Affiliation
Faculty of Engineering Department of Mechanical and Control Engineering
Job
Assistant Professor
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TAMARU Yuuma
Scopus Paper Info
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Research Interests
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Positioning Control
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Precision positioning
Research Areas
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Manufacturing Technology (Mechanical Engineering, Electrical and Electronic Engineering, Chemical Engineering) / Manufacturing and production engineering
Undergraduate Education
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1994.03 Kyushu Institute of Technology Faculty of Engineering Graduated Japan
Post Graduate Education
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1996.03 Kyushu Institute of Technology Graduate School, Division of Engineering Master's Course Completed Japan
Degree
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Kyushu Institute of Technology - Master of Engineering 1996.03
Biography in Kyutech
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2008.04
Kyushu Institute of Technology Faculty of Engineering Department of Mechanical and Control Engineering Assistant Professor
Academic Society Memberships
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1996.04 The Japan Society of Mechanical Engineers Japan
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1996.04 Japan Society for Precision Engineering Japan
Research Career
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可撓支持による磁力を利用した摺動摩擦フリー位置決め
磁力制御，位置決め，可撓支持
研究期間： 2016.04 -
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スクイーズ効果による浮上支持を利用した位置決め
スクイーズ効果，位置決め，非接触支持
研究期間： 2014.04 -
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スクイーズ膜支持効果に関する基礎研究
スクイーズ効果
研究期間： 2007.04 -
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微小変位機構に関する研究
未設定
研究期間： 2005.04 -
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送りねじによる間座予圧変化を利用した位置決め
位置決め
研究期間： 1996.04 -
Papers
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Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect Reviewed International journal
Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA,Hiroki SHIMIZU
Proceeding of The 19th International Conference on Precision Engineering C269 2022.11
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Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces Invited Reviewed International journal
Yuuma Tamaru, Kensuke Kawata, and Hiroki Shimizu
International Journal of Automation Technology ( Fuji Technology Press Ltd. ) 16 ( 5 ) 588 - 597 2022.09
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A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces Invited Reviewed International journal
Hiroki Shimizu, Koichi Tamiya, Shoichiro Mizukami, and Yuuma Tamaru
International Journal of Automation Technology ( Fuji Technology Press Ltd. ) 16 ( 5 ) 582 - 587 2022.09
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Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces Reviewed International journal
Yuma TAMARU,Kensuke KAWATA,Hiroki SHIMIZU
Proceedings of The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 640 - 645 2021.11
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A MEMS device for straightness measurement integrating 10 cantilever displacement sensors Reviewed International journal
Hiroki SHIMIZU,Koichi TAMIYA,Shoichiro MIZUKAMI,Yuma TAMARU
Proceedings of The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 409 - 411 2021.11
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Positioning and correction technology using ball screws Invited
Yuma Tamaru
THE TRIBOLOGY ( Shinjusha Co., Ltd. ) 34 ( 2 ) 15 - 17 2020.02
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Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect Reviewed International journal
Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology E26 2019.11
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High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials Reviewed International journal
Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology C13 2019.11
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Linear slider supported by squeezed air films with self-propulsion mechanism based on floating height difference Reviewed
Yuuma TAMARU and Hiroki SHIMIZU
Transactions of the JSME (in Japanese) 83 ( 854 ) 2017.09
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Correction of positioning and angular errors for ball screw feed unit Reviewed
Yuuma TAMARU, Hiroki SHIMIZU and Hiroshi KAMODA
Transaction of the JSME (in Japanese) 80 ( 816 ) DR0240 2014.08
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Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors Reviewed
Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru
Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments D08 2019.09
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Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error Reviewed
Hiroki Shimizu,Ryousuke Yamashita, Takuya Hashiguchi,Tasuku Miyata,Yuuma Tamaru
International Journal of Automation Technology 12 ( 5 ) 1 - 7 2018.08
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Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation Reviewed
Hiroki Shimizu, Souichiro Komatsu, Yuuma Tamaru
Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 1 - 3 2015.10
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Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors Reviewed
Hiroki Shimizu, Takahiro Akiyoshi, Shinya Yanagihara, Yuuma Tamaru, Akiyoshi Baba
Proceedings of 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 1 - 5 2015.09
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Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe Reviewed
Hiroki Shimizu,Atsuo Ogawa,Yoshinori Sasaki and Yuuma Tamaru
Int. J. of Automation Technology 9 ( 5 ) 551 - 557 2015.04
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Displacment Detection of Small Sphere using Eccentric Astigmatic Method Reviewed
1 - 4 2014.09
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Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators Invited Reviewed
Key Engineering Materials 613 200 - 203 2014.07
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Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators Reviewed
287 - 288 2013.07
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長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動（連続ステップ位置決めへの適用） Reviewed
田丸雄摩，高藤和樹
日本機械学会論文集（C編） 77 ( 777 ) 2139 - 2145 2011.05
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長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動 Reviewed
田丸雄摩，高藤和樹，清水浩貴
日本機械学会論文集（Ｃ編） 74 ( 745 ) 2294 - 2299 2008.09
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Ultra Fine Positioning by Preload Change in Ball Screw Drive Reviewed
Katuhiro NAKASHIMA,Kazuki TAKAFUJI,Yuuma TAMARU
Proceedings of the 1st International Conference on Positioning Technology pp.31 - 36 2004.04
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Feeding Behavier of Screw Drive Table (Comparison of Sliding Screw Drive and Ball Screw Drive) Reviewed
Katuhiro NAKASHIMA,Yuuma TAMARU,Kazuki TAKAFUJI
International Conference on Positioning Technology 34 - 39 2002.04
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Ultraprecision Positioning by Preload Change of Lead Screws (Characteristics of Fine Feed) Reviewed
Katuhiro NAKASHIMA,Yuuma TAMARU,Kazuki TAKAFUJI
JSME International Journal,Series C Vol.44 No3pp808 - 815 2001.04
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送りねじの予圧変化による超精密位置決め(微小送り特性) Reviewed
中島克洋，田丸雄摩，高藤和樹
日本機械学会論文集(C編) 65 ( 640 ) 4903 - 4908 1999.04
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送りねじの予圧変化による微小送り(超精密位置決めへの応用) Reviewed
中島克洋，高藤和樹，田丸雄摩
日本機械学会論文集(C編) 64 ( 621 ) 353 - 359 1998.04
Conference Prsentations (Oral, Poster)
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永久磁石相互の吸引力を用いた可撓支持微動テーブル（第1報）ー磁気吸引力校正と変位予測ー
床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
2023年度精密工学会秋季大会
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3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定−測定データ接続法の比較−
時實拓紀，野田樹生，田丸雄摩，清水浩貴
2023年度精密工学会春季大会
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多点同時計測可能なカンチレバー式変位計デバイス−機械学習による校正−
加倉誠勝，小濱大輝，田丸雄摩，清水浩貴
2023年度精密工学会春季大会
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永久磁石相互の磁気吸引力を用いた可撓支持微動テーブルの性能推定
床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
日本機械学会第54回卒業研究発表会
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Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect
Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA,Hiroki SHIMIZU
The 19th International Conference on Precision Engineering 2022.12 The Japan Society for Precision Engineering
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (6th report) - Properties of small-step displacement feed -
Yuuma Tamaru,Tomohiro Ushijima,Hiroki Shimizu
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (5th report) - Properties of long-stroke feed -
Yuuma Tamaru,Tomohiro Ushijima,Hiroki Shimizu
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Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces
The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (4th report)
Yuuma Tamaru,Tomohiro Ushijima,Hiroki Shimizu
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MEMS技術を応用した多点法走査型測定用センサデバイスの開発（第9報）-10点同時測定MEMSデバイスの試作と評価-
田宮弘一,田丸雄摩,清水浩貴
2021年度精密工学会春季大会
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Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (3rd report) - Consideration of support ability improvement by parallelism alignment -
Yuuma Tamaru, Shutaro Tofuku,Hiroki Shimizu
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磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第3報）—2軸駆動装置におけるジグザグ送り—
田丸雄摩,河田謙介,清水浩貴
2020年度精密工学会春季大会
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Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect
Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu
8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
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磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第2報）—2軸駆動装置の開発と性能評価—
田丸雄摩
2019年度精密工学会秋季大会
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Properties of Uniaxial Flexible Support Table for Fine Positioning by Magnetic Attraction Controlled
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MEMS技術を利用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第8報）ー10点同時測定による誤差累積の影響低減ー
水上翔一朗
2019年度精密工学会春季大会
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逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定
宮田佑
2019年度精密工学会春季大会
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磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発
田丸雄摩
2019年度精密工学会春季大会
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磁気吸引力を利用した2軸可撓支持微動テーブルの開発
河田謙介
日本機械学会第50回卒業研究発表会
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浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第2報） －180°位相差加振支持による微動テーブルの制振評価－
田丸雄摩
2018年度精密工学会秋季大会
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Developing of flexible support table for fine positioning by magnetic controlled
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Evaluation for fine positioning table properties supported by squeezed air films based on static pressure controlled
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Development of fine motion table supported by squeezed air films based on levitation force control
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Scanning flatness measurement using multi point method and angle correction (3th Report)
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Development of sensor device using MEMS technology for scanning profile measurement with multi - point method ( 7th Report)
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Development of positioning table with non-contact support by magnetic force controlled
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Development of fine positioning table supported on squeezed-air film by static pressure controlled
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真直形状測定用3点法マルチカンチレバー変位計の高感度化モデルの検討
荒牧健太郎
日本機械学会2016年度年次大会
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角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第3報）－平面測定のためのゼロ点調整誤差除去法の提案－
山下亮祐
2016年度精密工学会春季大会学術講演会 精密工学会
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2点法真直度測定結果の接続による平面形状測定
石橋和也
日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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MEMSデバイス評価装置の機能向上と機械特性評価
諌山聡一朗
日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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大面積ホログラフィック光学素子製作装置の設計と開発
上沼一也
日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振（第2報）－浮上と制振相互間の加振位相ずれと制振性能の関係－
田丸雄摩
2015年度精密工学会秋季大会学術講演会 精密工学会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報）－デバイス探針の摩耗評価装置の製作－
清水浩貴
2015年度精密工学会秋季大会学術講演会 精密工学会
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スクイーズ効果で浮上支持された物体の制振性能向上
中村俊紀
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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大面積ホログラフィック光学素子製作装置の開発
古谷龍太郎
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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MEMS変位計デバイス摩耗試験装置の開発
松本航
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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走査形状測定用三点法マルチカンチレバー変位計の高精度化－相互干渉に起因する誤差の低減－
小松総一朗
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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Active Damping Control for Floating Object Supported on Squeeze Film Air Effect(Improving of Measuring Verification by Completely Non-Contact Support)
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報：表面荒れを抑えた探針製作法）
殘華智仁
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第一報：測定原理の検討と基礎的検証）
藤田豊栄
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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Characteristic of Horizontal Holding Force for Specimen by Squeezed-Air Film Effect
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Highly stable angle sensor reducing the influence of deflection of the laser beam
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Prototyping of the on-machine profiler for machined surface using 3-point method
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Development of an equipment for manufacturing holographic optical element
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Trial production of displacement sensing device for planer surface measurement by three-point method
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Prototyping of device for flatness evaluation using five-point method
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推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（圧電素子の急速変形による慣性力を利用した推進）
森田賢史，田丸雄摩，清水浩貴
日本機械学会九州学生会
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3 点法真直形状測定に用いるマルチカンチレ バー変位計の試作
久保智裕，清水浩貴，田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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AFMの原理に基づく機械加工面形状計測装置に関する基礎的研究
荒木健太，清水浩貴，田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振
松本勇毅，田丸雄摩，清水浩貴
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 （ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合）
水頭正一郎，清水浩貴，田丸雄摩
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作））
柳原慎也
2012年度精密工学会春季大会
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拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第3報）（試料ステージの姿勢誤差補正と安定性の向上）
塩見真弘
2012年度精密工学会春季大会
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弾性ヒンジを用いた多自由度の位置・姿勢誤差補正機構
野上貴巨
日本機械学会九州学生会
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小型可変形鏡のためのPUSH-PULLアクチュエータユニットの開発
今井康弘
日本機械学会九州学生会
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両端角度補正付き3点法を用いた走査型平面度測定法
岩本裕輝
日本機械学会九州学生会
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2. MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）
秋好崇宏
2011年度精密工学会春季大会
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推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（案内の傾斜角調整による推進）
本人
2010年度精密工学会九州支部熊本地方講演会論文集
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拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報）（曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ）
機械知能 平田裕一
2010年度精密工学会春季大会講演論文集
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可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化（第2報）（押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発）
機械知能 式守良寛
2010年度精密工学会春季大会講演会
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非点収差法を用いたマイクロタッチプローブ球精密変位検出法（プローブ球変位時のスポット形状解析と基礎実験）
2011年度精密工学会春季大会講演論文集
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）
2011年度精密工学会春季大会講演論文集
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両端角度測定を併用した3点法による走査形状測定
機械知能 秋好崇宏
2009年度精密工学会秋季大会講演論文集
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姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ（第1報 構想の装置の試作）
機械知能工学専攻
2009年度精密工学会春季大会講演論文集
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非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ（光学系設計とシミュレーションによる感度解析）
日本機械学会九州支部第62期講演会
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浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ支持リニアスライダ
本人
2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
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スクイーズ膜支持によるリニアモータの基礎特性
室本国人
九州学生会・第39回学生会卒業研究発表講演会
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可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高性能化（第1報）-特性補正の基礎実験-
諸冨啓
2008年度精密工学会春季大会講演論文集
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連係微動による位置決めステージの開発
本人
2007年度精密工学会秋季大会講演論文集
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拡張レーザーオートコリメーション法による形状測定装置の開発（自律校正法の検討）
機械知能工学科 林修
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
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予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り（第2報）（システムの改良による高速化）
機械知能工学科 鎌田紘介
第60回日本機械学会九州支部総会講演会
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連係微動による高精度位置決め（反復連係微動）
本人
2005年度精密工学会秋季大会講演論文集
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予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り
藤本泰徳
2005年度精密工学会春季大会講演論文集
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すべりねじ駆動におけるテーブルの送り挙動
野田貴三
精密工学会春季大会講演論文集
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マイクロ切削加工に関する基礎研究
2005年度精密工学会春季大会
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ボールねじの予圧制御による粗微動送り方式の微動特性
木山浩
2004年度精密工学会春季大会講演論文集
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送りねじの予圧制御による超精密位置決め
木山浩
2003年度精密工学会秋季大会講演論文集
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マイクロ切削加工の研究
山下洋司
2003年度精密工学会九州支部大会講演論文集
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微動テーブルとナノメータ送りヘッドによるマイクロ加工
本人
日本機械学会九州支部講演会講演論文集
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変位の長ストロークと高分解能を両立する微動機構
本人
2002年度精密工学会春季大会講演論文集
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変位拡大による長ストロークと変位縮小による高分解能を有する一体微動機構の検討
本人
2000年度精密工学会春季大会講演論文集
Press
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位置決め技術の高精度化に対する現状と課題
田丸雄摩
日刊工業新聞社 2018.10.31
Honors and Awards
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工作機械技術振興賞（奨励賞）
工作機械技術振興財団 2014.06.23
崎田浩輔，清水浩貴，田丸雄摩
Grants-in-Aid for Scientific Research
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磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発
Grant number：22K03863 2022.04 - 2025.03 基盤研究(C)
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テーブルの浮上支持と精密位置決めをスクイーズ効果で可能にする微動機構の開発
Grant number：19K04106 2019.04 - 2023.03 基盤研究(C)
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機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発
Grant number：17K06082 2017.04 - 2020.03 基盤研究(C)
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機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発
Grant number：25420057 2013.04 - 2016.03 基盤研究(C)
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PZTを利用した超微小変位機構の開発
Grant number：10750109 1998.04 - 2000.03 奨励研究(A)
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粗微動一体形超精密送り装置の開発
Grant number：08555038 1996.04 - 1998.03 基盤研究(B)
Other External Funds
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磁力制御と自重で高精度位置決めを可能にする磁気浮上式微動テーブルの開発
2017.04 - 2019.03
公益財団法人JKA機械振興補助事業
Citation count denotes the number of citations in papers published for a particular year.