研究者詳細 - 清水　浩貴

シミズ　ヒロキ

清水　浩貴

SHIMIZU Hiroki

Scopus 論文情報

総論文数: 0 総Citation: 0 h-index: 2

Citation Countは当該年に発表した論文の被引用数

所属

大学院工学研究院機械知能工学研究系

職名

准教授

外部リンク

研究キーワード

計測工学

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学
ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 計測工学

取得学位

大阪大学 - 博士（工学） 2000年03月

学内職務経歴

2008年04月 - 現在九州工業大学大学院工学研究院機械知能工学研究系准教授
2007年04月 - 2008年03月九州工業大学工学部機械知能工学科准教授

所属学会・委員会

2006年04月 - 現在精密工学会日本国
2007年04月 - 現在日本機械学会日本国

論文

A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces 査読有り国際誌

Shimizu Hiroki, Tamiya Koichi, Mizukami Shoichiro, Tamaru Yuuma

International Journal of Automation Technology ( 富士技術出版株式会社 ) 16 ( 5 ) 582 - 587 2022年09月

　詳細を見る

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Multi-point scanning measurement, which is effective in eliminating motion errors of the stage in on-machine profile measurement, requires multiple displacement sensors of equal pitch to measure displacements simultaneously. However, it is not easy to arrange small sensors with high alignment accuracy when applying the multi-point method at a narrow pitch. In addition, if many sensors can be arranged in parallel, improvement in measurement accuracy can be expected. Therefore, a new micro electro mechanical system (MEMS) device for straightness measurement, one that integrates 10 cantilever displacement sensors, has been proposed. This device can be expected to solve the problem involved in the multi-point method because of the characteristics of MEMS, as the semiconductor processing method can make mechanical structures with high accuracy and it can easily make the device with many identical structures. The device is designed to measure waviness less than 100 μm in height. Ten cantilevers of 11 mm length are fabricated in parallel with 1.8 mm pitch on a side of a base substrate 20 mm square. The strain induced by a displacement of the probe placed near the front edge of the cantilever is detected as a change in the resistance of the piezo resistor at the foot of the cantilever. In the fabrication process of this device, crystal anisotropic etching is performed for 12 hours to form probes 250 μm high. A new fabrication process is also proposed in which a protective process is added to prevent damage to the circuits already formed during the etching. A prototype is investigated, and it is found that the resistance value increases about 0.45% in proportion to the displacement of 100 μm. It is therefore confirmed that this device has the basic ability to detect displacement.

DOI： 10.20965/ijat.2022.p0582

Scopus

CiNii Research

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85137591308&origin=inward
Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces 査読有り国際誌

Tamaru Yuuma, Kawata Kensuke, Shimizu Hiroki

International Journal of Automation Technology ( 富士技術出版株式会社 ) 16 ( 5 ) 588 - 597 2022年09月

　詳細を見る

担当区分：最終著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

High-precision positioning can be obtained by reducing sliding friction and securing support rigidity. A prototype of a biaxial positioning table with non-contact drive by magnetic force and flexible mechanism support was developed to meet these requirements. The magnetic poles of a permanent magnet and an electromagnet were placed opposite to each other with an appropriate gap between them, and the attraction force between the two poles was used as the actuator for fine feed. The table was supported with a flexible mechanism composed of metal (A2017) beams with notches and elastic hinges assembled into a square frame shape. The permanent magnets were commercial neodymium magnets, and the electromagnets were self-made of S45C core bars. Two types of attraction force, maximum and minimum, were set depending on the number of neodymium magnets and the magnetic pole gap. The relationship between the applied current and attraction force for each type was calibrated using an electronic balance. Upon increasing and decreasing the applied current to the electromagnets, a linear relationship was shown between them. The relationship between the attraction force and the X- and Y-axes displacements was simulated by finite element analysis. Based on both results, the relationship between the applied current and displacement was estimated. The fine-feed experiment was conducted in both directions of the X- and Y-axes by applying current to electromagnets in a stepwise sequence. The displacements of total strokes in the long-stroke feed on applying the maximum attraction force were 340 μm and 315 μm for the X-axis and 160 μm and 133 μm for the Y-axis. These values are 2.0–2.8 times larger than the estimated displacement. Additionally, 3%–12% of the other axes interference occurred between the X- and Y-axes. In the high resolution feed applying the minimum attraction force, the displacement per step was 75 nm and 78 nm for the X-axis and 35 nm and 39 nm for the Y-axis. Cooperative feed with a combination of long stroke and high resolution was verified to be feasible.

DOI： 10.20965/ijat.2022.p0588

CiNii Research
Feasibility study of multi-point two-dimensional profile measurement by 3-2-1 and 3×3 sensor layout 査読有り国際誌

Fujiwara R., Shimizu H.

Measurement: Sensors 18 2021年12月

　詳細を見る

担当区分：最終著者,　責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

New multi-point methods, the six-point method of 3-2-1 sensor layout and the nine-point method of 3 × 3 sensor layout, have been proposed as the two-dimensional profilometry for a machined flat surface. Monte Carlo simulations were carried out and properties of proposed methods were examined. As a result, it was shown that the six-point method, the minimum configuration that calculates the planar shape with only six displacement sensors, can obtain the equivalent result to that of the simple nine-point method. In the nine-point method with averaging, it was confirmed that the maximum and average values of the standard deviation of the reconstructed profile were reduced to 68% and 81%, respectively compared with simple nine-point method. The improved nine-point method that averages the pitching error to improve the data connection accuracy also proposed and this method reduced standard deviation, but effectiveness is limited.

DOI： 10.1016/j.measen.2021.100358

Kyutacar

Scopus

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85119593693&origin=inward
Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces 査読有り国際誌

Tamaru Y., Kawata K., Shimizu H.

10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021 640 - 645 2021年11月

　詳細を見る

担当区分：最終著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

JAPAN Kitakyushu, Fukuoka 2021年11月14日 - 2021年11月18日

A prototype of a biaxial positioning table with flexible support and magnetic attraction force control was developed. Because rigidity is assured and sliding friction is eliminated, the kinematic accuracy is high, and high-precision positioning is achieved. The total displacement in the long-stroke feed was 340 µm and 160 µm (X-axis and Y-axis), and the step displacement in the high-resolution feed was 85 nm and 40 nm, respectively. Experiments were conducted with cooperative positioning, in which both long-stroke and high-resolution displacements were output continuously. As a result, the displacements were almost the same as those obtained when each output was obtained independently. It was confirmed that cooperative positioning is effective.

Scopus

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85124790610&origin=inward
A MEMS device for straightness measurement integrating 10 cantilever displacement sensors 査読有り国際誌

Shimizu H., Tamiya K., Mizukami S., Tamaru Y.

10th International Conference on Leading Edge Manufacturing Technologies in 21st Century, LEM 2021 409 - 411 2021年11月

　詳細を見る

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

JAPAN Kitakyushu, Fukuoka 2021年11月14日 - 2021年11月18日

A new device for straightness measurement which integrate 10 cantilever displacement sensors has been proposed. This device was designed to measure the waviness smaller than 100 µm in height. Ten cantilevers of 11mm length were fabricated in parallel with 1.8mm pitch in a side of the base substrate of 20 mm square. The strain, induced by a displacement of the probe placed near the front edge of the cantilever, is detected as a change in the resistance of the piezo resistor at the root of the cantilever. A prototype was investigated and it was found that the resistance value increases in proportion to the displacement of the probe. Hence, it was confirmed that this device has the basic ability of displacement detection.

Scopus

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85124805233&origin=inward
High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials 査読有り国際誌

K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu

Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology ( Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology ) C13 2019年11月

　詳細を見る

担当区分：最終著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Japan Matsue 2019年11月12日 - 2019年11月15日
Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors 査読有り

Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru

Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments D08 Paper ID:125 2019年09月

　詳細を見る

担当区分：筆頭著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Japan Niigata 2019年09月01日 - 2019年09月04日
Square layout four-point method for two-dimensional profile measurement and self-calibration method of zero-adjustment error 査読有り国際誌

Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T., Tamaru Y.

International Journal of Automation Technology 12 ( 5 ) 707 - 713 2018年09月

　詳細を見る

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

© 2018, Fuji Technology Press. All rights reserved. An on-machine measurement method, called the square-layout four-point (SLFP) method with angle compensation, for evaluating two-dimensional (2-D) profiles of flat machined surfaces is proposed. In this method, four displacement sensors are arranged in a square and mounted to the scanning table of a 2-D stage. For measuring the 2-D profile of a target plane, height data corresponding to all measuring points are acquired by means of the raster scanning motion. At the same time, pitching data of the first primary scan line and rolling data of the first subsidiary scan line are monitored by means of two auto-collimators to compensate for major profile errors that arise out of the posture error. Use of the SLFP method facilitates connection of the results of straightness-measurements results obtained for each scanning line by using two additional sensors and rolling data of the first subsidiary scan line. Specifically, the height of a measuring point is calculated by means of a recurrence equation using three predetermined height data for adjacent points in conjunction with data acquired by the four displacement sensors. Results of the numerical simulation performed in this study demonstrate higher efficiency of the SLFP method with angle compensation. During actual measurement, however, it is difficult to perfectly align inline the origin height of each displacement sensor. With regard to the SLFP method, zero-adjustment error is defined as the relative height of a sensor’s origin with respect to the plane comprising origins of the other three sensors. This error accumulates in proportion to number of times the recurrence equation is applied. Simulation results containing the zero-adjustment error demonstrate that accumulation of the said error results in unignorable distortion of measurement results. Therefore, a new self-calibration method for the zero-adjustment error has been proposed. During 2-D profile measurement, two different calculation paths – the raster scan path and orthogonal path – can be used to determine the height of a measurement point. Although heights determined through use of the two paths must ideally be equal, they are observed to be different because accumulated zero-adjustment errors for the two paths are different. In view of this result, the zero-adjustment error can be calculated backwards and calibrated. Validity of the calibration method has been confirmed via simulations and experiments.

DOI： 10.20965/ijat.2018.p0707

Scopus

CiNii Article

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85055258719&origin=inward
A novel compensation method of zero-adjustment error in flatness measurement using serial four-point method 査読有り国際誌

Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T.

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 ( 一般社団法人日本機械学会 ) 2017.9 ( 0 ) 163 2017年11月

　詳細を見る

担当区分：筆頭著者,　責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

The authors proposed a novel on-machine measurement method for evaluating three-dimensional profiles of machined flat surface: square layout four point (SLFP) method with angle compensation. The SLFP method enables to connect the results of straightness measurements of each scanning line by using additional two sensors and an angle sensor. Numerical simulation showed that the accumulation of zero adjustment error of displacement sensors makes unignorable distortion on the measurement results. Hence, a new calibration method for zero adjustment error was proposed and the validity of the method was confirmed by an experiment.

DOI： 10.1299/jsmelem.2017.9.163

Scopus

CiNii Article

CiNii Research

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85041341905&origin=inward
浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ効果支持リニアスライダ査読有り

田丸雄摩, 清水浩貴

日本機械学会論文集 83 ( 854 ) 17 - 00278-17-00278 2017年10月

　詳細を見る

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Non-contact supports involving air or magnetic forces are used as guide supports for linear motion mechanisms. In the present study, non-contact supports are generated using the effect of the static pressure force produced by a squeezed air film. The linear slider is supported at just two of its ends. Applying a different excitation amplitude to the two transducers leads to a difference in the floating height at either end of the slider due to the different air-film thicknesses. This causes the slider to tilt, which produces a propulsion force due to the dead load. An experimental apparatus with a flat plate slider was developed and its floating characteristics were examined. In addition, the propulsion force was measured for sliders with different weights. The results indicated that the floating height was 2 to 3 times the excitation amplitude. The slider was capable of travelling all over the movement stroke. The traveling force increased with increasing slider weight, and was about 0.15-0.35 mN. The measurement results were in good agreement with theoretical calculations. Thus, the present study showed that the slider could be successfully supported in a non-contact state and was capable of movement under the influence of a propulsion force generated only by the dead load.

DOI： 10.1299/transjsme.17-00278

CiNii Article

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/130006181353
Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation 査読有り

Shimizu H., Komatsu S., Tamaru Y.

Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2015 2015年10月

　詳細を見る

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

A new structural design of a micro electro mechanical system (MEMS) device for straightness measurement with the three point method has been studied. This device integrates three cantilever displacement sensors with a 5mm pitch on a silicon chip. To improve sensitivity and channel separation, some structural designs to make stress concentration part and to reduce interference between each displacement sensor were investigated using a finite element method code. Based on the calculation results, an integrated model was designed; in this model, each cantilever has a cutting off part and a groove near the base and notches were added to the support base. It was confirmed that integrated model has the feasibility to improve both sensitivity and channel separation.

Scopus

その他リンク： https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84974604593&origin=inward
Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe 査読有り

Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

International Journal of Automation Technology 9 ( 5 ) 551 - 557 2015年09月

　詳細を見る

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

DOI： 10.20965/ijat.2015.p0551

Scopus
Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors 査読有り

Hiroki Shimizu, Takahiro Akiyoshi, Shinya Yanagihara, Yuuma Tamaru, Akiyoshi Baba

Proceedings of 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 1 - 5 Paper ID 1196 2015年09月

　詳細を見る

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Taiwan Taipei 2015年09月22日 - 2015年09月25日
Displacment Detection of Small Sphere using Eccentric Astigmatic Method 査読有り

Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

Proceedings of 11th IMEKO Symposium LMPMI2014 (Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry) 1 - 4 index: B18 2014年09月

　詳細を見る

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

Japan Tsukuba 2014年09月02日 - 2014年09月05日
ボールねじ式送りテーブルの位置・角度補正査読有り

田丸雄摩, 清水浩貴, 加茂田浩史

日本機械学会論文集 80 ( 816 ) 1 - 11 DR0240 2014年08月

　詳細を見る

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

DOI： 10.1299/transjsme.2014dr0240

CiNii Article
Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators 査読有り

Hiroki Shimizu, Keitaro Tanaka, Yuuma Tamaru

Key Engineering Materials 613 200 - 203 2014年05月

　詳細を見る

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）
16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,<特集>機械工学年鑑)

清水浩貴

日本機械学会誌 ( 一般社団法人日本機械学会 ) 116 ( 1137 ) 571 - 572 2013年01月

　詳細を見る

記述言語：日本語掲載種別：記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）

DOI： 10.1299/jsmemag.116.1137_571

CiNii Article

その他リンク： https://ci.nii.ac.jp/naid/110009635464
長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動査読有り

田丸雄摩，高藤和樹，清水浩貴

日本機械学会論文集（Ｃ編） 74 ( 745 ) 2294 - 2299 2008年09月

　詳細を見る

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

主要雑誌
Theoretical Study on Self-calibration for the Wide-rangeLaser Auto-collimation Method 査読有り

H.Shimizu,O.Hayashi

Key Engineering Materials 381-382 271 - 274 2008年06月

　詳細を見る

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Kyutacar
高感度2軸マイクロ角度センサの開発査読有り

高偉,齋藤悠佑,佐藤隼人,清野慧,清水浩貴,広瀬純

精密工学会誌 72 ( 9 ) 1174 - 1178 2006年09月

　詳細を見る

記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

主要雑誌
Three-Dimensional Slit Width Measurement for Long Precision Slot Dies 査読有り

M. Furukawa,W. Gao,H. Shimizu,S. Kiyono,M. Yasutake,K. Takahashi

Key Engineering Materials 295-296 343 - 348 2005年10月

　詳細を見る

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）
A Biological Sensor for Detecting Foreign Bodies Using a Balloon Probe 査読有り

H. Shimizu,S. Kiyono,W. Gao,H. Shoji

Key Engineering Materials 295-296 133 - 138 2005年10月

　詳細を見る

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）
An electrical pen for signature verification using a two-dimensional optical angle sensor 査読有り

Hiroki Shimizu,Satoshi Kiyono,Takenori Motoki,Wei Gao

Sensors and Actuators, A 111 216 - 221 2004年04月

　詳細を見る

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

▼全件表示

口頭発表・ポスター発表等

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第9報)－10点同時計測MEMSデバイスの試作と評価－

田宮弘一，田丸雄摩，清水浩貴

2021年度精密工学会春季大会学術講演会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2021年03月16日 - 2021年03月22日記述言語：日本語
逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定

宮田佑, 田丸雄摩, 清水浩貴

2019年度精密工学会春季大会学術講演会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2019年03月13日 - 2019年03月15日記述言語：日本語開催地：慶應義塾大学　矢上キャンパス
MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第8報）—10点同時測定による誤差累積の影響低減—

水上翔一朗, 真鍋真, 田丸雄摩, 清水浩貴

2019年度精密工学会春季大会学術講演会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2019年03月13日 - 2019年03月15日記述言語：日本語開催地：慶應義塾大学　矢上キャンパス
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

田丸雄摩

精密工学会学術講演会講演論文集精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2017年03月13日 - 2017年03月15日記述言語：日本語開催地：慶應義塾大学

微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある．本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ，浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した．加振振幅を与えることで浮上力が得られ，振幅調整によって微動が生じる．試験の結果，テーブルが非接触で支持されていることを確認した．また，振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し，全ストローク変位と最小変位を観察できた．

CiNii Article
真直形状測定用 3 点法マルチカンチレバー変位計の高感度化モデルの検討

荒牧健太郎

日本機械学会2016年度年次大会日本機械学会

　詳細を見る

開催期間： 2016年09月11日 - 2016年09月14日記述言語：日本語開催地：九州大学伊都キャンパス

In this study, we developed a multi cantilever device for straightness measurement using the three point method. This device has three triangular cantilever works as displacement sensors. When the displacement is given at the probe placed at the end of the cantilever, stress arises in the cantilever. Displacement is measured by detecting the stress change using two piezo resistances at the root of the cantilever. This paper presents the results of sensitivity evaluation of improved device models. To improve the sensitivity, we considered the shape to make stress concentration in the strain detecting section of the device, and examined the effects by the finite element method. As a result, it was confirmed that transverse notches on both sides at the root of the cantilever and a rectangular hole between the piezo resisances are effective for sensitivity improvement and crosstalk reduction. Furthermore, we also simulate models of changing thickness of each part and models of changing position of piezo resistance.

CiNii Article
角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）一長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討一

夘田将太

2015 年度精密工学会春季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2015年03月17日 - 2015年03月19日記述言語：日本語開催地：東洋大学　白山キャンパス
MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）一平面測定用デバイスの製作一

菊地洋輝

2015 年度精密工学会春季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2015年03月17日 - 2015年03月19日記述言語：日本語開催地：東洋大学　白山キャンパス
MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発（第5報）—平面測定用デバイスの設計と構造解析—

菊地洋輝

2014 年度精密工学会秋季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2014年09月16日 - 2014年09月18日記述言語：日本語開催地：鳥取大学　鳥取キャンパス
スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振（完全非接触支持による制振特性検証の精度向上）

松本勇毅

2014 年度精密工学会春季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2014年03月18日 - 2014年03月20日記述言語：日本語開催地：東京大学　本郷キャンパス
角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第1報）—測定原理の検討と基礎的検証—

藤田豊栄

2014 年度精密工学会春季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2014年03月18日 - 2014年03月20日記述言語：日本語開催地：東京大学　本郷キャンパス
MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）—表面荒れを抑えた探針製作法—

殘華智仁

2014 年度精密工学会春季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2014年03月18日 - 2014年03月20日記述言語：日本語開催地：東京大学　本郷キャンパス
3 点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置

松本恵太

日本機械学会　九州支部　第67期総会・講演会日本機械学会九州支部

　詳細を見る

開催期間： 2014年03月13日 - 2014年03月14日記述言語：日本語開催地：九州工業大学工学部
MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第3報）—ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合—

水頭正一郎

2012 年度精密工学会秋季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2012年09月14日 - 2012年09月16日記述言語：日本語開催地：九州工業大学　戸畑キャンパス
スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振

松本勇毅

2012 年度精密工学会秋季大会精密工学会

　詳細を見る

開催期間： 2012年09月14日 - 2012年09月16日記述言語：日本語開催地：九州工業大学　戸畑キャンパス
拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報－曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ－

機械知能工学科

2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

　詳細を見る

開催期間： 2010年03月16日 - 2010年03月18日記述言語：日本語開催地：埼玉県さいたま市
可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化（第2報）-押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発-

機械知能工学専攻

2010年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

　詳細を見る

開催期間： 2010年03月16日 - 2010年03月18日記述言語：日本語開催地：埼玉県さいたま市
非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ

機械知能工学専攻，佐々木啓成

日本機械学会九州支部講演論文集

　詳細を見る

開催期間： 2008年03月18日記述言語：日本語開催地：福岡
可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化(第１報)－特性補正の基礎実験－

機械知能工学専攻，諸冨啓

2008年度精密工学会春季大会学術講演会

　詳細を見る

開催期間： 2008年03月17日 - 2008年03月19日記述言語：日本語開催地：東京
姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ－第1報　構想と装置の試作－

機械知能工学専攻,鎌田紘介

2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

　詳細を見る

開催期間： 2008年03月11日 - 2008年03月13日記述言語：日本語開催地：東京
拡張レーザーオートコリメーション法による形状測定装置の開発―自律校正法の検討―

機械知能工学専攻

精密工学会春季大会講演論文集

　詳細を見る

開催期間： 2007年03月20日 - 2007年03月22日記述言語：日本語
An Extended Auto-Collimation Method Combined with a Deflect Optical System for Non-Contact Profile Measurement

本人

Proc. of 5th International euspen Conference

　詳細を見る

開催期間： 2005年05月08日 - 2005年05月11日記述言語：英語開催地： France Montpellier

▼全件表示

学術関係受賞

工作機械技術振興財団奨励賞

工作機械技術振興財団 2014年06月23日

崎田浩輔, 清水浩貴, 田丸雄摩

　詳細を見る

受賞国：日本国

科研費獲得実績

機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発

研究課題番号：25420057 2013年04月 - 2016年03月基盤研究(C)
運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証

研究課題番号：22760099 2010年04月 - 2013年03月若手研究(B)

その他競争的資金獲得実績

高品位機械加工面創成のための加工計測用MEMSデバイスの開発

2016年04月 - 2017年03月

平成28年度新成長戦略推進研究開発事業(シーズ創出・実用性検証事業)

担当授業科目（学内）

2022年度機械計測
2022年度計測工学特論
2021年度機械計測
2021年度機械知能工学入門
2021年度設計製図Ⅱ
2021年度機械工学実験Ⅰ

　詳細を見る

科目区分：学部専門科目
2021年度計測工学特論
2020年度機械計測
2020年度機械知能工学入門
2020年度設計製図Ⅱ
2020年度機械工学実験Ⅰ
2020年度計測工学特論
2019年度機械工作法Ⅰ
2019年度機械工学実験Ⅰ
2019年度機械系学生のための英文理解と表現Ⅱ
2019年度計測工学特論
2019年度機械知能工学入門
2018年度計測工学特論
2018年度機械工作法Ⅰ
2018年度機械知能工学概論
2018年度機械知能工学入門
2017年度機械工作法Ⅰ
2017年度半導体トピックセミナー
2017年度機械知能工学基礎実習
2017年度設計製図Ⅱ
2017年度計測工学特論
2016年度機械工作法Ⅰ
2016年度半導体トピックセミナー
2016年度機械知能工学基礎実習
2016年度設計製図Ⅱ
2016年度計測工学特論
2015年度機械工作法Ⅰ
2015年度機械知能工学基礎実習
2015年度学外見学実習
2015年度計測工学特論
2015年度工学倫理・安全工学Ａ
2015年度設計製図Ⅱ
2015年度半導体トピックセミナー
2014年度機械工作法Ⅰ
2014年度半導体トピックセミナー
2014年度工学倫理・安全工学Ａ
2014年度機械知能工学基礎実習
2014年度設計製図Ⅱ
2014年度計測工学特論
2013年度機械工作法Ⅰ
2013年度半導体トピックセミナー
2013年度工学倫理・安全工学
2013年度機械知能工学基礎実習
2013年度設計製図Ⅱ
2013年度計測工学特論
2012年度計測工学特論
2012年度機械知能工学基礎実習
2012年度半導体トピックセミナー
2012年度設計製図Ⅱ
2012年度サイエンス工房
2012年度機械工作法Ⅰ
2011年度機械工作法Ⅰ
2011年度計測工学特論

▼全件表示

社会貢献活動（講演会・出前講義等）

教員免許状更新講習会

役割：講師

2018年08月28日

　詳細を見る

対象：教育関係者

種別：資格認定講習

教員免許状更新講習会　選択領域「放射線の測り方／福島と原発の今」を開催した
教員免許状更新講習会

役割：講師

2017年08月25日

　詳細を見る

対象：教育関係者

種別：資格認定講習

教員免許状更新講習会　選択領域「放射線の測り方／福島と原発の今」を開催した

国際会議開催（学会主催除く）

The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)

The Japan Society of Mechanical Engineers (JSME) Manufacturing and Machine Tool Division Manufacturing Systems Division Kitakyushu, Fukuoka 2021年11月14日 - 2021年11月18日

その他国際交流活動

モンゴルツイニングプログラム　夏季集中講義

活動期間： 2019年08月

　詳細を見る

モンゴル工学系高等教育支援事業（モンゴル科学技術大学とのツイニング・プログラム）での受け入れ前教育として機械工学に関する5日間の夏季集中講義を行った