とする.前報では支持部底面角度が異なる3種類のテーブルに対して長ストローク微動特性を示した.今回,ステップ電圧を長ストロークの1/10に設定した小ステップ変位での応答を観察した.また,膜厚変化から幾何学的に推定した見積変位と実際の変位を比較評価した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2022a.0_28

    CiNii Research

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第5報)

    田丸 雄摩, 牛島 智大, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2022S ( 0 )   680 - 681   2022年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している.今回,支持部底面角度が異なる3種類のテーブルに対して浮上変位が最大になるように加振面と被加振面の平行度調整をした上で長ストローク微動試験を行った.加振振幅を階段状に変化させてステップ応答を観察した.また微動変位を膜厚変化から幾何学的に推定することを試み,実際の微動変位と比較評価をした.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2022s.0_680

    CiNii Research

  • Feasibility study of multi-point two-dimensional profile measurement by 3-2-1 and 3×3 sensor layout 査読有り 国際誌

    Fujiwara R., Shimizu H.

    Measurement: Sensors   18   2021年12月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    New multi-point methods, the six-point method of 3-2-1 sensor layout and the nine-point method of 3 × 3 sensor layout, have been proposed as the two-dimensional profilometry for a machined flat surface. Monte Carlo simulations were carried out and properties of proposed methods were examined. As a result, it was shown that the six-point method, the minimum configuration that calculates the planar shape with only six displacement sensors, can obtain the equivalent result to that of the simple nine-point method. In the nine-point method with averaging, it was confirmed that the maximum and average values of the standard deviation of the reconstructed profile were reduced to 68% and 81%, respectively compared with simple nine-point method. The improved nine-point method that averages the pitching error to improve the data connection accuracy also proposed and this method reduced standard deviation, but effectiveness is limited.

    DOI: 10.1016/j.measen.2021.100358

    Kyutacar

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  • A MEMS device for straightness measurement integrating 10 cantilever displacement sensors 査読有り 国際誌

    Shimizu H., Tamiya K., Mizukami S., Tamaru Y.

    10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021   409 - 411   2021年11月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    JAPAN   Kitakyushu, Fukuoka   2021年11月14日  -  2021年11月18日

    A new device for straightness measurement which integrate 10 cantilever displacement sensors has been proposed. This device was designed to measure the waviness smaller than 100 µm in height. Ten cantilevers of 11mm length were fabricated in parallel with 1.8mm pitch in a side of the base substrate of 20 mm square. The strain, induced by a displacement of the probe placed near the front edge of the cantilever, is detected as a change in the resistance of the piezo resistor at the root of the cantilever. A prototype was investigated and it was found that the resistance value increases in proportion to the displacement of the probe. Hence, it was confirmed that this device has the basic ability of displacement detection.

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  • Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces 査読有り 国際誌

    Tamaru Y., Kawata K., Shimizu H.

    10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021   640 - 645   2021年11月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    JAPAN   Kitakyushu, Fukuoka   2021年11月14日  -  2021年11月18日

    A prototype of a biaxial positioning table with flexible support and magnetic attraction force control was developed. Because rigidity is assured and sliding friction is eliminated, the kinematic accuracy is high, and high-precision positioning is achieved. The total displacement in the long-stroke feed was 340 µm and 160 µm (X-axis and Y-axis), and the step displacement in the high-resolution feed was 85 nm and 40 nm, respectively. Experiments were conducted with cooperative positioning, in which both long-stroke and high-resolution displacements were output continuously. As a result, the displacements were almost the same as those obtained when each output was obtained independently. It was confirmed that cooperative positioning is effective.

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  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第4報)

    田丸 雄摩, 牛島 智大, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021A ( 0 )   154 - 155   2021年09月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している.テーブルは加振に励起されて揺動し,支持や微動性能に影響する.今回,支持部傾斜角度が異なる3種類のテーブルを製作し,さらに加工精度が各々異なるため加振面,被加振面の平行度を個別に調整した.したがって傾斜角度や平行度に依る揺動特性が表れる.水平,鉛直方向の振動振幅計測および周波数解析をもとに揺動を評価したので報告する.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021a.0_154

    CiNii Research

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第9報)

    田宮 弘一, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021S ( 0 )   629 - 630   2021年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>真直形状測定のための10点同時計測MEMSデバイスをシリコンバルクマイクロマシニング技術により製作した.前報より製作条件を変更することでプロセスの改善を図った.試作デバイスを評価するために各カンチレバー根元のピエゾ抵抗体を1辺とするブリッジ回路を組み,カンチレバー先端に変位を加えて出力電圧の変化を測定した.その結果,変位量に比例して出力電圧が減少し,デバイスが変位検出能を有していることを確認した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021s.0_629

    CiNii Article

    CiNii Research

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第3報)

    田丸 雄摩, 東福 修太朗, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2021S ( 0 )   471 - 472   2021年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している.効率よくスクイーズ効果を得るためには加振面,被加振面相互の平行度が鍵となる.従来の機構は平行度を加工精度に頼っており,組立の段階でずれが生じる可能性もある.そこで今回は加振機構にゴニオステージを設定し,加振面角度の調整を可能にした.これにより平行度の確保が容易になり支持性能向上を見込める.浮上性能を従来機構と比較評価したので報告する.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2021s.0_471

    CiNii Article

    CiNii Research

  • 磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発(第3報)

    田丸 雄摩, 河田 謙介, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2020S ( 0 )   270 - 271   2020年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

    <p>永久磁石と電磁石を対にして磁気吸引力で駆動する微動テーブルを提案している.前報では2軸駆動の装置を開発し,X,Y各軸で長ストローク,高分解能微動連係での性能を発表した.今回,X,Y軸を交互に微動させるジグザグ送りでの位置決め試験を行った.微動に関わる永久磁石と電磁石間のみに吸引力を作用させる場合とすべてに吸引力を作用させる場合において微動ストロークや軸間干渉を比較評価したので報告する.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2020s.0_270

    CiNii Article

    CiNii Research

  • High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials 査読有り 国際誌

    K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu

    Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology ( Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology )   C13   2019年11月

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    担当区分:最終著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Japan   Matsue   2019年11月12日  -  2019年11月15日

  • Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors 査読有り

    Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru

    Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   D08   Paper ID:125   2019年09月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Japan   Niigata   2019年09月01日  -  2019年09月04日

  • 磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発(第2報)

    田丸 雄摩, 河田 謙介, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2019A ( 0 )   351 - 352   2019年08月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>摺動摩擦を排除して高精度位置決めを達成するために永久磁石と電磁石を対にした磁気吸引力を利用する微動テーブルを提案している.前報では1軸の装置開発と性能について発表した.今回,1軸装置と同様に吸引力の較正や可撓機構の剛性見積を行って印加電流と変位の関係を予測し,新たに2軸駆動の装置を開発した.X,Y各軸の長ストロークと高分解能および2対の吸引力調整による両者連係での微動性能について報告する.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019a.0_351

    CiNii Article

    CiNii Research

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第8報)

    水上 翔一朗, 真鍋 真, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2019S ( 0 )   473 - 474   2019年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>機械加工平面の真直形状計測を目的とした走査型変位センサデバイスの設計を行った。MEMS製造技術を用いることで10本のカンチレバー型変位計が一体となったセンサデバイスとなっている。高精度な真直形状計測を行うために10か所の変位をセンサで同時に測定し、短いピッチ間隔での横分解能の高い測定データと、長いピッチ間隔での測定データを組み合わせ計算処理することで、誤差累積の影響の低減を図った。</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019s.0_473

    CiNii Article

    CiNii Research

  • 逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定

    宮田 佑, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2019S ( 0 )   475 - 476   2019年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>本報では,金型など比較的広範囲で鏡面に近い平面を対象とした,角度補正付逐次二点法を用いる真直度測定をオンマシンで行う手法を提案する.この実証のため,二点法用の2本の変位センサと2つのオートコリメーション式角度センサを組み合わせた測定ユニットを開発し,計測を行った.2つの角度センサにより走査中の姿勢変化をユニット単体で測定でき,外部モニタリングが不要となるので,オンマシン測定が容易となる.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019s.0_475

    CiNii Article

    CiNii Research

  • 磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発

    田丸 雄摩, 宅野 元気, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2019S ( 0 )   728 - 729   2019年03月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>高精度位置決めを目的として摺動摩擦を排除した微動テーブルを提案している.本研究では永久磁石と電磁石を対向させて相互の吸引力を駆動源とする可撓支持微動テーブルを構想した.今回は1軸の装置を設計し,吸引力の校正や可撓機構の剛性見積を行い,印加電流と変位の関係を推定した.そして推定に基づいて装置を製作し,長ストロークと高分解能および,両者を連係させた場合の微動性能を評価した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2019s.0_728

    CiNii Article

    CiNii Research

  • SOIウエハによる平面測定用5点法MEMS変位計デバイスの高精度化

    杉田 賢哉, 松本 哲也, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    日本機械学会九州支部講演論文集 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   2019.72 ( 0 )   A44   2019年01月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>In the 5-point method, the straight profile measurement of one line is performed using the sequential three point method, and the relation between the lines is simultaneously measured by two sensors arranged on the next scan line. Using this relation, straightness measurement results of each line, which is acquired by the three-point method, are connected to obtain a planar shape. In order to realize the on-machine measurement by this principle, the authors have prototyped a 5-point MEMS displacement sensor device for measuring a planar shape with five cantilever displacement sensors in a 20 mm square silicon wafer. Each displacement sensor has a probe of a quadrilateral frustum with a height of 250 μm at the tip of the cantilever and detects the strain generated at the root portion as a resistance value change of the piezo resistor according to the displacement. With bulk silicon wafers, when fabricating a probe by etching, they were difficult to control the thickness of the cantilever after etching and the height of the probe according to the target values. Therefore, the authors adopted the Silicon-on-insulator (SOI) wafer to improve dimensional accuracy by using etching stopped at the SiO2 layer. With the fabrication process adopting the SOI wafer, variations in height of the probe are reduced compared with conventional fabrication process using bulk silicon wafer and the size of the tip of the probe can be controlled independently. Therefore, efficiency of fabrication process using the SOI wafer is confirmed.</p>

    DOI: 10.1299/jsmekyushu.2019.72.a44

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekyushu/2019.72/0/2019.72_A44/_pdf

  • 正方配置逐次4点法のゼロ点誤差補正法への角度センサ導入による精度改善

    笹原 隆太郎, 清水 浩貴, 田丸 雄摩

    日本機械学会九州支部講演論文集 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   2019.72 ( 0 )   A43   2019年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>Square layout four-point method with angle correction has been proposed as an on-machine profile measurement method of machined flat surfaces. In this method, it is possible to measure the planar shape without the influence of translational error, pitching, and rolling of a stage. However, a zero-adjustment error, which is a deviation of the origin height of the four displacement sensors, causes a large form error of twist shape when the planar shape is reconstructed. To solve this problem, a back calculation method of the zero-adjustment error was proposed: which calculate zero-adjustment error from the difference in the error cumulative amount of two different calculation paths for a square measurement region, the raster scanning path and the diagonal path. To improve the calculation accuracy of zero-adjustment error, the authors have proposed to apply two-point method with angle correction to the diagonal direction by measuring the posture change of the stage unit with the angle sensor newly added in the diagonal direction. Monte Carlo simulations of the square layout four-point method and back calculation of zero-adjustment error were carried out. As a result, it was confirmed that the proposed method is effective to improve correction accuracy of the zero-adjustment error.</p>

    DOI: 10.1299/jsmekyushu.2019.72.a43

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekyushu/2019.72/0/2019.72_A43/_pdf

  • Square layout four-point method for two-dimensional profile measurement and self-calibration method of zero-adjustment error 査読有り 国際誌

    Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T., Tamaru Y.

    International Journal of Automation Technology   12 ( 5 )   707 - 713   2018年09月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    © 2018, Fuji Technology Press. All rights reserved. An on-machine measurement method, called the square-layout four-point (SLFP) method with angle compensation, for evaluating two-dimensional (2-D) profiles of flat machined surfaces is proposed. In this method, four displacement sensors are arranged in a square and mounted to the scanning table of a 2-D stage. For measuring the 2-D profile of a target plane, height data corresponding to all measuring points are acquired by means of the raster scanning motion. At the same time, pitching data of the first primary scan line and rolling data of the first subsidiary scan line are monitored by means of two auto-collimators to compensate for major profile errors that arise out of the posture error. Use of the SLFP method facilitates connection of the results of straightness-measurements results obtained for each scanning line by using two additional sensors and rolling data of the first subsidiary scan line. Specifically, the height of a measuring point is calculated by means of a recurrence equation using three predetermined height data for adjacent points in conjunction with data acquired by the four displacement sensors. Results of the numerical simulation performed in this study demonstrate higher efficiency of the SLFP method with angle compensation. During actual measurement, however, it is difficult to perfectly align inline the origin height of each displacement sensor. With regard to the SLFP method, zero-adjustment error is defined as the relative height of a sensor’s origin with respect to the plane comprising origins of the other three sensors. This error accumulates in proportion to number of times the recurrence equation is applied. Simulation results containing the zero-adjustment error demonstrate that accumulation of the said error results in unignorable distortion of measurement results. Therefore, a new self-calibration method for the zero-adjustment error has been proposed. During 2-D profile measurement, two different calculation paths – the raster scan path and orthogonal path – can be used to determine the height of a measurement point. Although heights determined through use of the two paths must ideally be equal, they are observed to be different because accumulated zero-adjustment errors for the two paths are different. In view of this result, the zero-adjustment error can be calculated backwards and calibrated. Validity of the calibration method has been confirmed via simulations and experiments.

    DOI: 10.20965/ijat.2018.p0707

    Scopus

    CiNii Article

    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85055258719&origin=inward

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第2報)

    田丸 雄摩, 曲淵 公紀, 松本 哲也, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2018A ( 0 )   494 - 495   2018年08月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    <p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している.ところでスクイーズ効果では加振に励起してテーブルが振動し,微動に揺動が伴うことを確認している.この原因としてテーブル両側を同位相で支持する浮上静圧力に脈動が生じるが,脈動の振幅が不一致であるためと考える.そこで180°位相差で加振させ,テーブル中央部が振動の節となることを利用した制振を試みた.あわせてテーブル微動についても評価した.</p>

    DOI: 10.11522/pscjspe.2018a.0_494

    CiNii Article

    CiNii Research

  • A novel compensation method of zero-adjustment error in flatness measurement using serial four-point method 査読有り 国際誌

    Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T.

    Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   2017.9 ( 0 )   163   2017年11月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    The authors proposed a novel on-machine measurement method for evaluating three-dimensional profiles of machined flat surface: square layout four point (SLFP) method with angle compensation. The SLFP method enables to connect the results of straightness measurements of each scanning line by using additional two sensors and an angle sensor. Numerical simulation showed that the accumulation of zero adjustment error of displacement sensors makes unignorable distortion on the measurement results. Hence, a new calibration method for zero adjustment error was proposed and the validity of the method was confirmed by an experiment.

    DOI: 10.1299/jsmelem.2017.9.163

    Scopus

    CiNii Article

    CiNii Research

    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85041341905&origin=inward

  • 浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ効果支持リニアスライダ 査読有り

    田丸 雄摩, 清水 浩貴

    日本機械学会論文集   83 ( 854 )   17 - 00278-17-00278   2017年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    Non-contact supports involving air or magnetic forces are used as guide supports for linear motion mechanisms. In the present study, non-contact supports are generated using the effect of the static pressure force produced by a squeezed air film. The linear slider is supported at just two of its ends. Applying a different excitation amplitude to the two transducers leads to a difference in the floating height at either end of the slider due to the different air-film thicknesses. This causes the slider to tilt, which produces a propulsion force due to the dead load. An experimental apparatus with a flat plate slider was developed and its floating characteristics were examined. In addition, the propulsion force was measured for sliders with different weights. The results indicated that the floating height was 2 to 3 times the excitation amplitude. The slider was capable of travelling all over the movement stroke. The traveling force increased with increasing slider weight, and was about 0.15-0.35 mN. The measurement results were in good agreement with theoretical calculations. Thus, the present study showed that the slider could be successfully supported in a non-contact state and was capable of movement under the influence of a propulsion force generated only by the dead load.

    DOI: 10.1299/transjsme.17-00278

    CiNii Article

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/130006181353

  • 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定(第4報)

    橋口 拓也, 清水 浩貴, 田丸 雄摩

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2017S ( 0 )   297 - 298   2017年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    本研究は,広範囲の平面形状測定法として逐次多点法に基づく走査型測定法を提案するものである.本報では,4本の変位センサを正方配置し,2軸の角度補正を併用する測定法について検討した.まず,センサのノイズレベルと測定結果の不確かさの関係をモンテカルロシミュレーションにより確認した.次に単一のセンサに感度差を与え,それに起因する誤差が累積することで測定結果に与える影響を確認した.

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017s.0_297

    CiNii Article

    CiNii Research

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

    田丸 雄摩, 松本 哲也, 清水 浩貴

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2017A ( 0 )   727 - 728   2017年01月

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    担当区分:最終著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある.本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ,浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した.加振振幅を与えることで浮上力が得られ,振幅調整によって微動が生じる.試験の結果,テーブルが非接触で支持されていることを確認した.また,振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し,全ストローク変位と最小変位を観察できた.

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017a.0_727

    CiNii Article

    CiNii Research

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第7報)

    本永 聡一朗, 是永 遼介, 清水 浩貴, 田丸 雄摩

    精密工学会学術講演会講演論文集 ( 公益社団法人 精密工学会 )   2017S ( 0 )   291 - 292   2017年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(その他学術会議資料等)

    本研究は,等間隔に並べたカンチレバー式高分解能変位センサ3つと,次走査線上に配置したセンサ2つを一体化した多点法平面測定用MEMSデバイスを開発するものである.本デバイスは感度向上のため,応力検出部が存在するカンチレバー根元部に応力集中が効率的に生じるよう,矩形梁の採用と穴形状の付加を行った.本報では改良の定量評価のため行ったFEM解析の結果と,それを元に作製したデバイスについて報告する.

    DOI: 10.11522/pscjspe.2017s.0_291

    CiNii Article

    CiNii Research

  • Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation 査読有り

    Shimizu H., Komatsu S., Tamaru Y.

    Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2015   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    A new structural design of a micro electro mechanical system (MEMS) device for straightness measurement with the three point method has been studied. This device integrates three cantilever displacement sensors with a 5mm pitch on a silicon chip. To improve sensitivity and channel separation, some structural designs to make stress concentration part and to reduce interference between each displacement sensor were investigated using a finite element method code. Based on the calculation results, an integrated model was designed; in this model, each cantilever has a cutting off part and a groove near the base and notches were added to the support base. It was confirmed that integrated model has the feasibility to improve both sensitivity and channel separation.

    Scopus

    その他リンク: https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84974604593&origin=inward

  • Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe 査読有り

    Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

    International Journal of Automation Technology   9 ( 5 )   551 - 557   2015年09月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.20965/ijat.2015.p0551

    Scopus

  • Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors 査読有り

    Hiroki Shimizu, Takahiro Akiyoshi, Shinya Yanagihara, Yuuma Tamaru, Akiyoshi Baba

    Proceedings of 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   1 - 5   Paper ID 1196   2015年09月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Taiwan   Taipei   2015年09月22日  -  2015年09月25日

  • Displacment Detection of Small Sphere using Eccentric Astigmatic Method 査読有り

    Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

    Proceedings of 11th IMEKO Symposium LMPMI2014 (Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry)   1 - 4   index: B18   2014年09月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Japan   Tsukuba   2014年09月02日  -  2014年09月05日

  • ボールねじ式送りテーブルの位置・角度補正 査読有り

    田丸雄摩, 清水 浩貴, 加茂田浩史

    日本機械学会論文集   80 ( 816 )   1 - 11   DR0240   2014年08月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.1299/transjsme.2014dr0240

    CiNii Article

  • Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators 査読有り

    Hiroki Shimizu, Keitaro Tanaka, Yuuma Tamaru

    Key Engineering Materials   613   200 - 203   2014年05月

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    担当区分:責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

  • 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,<特集>機械工学年鑑)

    清水 浩貴

    日本機械学会誌 ( 一般社団法人 日本機械学会 )   116 ( 1137 )   571 - 572   2013年01月

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    記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(学術雑誌)

    DOI: 10.1299/jsmemag.116.1137_571

    CiNii Article

    その他リンク: https://ci.nii.ac.jp/naid/110009635464

  • 長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動 査読有り

    田丸雄摩,高藤和樹,清水浩貴

    日本機械学会論文集(C編)   74 ( 745 )   2294 - 2299   2008年09月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    主要雑誌

  • Theoretical Study on Self-calibration for the Wide-rangeLaser Auto-collimation Method 査読有り

    H.Shimizu,O.Hayashi

    Key Engineering Materials   381-382   271 - 274   2008年06月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    Kyutacar

  • 高感度2軸マイクロ角度センサの開発 査読有り

    高偉,齋藤悠佑,佐藤隼人,清野慧,清水浩貴,広瀬純

    精密工学会誌   72 ( 9 )   1174 - 1178   2006年09月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    主要雑誌

  • Three-Dimensional Slit Width Measurement for Long Precision Slot Dies 査読有り

    M. Furukawa,W. Gao,H. Shimizu,S. Kiyono,M. Yasutake,K. Takahashi

    Key Engineering Materials   295-296   343 - 348   2005年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

  • A Biological Sensor for Detecting Foreign Bodies Using a Balloon Probe 査読有り

    H. Shimizu,S. Kiyono,W. Gao,H. Shoji

    Key Engineering Materials   295-296   133 - 138   2005年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

  • An electrical pen for signature verification using a two-dimensional optical angle sensor 査読有り

    Hiroki Shimizu,Satoshi Kiyono,Takenori Motoki,Wei Gao

    Sensors and Actuators, A   111   216 - 221   2004年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

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口頭発表・ポスター発表等

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第9報)-10点同時計測MEMSデバイスの試作と評価-

    田宮弘一,田丸雄摩,清水浩貴

    2021年度精密工学会春季大会学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2021年03月16日 - 2021年03月22日   記述言語:日本語  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第8報)—10点同時測定による誤差累積の影響低減—

    水上 翔一朗, 真鍋 真, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    2019年度精密工学会春季大会学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2019年03月13日 - 2019年03月15日   記述言語:日本語   開催地:慶應義塾大学 矢上キャンパス  

  • 逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定

    宮田 佑, 田丸 雄摩, 清水 浩貴

    2019年度精密工学会春季大会学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2019年03月13日 - 2019年03月15日   記述言語:日本語   開催地:慶應義塾大学 矢上キャンパス  

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

    田丸 雄摩

    精密工学会学術講演会講演論文集  精密工学会

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    開催期間: 2017年03月13日 - 2017年03月15日   記述言語:日本語   開催地:慶應義塾大学  

    微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある.本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ,浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した.加振振幅を与えることで浮上力が得られ,振幅調整によって微動が生じる.試験の結果,テーブルが非接触で支持されていることを確認した.また,振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し,全ストローク変位と最小変位を観察できた.

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  • 真直形状測定用 3 点法マルチカンチレバー変位計の高感度化モデルの検討

    荒牧 健太郎

    日本機械学会2016年度年次大会  日本機械学会

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    開催期間: 2016年09月11日 - 2016年09月14日   記述言語:日本語   開催地:九州大学伊都キャンパス  

    <p>In this study, we developed a multi cantilever device for straightness measurement using the three point method. This device has three triangular cantilever works as displacement sensors. When the displacement is given at the probe placed at the end of the cantilever, stress arises in the cantilever. Displacement is measured by detecting the stress change using two piezo resistances at the root of the cantilever. This paper presents the results of sensitivity evaluation of improved device models. To improve the sensitivity, we considered the shape to make stress concentration in the strain detecting section of the device, and examined the effects by the finite element method. As a result, it was confirmed that transverse notches on both sides at the root of the cantilever and a rectangular hole between the piezo resisances are effective for sensitivity improvement and crosstalk reduction. Furthermore, we also simulate models of changing thickness of each part and models of changing position of piezo resistance.</p>

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  • 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定(第2報)一長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討一

    夘田将太

    2015 年度精密工学会春季大会  精密工学会

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    開催期間: 2015年03月17日 - 2015年03月19日   記述言語:日本語   開催地:東洋大学 白山キャンパス  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第6報)一平面測定用デバイスの製作一

    菊地洋輝

    2015 年度精密工学会春季大会  精密工学会

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    開催期間: 2015年03月17日 - 2015年03月19日   記述言語:日本語   開催地:東洋大学 白山キャンパス  

  • MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発(第5報)—平面測定用デバイスの設計と構造解析—

    菊地洋輝

    2014 年度精密工学会秋季大会  精密工学会

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    開催期間: 2014年09月16日 - 2014年09月18日   記述言語:日本語   開催地:鳥取大学 鳥取キャンパス  

  • スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振 (完全非接触支持による制振特性検証の精度向上)

    松本勇毅

    2014 年度精密工学会春季大会  精密工学会

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    開催期間: 2014年03月18日 - 2014年03月20日   記述言語:日本語   開催地:東京大学 本郷キャンパス  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第4報)—表面荒れを抑えた探針製作法—

    殘華智仁

    2014 年度精密工学会春季大会  精密工学会

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    開催期間: 2014年03月18日 - 2014年03月20日   記述言語:日本語   開催地:東京大学 本郷キャンパス  

  • 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定(第1報)—測定原理の検討と基礎的検証—

    藤田豊栄

    2014 年度精密工学会春季大会  精密工学会

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    開催期間: 2014年03月18日 - 2014年03月20日   記述言語:日本語   開催地:東京大学 本郷キャンパス  

  • 3 点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置

    松本恵太

    日本機械学会 九州支部 第67期総会・講演会  日本機械学会九州支部

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    開催期間: 2014年03月13日 - 2014年03月14日   記述言語:日本語   開催地:九州工業大学工学部  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第3報)—ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合—

    水頭正一郎

    2012 年度精密工学会秋季大会  精密工学会

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    開催期間: 2012年09月14日 - 2012年09月16日   記述言語:日本語   開催地:九州工業大学 戸畑キャンパス  

  • スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振

    松本勇毅

    2012 年度精密工学会秋季大会  精密工学会

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    開催期間: 2012年09月14日 - 2012年09月16日   記述言語:日本語   開催地:九州工業大学 戸畑キャンパス  

  • 拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発(第2報-曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ-

    機械知能工学科

    2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

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    開催期間: 2010年03月16日 - 2010年03月18日   記述言語:日本語   開催地: 埼玉県さいたま市  

  • 可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化(第2報)-押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発-

    機械知能工学専攻

    2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

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    開催期間: 2010年03月16日 - 2010年03月18日   記述言語:日本語   開催地: 埼玉県さいたま市  

  • 非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ

    機械知能工学専攻,佐々木啓成

    日本機械学会九州支部講演論文集 

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    開催期間: 2008年03月18日   記述言語:日本語   開催地: 福岡  

  • 可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化(第1報)-特性補正の基礎実験-

    機械知能工学専攻,諸冨啓

    2008年度精密工学会春季大会学術講演会 

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    開催期間: 2008年03月17日 - 2008年03月19日   記述言語:日本語   開催地: 東京  

  • 姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ-第1報 構想と装置の試作-

    機械知能工学専攻,鎌田紘介

    2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

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    開催期間: 2008年03月11日 - 2008年03月13日   記述言語:日本語   開催地: 東京  

  • 拡張レーザーオートコリメーション法による形状測定装置の開発―自律校正法の検討―

    機械知能工学専攻

    精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2007年03月20日 - 2007年03月22日   記述言語:日本語  

  • An Extended Auto-Collimation Method Combined with a Deflect Optical System for Non-Contact Profile Measurement

    本人

    Proc. of 5th International euspen Conference 

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    開催期間: 2005年05月08日 - 2005年05月11日   記述言語:英語   開催地: France Montpellier  

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学術関係受賞

  • 工作機械技術振興財団 奨励賞

    工作機械技術振興財団   2014年06月23日

    崎田浩輔, 清水浩貴, 田丸雄摩

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    受賞国:日本国

科研費獲得実績

  • 機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発

    研究課題番号:25420057  2013年04月 - 2016年03月   基盤研究(C)

  • 運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証

    研究課題番号:22760099  2010年04月 - 2013年03月   若手研究(B)

その他競争的資金獲得実績

  • 高品位機械加工面創成のための加工計測用MEMSデバイスの開発

    2016年04月 - 2017年03月

    平成28年度新成長戦略推進研究開発事業(シーズ創出・実用性検証事業)  

担当授業科目(学内)

  • 2023年度   計測工学特論

  • 2023年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2023年度   設計製図Ⅱ

  • 2023年度   機械計測

  • 2023年度   機械知能工学基礎実習

  • 2023年度   設計製図Ⅱ

  • 2023年度   設計製図Ⅱ

  • 2023年度   機械工学実践Ⅱ

  • 2023年度   機械工学実践Ⅰ

  • 2023年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2023年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2022年度   計測工学特論

  • 2022年度   機械計測

  • 2021年度   計測工学特論

  • 2021年度   機械計測

  • 2021年度   機械工学実験Ⅰ

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    科目区分:学部専門科目

  • 2021年度   設計製図Ⅱ

  • 2021年度   機械知能工学入門

  • 2020年度   計測工学特論

  • 2020年度   機械計測

  • 2020年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2020年度   設計製図Ⅱ

  • 2020年度   機械知能工学入門

  • 2019年度   機械知能工学入門

  • 2019年度   計測工学特論

  • 2019年度   機械系学生のための英文理解と表現Ⅱ

  • 2019年度   機械工作法Ⅰ

  • 2019年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2018年度   機械知能工学概論

  • 2018年度   機械知能工学入門

  • 2018年度   機械工作法Ⅰ

  • 2018年度   計測工学特論

  • 2017年度   計測工学特論

  • 2017年度   機械工作法Ⅰ

  • 2017年度   設計製図Ⅱ

  • 2017年度   機械知能工学基礎実習

  • 2017年度   半導体トピックセミナー

  • 2016年度   計測工学特論

  • 2016年度   機械工作法Ⅰ

  • 2016年度   設計製図Ⅱ

  • 2016年度   機械知能工学基礎実習

  • 2016年度   半導体トピックセミナー

  • 2015年度   学外見学実習

  • 2015年度   機械知能工学基礎実習

  • 2015年度   計測工学特論

  • 2015年度   機械工作法Ⅰ

  • 2015年度   設計製図Ⅱ

  • 2015年度   工学倫理・安全工学A

  • 2015年度   半導体トピックセミナー

  • 2014年度   機械工作法Ⅰ

  • 2014年度   計測工学特論

  • 2014年度   設計製図Ⅱ

  • 2014年度   機械知能工学基礎実習

  • 2014年度   工学倫理・安全工学A

  • 2014年度   半導体トピックセミナー

  • 2013年度   計測工学特論

  • 2013年度   機械工作法Ⅰ

  • 2013年度   設計製図Ⅱ

  • 2013年度   機械知能工学基礎実習

  • 2013年度   工学倫理・安全工学

  • 2013年度   半導体トピックセミナー

  • 2012年度   計測工学特論

  • 2012年度   機械工作法Ⅰ

  • 2012年度   設計製図Ⅱ

  • 2012年度   半導体トピックセミナー

  • 2012年度   機械知能工学基礎実習

  • 2012年度   サイエンス工房

  • 2011年度   計測工学特論

  • 2011年度   機械工作法Ⅰ

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社会貢献活動(講演会・出前講義等)

  • 教員免許状更新講習会

    役割:講師

    2018年08月28日

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    対象: 教育関係者

    種別:資格認定講習

    教員免許状更新講習会 選択領域「放射線の測り方/福島と原発の今」を開催した

  • 教員免許状更新講習会

    役割:講師

    2017年08月25日

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    対象: 教育関係者

    種別:資格認定講習

    教員免許状更新講習会 選択領域「放射線の測り方/福島と原発の今」を開催した

国際会議開催(学会主催除く)

  • The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)

    The Japan Society of Mechanical Engineers (JSME) Manufacturing and Machine Tool Division Manufacturing Systems Division  Kitakyushu, Fukuoka  2021年11月14日 - 2021年11月18日

その他国際交流活動

  • モンゴルツイニングプログラム 夏季集中講義

    活動期間: 2019年08月

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    モンゴル工学系高等教育支援事業(モンゴル科学技術大学とのツイニング・プログラム)での受け入れ前教育として機械工学に関する5日間の夏季集中講義を行った