記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

A modified two-axis surface encoder is proposed to separately measure both the in-plane displacement and the Z-directional out-of-plane displacement with minor crosstalk errors. The surface encoder is composed of a scale grating and a small-sized sensor head. In the modified surface encoder, the measurement laser beam from the sensor head is designed to be projected onto the scale grating at a right angle. For measurement of the X- and Y-directional in-plane scale displacement, the positive and negative first-order diffracted beams from the scale grating are superimposed on each other in the sensor head, producing interference signals. On the other hand, the Z-directional out-of-plane scale displacement is measured based on the principle of a Michelson-type interferometer. To avoid the influence of reflection from the middle area of the transparent grating, which causes periodic crosstalk errors in the previous research, a specially fabricated transparent grating with a hole in the middle is employed in the newly designed optical system. A prototype sensor head is constructed, and basic performances of the modified surface encoder are tested by experiments.

DOI： 10.3390/s22239563

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その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85143821669&origin=inward

担当区分：筆頭著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

<p>Multi-point scanning measurement, which is effective in eliminating motion errors of the stage in on-machine profile measurement, requires multiple displacement sensors of equal pitch to measure displacements simultaneously. However, it is not easy to arrange small sensors with high alignment accuracy when applying the multi-point method at a narrow pitch. In addition, if many sensors can be arranged in parallel, improvement in measurement accuracy can be expected. Therefore, a new micro electro mechanical system (MEMS) device for straightness measurement, one that integrates 10 cantilever displacement sensors, has been proposed. This device can be expected to solve the problem involved in the multi-point method because of the characteristics of MEMS, as the semiconductor processing method can make mechanical structures with high accuracy and it can easily make the device with many identical structures. The device is designed to measure waviness less than 100 μm in height. Ten cantilevers of 11 mm length are fabricated in parallel with 1.8 mm pitch on a side of a base substrate 20 mm square. The strain induced by a displacement of the probe placed near the front edge of the cantilever is detected as a change in the resistance of the piezo resistor at the foot of the cantilever. In the fabrication process of this device, crystal anisotropic etching is performed for 12 hours to form probes 250 μm high. A new fabrication process is also proposed in which a protective process is added to prevent damage to the circuits already formed during the etching. A prototype is investigated, and it is found that the resistance value increases about 0.45% in proportion to the displacement of 100 μm. It is therefore confirmed that this device has the basic ability to detect displacement.</p>

DOI： 10.20965/ijat.2022.p0582

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CiNii Research

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85137591308&origin=inward

担当区分：最終著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

<p>High-precision positioning can be obtained by reducing sliding friction and securing support rigidity. A prototype of a biaxial positioning table with non-contact drive by magnetic force and flexible mechanism support was developed to meet these requirements. The magnetic poles of a permanent magnet and an electromagnet were placed opposite to each other with an appropriate gap between them, and the attraction force between the two poles was used as the actuator for fine feed. The table was supported with a flexible mechanism composed of metal (A2017) beams with notches and elastic hinges assembled into a square frame shape. The permanent magnets were commercial neodymium magnets, and the electromagnets were self-made of S45C core bars. Two types of attraction force, maximum and minimum, were set depending on the number of neodymium magnets and the magnetic pole gap. The relationship between the applied current and attraction force for each type was calibrated using an electronic balance. Upon increasing and decreasing the applied current to the electromagnets, a linear relationship was shown between them. The relationship between the attraction force and the <i>X</i>- and <i>Y</i>-axes displacements was simulated by finite element analysis. Based on both results, the relationship between the applied current and displacement was estimated. The fine-feed experiment was conducted in both directions of the <i>X</i>- and <i>Y</i>-axes by applying current to electromagnets in a stepwise sequence. The displacements of total strokes in the long-stroke feed on applying the maximum attraction force were 340 μm and 315 μm for the <i>X</i>-axis and 160 μm and 133 μm for the <i>Y</i>-axis. These values are 2.0–2.8 times larger than the estimated displacement. Additionally, 3%–12% of the other axes interference occurred between the <i>X</i>- and <i>Y</i>-axes. In the high resolution feed applying the minimum attraction force, the displacement per step was 75 nm and 78 nm for the <i>X</i>-axis and 35 nm and 39 nm for the <i>Y</i>-axis. Cooperative feed with a combination of long stroke and high resolution was verified to be feasible.</p>

DOI： 10.20965/ijat.2022.p0588

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>摺動摩擦のないスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している．加振面と被加振面の平行度調整が可能であることを特徴とする．前報では支持部底面角度が異なる3種類のテーブルに対して長ストローク微動特性を示した．今回，ステップ電圧を長ストロークの1/10に設定した小ステップ変位での応答を観察した．また，膜厚変化から幾何学的に推定した見積変位と実際の変位を比較評価した．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2022a.0_28

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している．今回，支持部底面角度が異なる3種類のテーブルに対して浮上変位が最大になるように加振面と被加振面の平行度調整をした上で長ストローク微動試験を行った．加振振幅を階段状に変化させてステップ応答を観察した．また微動変位を膜厚変化から幾何学的に推定することを試み，実際の微動変位と比較評価をした．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2022s.0_680

CiNii Research

担当区分：最終著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

New multi-point methods, the six-point method of 3-2-1 sensor layout and the nine-point method of 3 × 3 sensor layout, have been proposed as the two-dimensional profilometry for a machined flat surface. Monte Carlo simulations were carried out and properties of proposed methods were examined. As a result, it was shown that the six-point method, the minimum configuration that calculates the planar shape with only six displacement sensors, can obtain the equivalent result to that of the simple nine-point method. In the nine-point method with averaging, it was confirmed that the maximum and average values of the standard deviation of the reconstructed profile were reduced to 68% and 81%, respectively compared with simple nine-point method. The improved nine-point method that averages the pitching error to improve the data connection accuracy also proposed and this method reduced standard deviation, but effectiveness is limited.

DOI： 10.1016/j.measen.2021.100358

Kyutacar

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その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85119593693&origin=inward

担当区分：筆頭著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

JAPAN   Kitakyushu, Fukuoka   2021年11月14日  -  2021年11月18日

A new device for straightness measurement which integrate 10 cantilever displacement sensors has been proposed. This device was designed to measure the waviness smaller than 100 µm in height. Ten cantilevers of 11mm length were fabricated in parallel with 1.8mm pitch in a side of the base substrate of 20 mm square. The strain, induced by a displacement of the probe placed near the front edge of the cantilever, is detected as a change in the resistance of the piezo resistor at the root of the cantilever. A prototype was investigated and it was found that the resistance value increases in proportion to the displacement of the probe. Hence, it was confirmed that this device has the basic ability of displacement detection.

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その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85124805233&origin=inward

担当区分：最終著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

JAPAN   Kitakyushu, Fukuoka   2021年11月14日  -  2021年11月18日

A prototype of a biaxial positioning table with flexible support and magnetic attraction force control was developed. Because rigidity is assured and sliding friction is eliminated, the kinematic accuracy is high, and high-precision positioning is achieved. The total displacement in the long-stroke feed was 340 µm and 160 µm (X-axis and Y-axis), and the step displacement in the high-resolution feed was 85 nm and 40 nm, respectively. Experiments were conducted with cooperative positioning, in which both long-stroke and high-resolution displacements were output continuously. As a result, the displacements were almost the same as those obtained when each output was obtained independently. It was confirmed that cooperative positioning is effective.

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その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85124790610&origin=inward

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している．テーブルは加振に励起されて揺動し，支持や微動性能に影響する．今回，支持部傾斜角度が異なる3種類のテーブルを製作し，さらに加工精度が各々異なるため加振面，被加振面の平行度を個別に調整した．したがって傾斜角度や平行度に依る揺動特性が表れる．水平，鉛直方向の振動振幅計測および周波数解析をもとに揺動を評価したので報告する．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2021a.0_154

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>真直形状測定のための10点同時計測MEMSデバイスをシリコンバルクマイクロマシニング技術により製作した．前報より製作条件を変更することでプロセスの改善を図った．試作デバイスを評価するために各カンチレバー根元のピエゾ抵抗体を1辺とするブリッジ回路を組み，カンチレバー先端に変位を加えて出力電圧の変化を測定した．その結果，変位量に比例して出力電圧が減少し，デバイスが変位検出能を有していることを確認した．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2021s.0_629

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している．効率よくスクイーズ効果を得るためには加振面，被加振面相互の平行度が鍵となる．従来の機構は平行度を加工精度に頼っており，組立の段階でずれが生じる可能性もある．そこで今回は加振機構にゴニオステージを設定し，加振面角度の調整を可能にした．これにより平行度の確保が容易になり支持性能向上を見込める．浮上性能を従来機構と比較評価したので報告する．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2021s.0_471

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（研究会，シンポジウム資料等）

<p>永久磁石と電磁石を対にして磁気吸引力で駆動する微動テーブルを提案している．前報では2軸駆動の装置を開発し，X，Y各軸で長ストローク，高分解能微動連係での性能を発表した．今回，X，Y軸を交互に微動させるジグザグ送りでの位置決め試験を行った．微動に関わる永久磁石と電磁石間のみに吸引力を作用させる場合とすべてに吸引力を作用させる場合において微動ストロークや軸間干渉を比較評価したので報告する．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2020s.0_270

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Japan   Matsue   2019年11月12日  -  2019年11月15日

担当区分：筆頭著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Japan   Niigata   2019年09月01日  -  2019年09月04日

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>摺動摩擦を排除して高精度位置決めを達成するために永久磁石と電磁石を対にした磁気吸引力を利用する微動テーブルを提案している．前報では1軸の装置開発と性能について発表した．今回，1軸装置と同様に吸引力の較正や可撓機構の剛性見積を行って印加電流と変位の関係を予測し，新たに2軸駆動の装置を開発した．X，Y各軸の長ストロークと高分解能および2対の吸引力調整による両者連係での微動性能について報告する．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2019a.0_351

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>機械加工平面の真直形状計測を目的とした走査型変位センサデバイスの設計を行った。MEMS製造技術を用いることで10本のカンチレバー型変位計が一体となったセンサデバイスとなっている。高精度な真直形状計測を行うために10か所の変位をセンサで同時に測定し、短いピッチ間隔での横分解能の高い測定データと、長いピッチ間隔での測定データを組み合わせ計算処理することで、誤差累積の影響の低減を図った。</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2019s.0_473

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>本報では，金型など比較的広範囲で鏡面に近い平面を対象とした，角度補正付逐次二点法を用いる真直度測定をオンマシンで行う手法を提案する．この実証のため，二点法用の２本の変位センサと２つのオートコリメーション式角度センサを組み合わせた測定ユニットを開発し，計測を行った．２つの角度センサにより走査中の姿勢変化をユニット単体で測定でき，外部モニタリングが不要となるので，オンマシン測定が容易となる．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2019s.0_475

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>高精度位置決めを目的として摺動摩擦を排除した微動テーブルを提案している．本研究では永久磁石と電磁石を対向させて相互の吸引力を駆動源とする可撓支持微動テーブルを構想した．今回は1軸の装置を設計し，吸引力の校正や可撓機構の剛性見積を行い，印加電流と変位の関係を推定した．そして推定に基づいて装置を製作し，長ストロークと高分解能および，両者を連係させた場合の微動性能を評価した．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2019s.0_728

CiNii Article

CiNii Research

記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>Square layout four-point method with angle correction has been proposed as an on-machine profile measurement method of machined flat surfaces. In this method, it is possible to measure the planar shape without the influence of translational error, pitching, and rolling of a stage. However, a zero-adjustment error, which is a deviation of the origin height of the four displacement sensors, causes a large form error of twist shape when the planar shape is reconstructed. To solve this problem, a back calculation method of the zero-adjustment error was proposed: which calculate zero-adjustment error from the difference in the error cumulative amount of two different calculation paths for a square measurement region, the raster scanning path and the diagonal path. To improve the calculation accuracy of zero-adjustment error, the authors have proposed to apply two-point method with angle correction to the diagonal direction by measuring the posture change of the stage unit with the angle sensor newly added in the diagonal direction. Monte Carlo simulations of the square layout four-point method and back calculation of zero-adjustment error were carried out. As a result, it was confirmed that the proposed method is effective to improve correction accuracy of the zero-adjustment error.</p>

DOI： 10.1299/jsmekyushu.2019.72.a43

CiNii Article

CiNii Research

その他リンク： https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekyushu/2019.72/0/2019.72_A43/_pdf

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>In the 5-point method, the straight profile measurement of one line is performed using the sequential three point method, and the relation between the lines is simultaneously measured by two sensors arranged on the next scan line. Using this relation, straightness measurement results of each line, which is acquired by the three-point method, are connected to obtain a planar shape. In order to realize the on-machine measurement by this principle, the authors have prototyped a 5-point MEMS displacement sensor device for measuring a planar shape with five cantilever displacement sensors in a 20 mm square silicon wafer. Each displacement sensor has a probe of a quadrilateral frustum with a height of 250 μm at the tip of the cantilever and detects the strain generated at the root portion as a resistance value change of the piezo resistor according to the displacement. With bulk silicon wafers, when fabricating a probe by etching, they were difficult to control the thickness of the cantilever after etching and the height of the probe according to the target values. Therefore, the authors adopted the Silicon-on-insulator (SOI) wafer to improve dimensional accuracy by using etching stopped at the SiO2 layer. With the fabrication process adopting the SOI wafer, variations in height of the probe are reduced compared with conventional fabrication process using bulk silicon wafer and the size of the tip of the probe can be controlled independently. Therefore, efficiency of fabrication process using the SOI wafer is confirmed.</p>

DOI： 10.1299/jsmekyushu.2019.72.a44

CiNii Article

CiNii Research

その他リンク： https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekyushu/2019.72/0/2019.72_A44/_pdf

担当区分：筆頭著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

© 2018, Fuji Technology Press. All rights reserved. An on-machine measurement method, called the square-layout four-point (SLFP) method with angle compensation, for evaluating two-dimensional (2-D) profiles of flat machined surfaces is proposed. In this method, four displacement sensors are arranged in a square and mounted to the scanning table of a 2-D stage. For measuring the 2-D profile of a target plane, height data corresponding to all measuring points are acquired by means of the raster scanning motion. At the same time, pitching data of the first primary scan line and rolling data of the first subsidiary scan line are monitored by means of two auto-collimators to compensate for major profile errors that arise out of the posture error. Use of the SLFP method facilitates connection of the results of straightness-measurements results obtained for each scanning line by using two additional sensors and rolling data of the first subsidiary scan line. Specifically, the height of a measuring point is calculated by means of a recurrence equation using three predetermined height data for adjacent points in conjunction with data acquired by the four displacement sensors. Results of the numerical simulation performed in this study demonstrate higher efficiency of the SLFP method with angle compensation. During actual measurement, however, it is difficult to perfectly align inline the origin height of each displacement sensor. With regard to the SLFP method, zero-adjustment error is defined as the relative height of a sensor’s origin with respect to the plane comprising origins of the other three sensors. This error accumulates in proportion to number of times the recurrence equation is applied. Simulation results containing the zero-adjustment error demonstrate that accumulation of the said error results in unignorable distortion of measurement results. Therefore, a new self-calibration method for the zero-adjustment error has been proposed. During 2-D profile measurement, two different calculation paths – the raster scan path and orthogonal path – can be used to determine the height of a measurement point. Although heights determined through use of the two paths must ideally be equal, they are observed to be different because accumulated zero-adjustment errors for the two paths are different. In view of this result, the zero-adjustment error can be calculated backwards and calibrated. Validity of the calibration method has been confirmed via simulations and experiments.

DOI： 10.20965/ijat.2018.p0707

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CiNii Article

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85055258719&origin=inward

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

<p>摺動摩擦を排除したスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している．ところでスクイーズ効果では加振に励起してテーブルが振動し，微動に揺動が伴うことを確認している．この原因としてテーブル両側を同位相で支持する浮上静圧力に脈動が生じるが，脈動の振幅が不一致であるためと考える．そこで180°位相差で加振させ，テーブル中央部が振動の節となることを利用した制振を試みた．あわせてテーブル微動についても評価した．</p>

DOI： 10.11522/pscjspe.2018a.0_494

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：筆頭著者,　責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

The authors proposed a novel on-machine measurement method for evaluating three-dimensional profiles of machined flat surface: square layout four point (SLFP) method with angle compensation. The SLFP method enables to connect the results of straightness measurements of each scanning line by using additional two sensors and an angle sensor. Numerical simulation showed that the accumulation of zero adjustment error of displacement sensors makes unignorable distortion on the measurement results. Hence, a new calibration method for zero adjustment error was proposed and the validity of the method was confirmed by an experiment.

DOI： 10.1299/jsmelem.2017.9.163

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CiNii Article

CiNii Research

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85041341905&origin=inward

記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Non-contact supports involving air or magnetic forces are used as guide supports for linear motion mechanisms. In the present study, non-contact supports are generated using the effect of the static pressure force produced by a squeezed air film. The linear slider is supported at just two of its ends. Applying a different excitation amplitude to the two transducers leads to a difference in the floating height at either end of the slider due to the different air-film thicknesses. This causes the slider to tilt, which produces a propulsion force due to the dead load. An experimental apparatus with a flat plate slider was developed and its floating characteristics were examined. In addition, the propulsion force was measured for sliders with different weights. The results indicated that the floating height was 2 to 3 times the excitation amplitude. The slider was capable of travelling all over the movement stroke. The traveling force increased with increasing slider weight, and was about 0.15-0.35 mN. The measurement results were in good agreement with theoretical calculations. Thus, the present study showed that the slider could be successfully supported in a non-contact state and was capable of movement under the influence of a propulsion force generated only by the dead load.

DOI： 10.1299/transjsme.17-00278

CiNii Article

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/130006181353

記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

本研究は，広範囲の平面形状測定法として逐次多点法に基づく走査型測定法を提案するものである．本報では，4本の変位センサを正方配置し，2軸の角度補正を併用する測定法について検討した．まず，センサのノイズレベルと測定結果の不確かさの関係をモンテカルロシミュレーションにより確認した．次に単一のセンサに感度差を与え，それに起因する誤差が累積することで測定結果に与える影響を確認した．

DOI： 10.11522/pscjspe.2017s.0_297

CiNii Article

CiNii Research

担当区分：最終著者   記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある．本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ，浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した．加振振幅を与えることで浮上力が得られ，振幅調整によって微動が生じる．試験の結果，テーブルが非接触で支持されていることを確認した．また，振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し，全ストローク変位と最小変位を観察できた．

DOI： 10.11522/pscjspe.2017a.0_727

CiNii Article

CiNii Research

記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（その他学術会議資料等）

本研究は，等間隔に並べたカンチレバー式高分解能変位センサ3つと，次走査線上に配置したセンサ2つを一体化した多点法平面測定用MEMSデバイスを開発するものである．本デバイスは感度向上のため，応力検出部が存在するカンチレバー根元部に応力集中が効率的に生じるよう，矩形梁の採用と穴形状の付加を行った．本報では改良の定量評価のため行ったFEM解析の結果と，それを元に作製したデバイスについて報告する．

DOI： 10.11522/pscjspe.2017s.0_291

CiNii Article

CiNii Research

記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

A new structural design of a micro electro mechanical system (MEMS) device for straightness measurement with the three point method has been studied. This device integrates three cantilever displacement sensors with a 5mm pitch on a silicon chip. To improve sensitivity and channel separation, some structural designs to make stress concentration part and to reduce interference between each displacement sensor were investigated using a finite element method code. Based on the calculation results, an integrated model was designed; in this model, each cantilever has a cutting off part and a groove near the base and notches were added to the support base. It was confirmed that integrated model has the feasibility to improve both sensitivity and channel separation.

Scopus

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84974604593&origin=inward

担当区分：責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

DOI： 10.20965/ijat.2015.p0551

Scopus

担当区分：責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Taiwan   Taipei   2015年09月22日  -  2015年09月25日

担当区分：責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Japan   Tsukuba   2014年09月02日  -  2014年09月05日

記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

DOI： 10.1299/transjsme.2014dr0240

CiNii Article

担当区分：責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

記述言語：日本語   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）

DOI： 10.1299/jsmemag.116.1137_571

CiNii Article

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/110009635464

記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

主要雑誌

記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Kyutacar

記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

主要雑誌

記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）

開催期間： 2015年03月17日 - 2015年03月19日   記述言語：日本語   開催地：東洋大学　白山キャンパス  

開催期間： 2015年03月17日 - 2015年03月19日   記述言語：日本語   開催地：東洋大学　白山キャンパス  

開催期間： 2014年09月16日 - 2014年09月18日   記述言語：日本語   開催地：鳥取大学　鳥取キャンパス  

開催期間： 2014年03月18日 - 2014年03月20日   記述言語：日本語   開催地：東京大学　本郷キャンパス  

開催期間： 2014年03月18日 - 2014年03月20日   記述言語：日本語   開催地：東京大学　本郷キャンパス  

開催期間： 2014年03月18日 - 2014年03月20日   記述言語：日本語   開催地：東京大学　本郷キャンパス  

開催期間： 2014年03月13日 - 2014年03月14日   記述言語：日本語   開催地：九州工業大学工学部  

開催期間： 2012年09月14日 - 2012年09月16日   記述言語：日本語   開催地：九州工業大学　戸畑キャンパス  

開催期間： 2012年09月14日 - 2012年09月16日   記述言語：日本語   開催地：九州工業大学　戸畑キャンパス  

開催期間： 2010年03月16日 - 2010年03月18日   記述言語：日本語   開催地： 埼玉県さいたま市  

開催期間： 2010年03月16日 - 2010年03月18日   記述言語：日本語   開催地： 埼玉県さいたま市  

開催期間： 2008年03月18日   記述言語：日本語   開催地： 福岡  

開催期間： 2008年03月17日 - 2008年03月19日   記述言語：日本語   開催地： 東京  

開催期間： 2008年03月11日 - 2008年03月13日   記述言語：日本語   開催地： 東京  

開催期間： 2007年03月20日 - 2007年03月22日   記述言語：日本語  

開催期間： 2005年05月08日 - 2005年05月11日   記述言語：英語   開催地： France Montpellier  

科目区分：学部専門科目