ボールねじを使用した位置決めと補正技術 招待有り

田丸雄摩

月刊トライボロジー ( 株式会社新樹社 )   34 ( 2 )   15 - 17   2020年02月

Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect 査読有り 国際誌

Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu

Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology   E26   2019年11月

High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials 査読有り 国際誌

K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu

Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology   C13   2019年11月

浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ効果支持リニアスライダ 査読有り

田丸雄摩，清水浩貴

日本機械学会論文集   83 ( 854 )   2017年09月

ボールねじ式送りテーブルの位置・角度補正 査読有り

田丸 雄摩, 清水 浩貴, 加茂田 浩史

日本機械学会論文集   80 ( 816 )   DR0240   2014年08月

Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors 査読有り

Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru

Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   D08   2019年09月

Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error 査読有り

Hiroki Shimizu,Ryousuke Yamashita, Takuya Hashiguchi,Tasuku Miyata,Yuuma Tamaru

International Journal of Automation Technology   12 ( 5 )   1 - 7   2018年08月

Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation 査読有り

Hiroki Shimizu, Souichiro Komatsu, Yuuma Tamaru

Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century   1 - 3   2015年10月

Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors 査読有り

Hiroki Shimizu, Takahiro Akiyoshi, Shinya Yanagihara, Yuuma Tamaru, Akiyoshi Baba

Proceedings of 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   1 - 5   2015年09月

Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe 査読有り

Hiroki Shimizu,Atsuo Ogawa,Yoshinori Sasaki and Yuuma Tamaru

Int. J. of Automation Technology   9 ( 5 )   551 - 557   2015年04月

Displacment Detection of Small Sphere using Eccentric Astigmatic Method 査読有り

Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

Proceedings of 11th IMEKO Symposium LMPMI2014 (Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry)   1 - 4   2014年09月

Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators 招待有り 査読有り

Hiroki Shimizu, Keitaro Tanaka and Yuuma Tamaru

Key Engineering Materials   613   200 - 203   2014年07月

Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators 査読有り

Hiroki Shimizu,Keitaro Tanaka,Yuuma Tamaru

The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   287 - 288   2013年07月

長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動（連続ステップ位置決めへの適用） 査読有り

田丸雄摩，高藤和樹

日本機械学会論文集（C編）   77 ( 777 )   2139 - 2145   2011年05月

長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動 査読有り

田丸雄摩，高藤和樹，清水浩貴

日本機械学会論文集（Ｃ編）   74 ( 745 )   2294 - 2299   2008年09月

Ultra Fine Positioning by Preload Change in Ball Screw Drive 査読有り

Katuhiro NAKASHIMA,Kazuki TAKAFUJI,Yuuma TAMARU

Proceedings of the 1st International Conference on Positioning Technology   pp.31 - 36   2004年04月

Feeding Behavier of Screw Drive Table (Comparison of Sliding Screw Drive and Ball Screw Drive) 査読有り

Katuhiro NAKASHIMA,Yuuma TAMARU,Kazuki TAKAFUJI

International Conference on Positioning Technology   34 - 39   2002年04月

Ultraprecision Positioning by Preload Change of Lead Screws (Characteristics of Fine Feed) 査読有り

Katuhiro NAKASHIMA,Yuuma TAMARU,Kazuki TAKAFUJI

JSME International Journal,Series C   Vol.44   No3pp808 - 815   2001年04月

送りねじの予圧変化による超精密位置決め(微小送り特性) 査読有り

中島克洋，田丸雄摩，高藤和樹

日本機械学会論文集(C編)   65 ( 640 )   4903 - 4908   1999年04月

送りねじの予圧変化による微小送り(超精密位置決めへの応用) 査読有り

中島克洋，高藤和樹，田丸雄摩

日本機械学会論文集(C編)   64 ( 621 )   353 - 359   1998年04月

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第6報） － 小ステップ変位微動特性 －

田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴

2022年度精密工学会秋季大会 

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報）—長ストローク微動特性—

田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴

2022年度精密工学会春季大会 

Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces

Yuma TAMARU, Kensuke KAWATA ,Hiroki SHIMIZU

The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century  The Japan Society of Mechanical Engineers

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第4報） － テーブル揺動特性の評価 －

田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴

2021年度精密工学会秋季大会 

MEMS技術を応用した多点法走査型測定用センサデバイスの開発（第9報）-10点同時測定MEMSデバイスの試作と評価-

田宮弘一,田丸雄摩,清水浩貴

2021年度精密工学会春季大会 

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報） － 平行度調整による支持性能向上の検討 －

田丸雄摩,東福修太朗,清水浩貴

2021年度精密工学会春季大会 

磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第3報）—2軸駆動装置におけるジグザグ送り—

田丸雄摩,河田謙介,清水浩貴

2020年度精密工学会春季大会 

Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect

Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu

8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology 

磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第2報）—2軸駆動装置の開発と性能評価—

田丸雄摩

2019年度精密工学会秋季大会 

磁気吸引力を利用した 1 軸可撓支持微動テーブルの性能

田丸雄摩

Dynamic and Design conference 2019 

MEMS技術を利用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第8報）ー10点同時測定による誤差累積の影響低減ー

水上翔一朗

2019年度精密工学会春季大会 

逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定

宮田佑

2019年度精密工学会春季大会 

磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発

田丸雄摩

2019年度精密工学会春季大会 

磁気吸引力を利用した2軸可撓支持微動テーブルの開発

河田謙介

日本機械学会第50回卒業研究発表会 

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第2報） －180°位相差加振支持による微動テーブルの制振評価－

田丸雄摩

2018年度精密工学会秋季大会 

磁力制御による可撓支持微動テーブルの開発

宅野元気

日本機械学会第49回卒業研究発表講演会 

静圧力制御によるスクイーズ効果支持 微動テーブルの性能評価

曲淵公紀

日本機械学会第49回卒業研究発表講演会 

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

田丸雄摩

2017年度精密工学会秋季大会学術講演会  精密工学会

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定 ( 第4報 ) ―ノイズレベル及びセンサ間感度差の影響の検討―

橋口拓也

2017年度精密工学会春季大会学術講演会 

MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイス の開発（第7報） ‐ 矩形梁採用による感度向上とその構造解析 ‐

本永聡一朗

2017年度精密工学会春季大会学術講演会  

磁力制御を利用した非接触支持微動テーブルの開発

椎葉穂高

2017年度日本機械学会九州学生会講演会 

静圧力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

松本哲也

2017年度日本機械学会九州学生会講演会 

真直形状測定用3点法マルチカンチレバー変位計の高感度化モデルの検討

荒牧健太郎

日本機械学会2016年度年次大会 

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第3報）－平面測定のためのゼロ点調整誤差除去法の提案－

山下亮祐

2016年度精密工学会春季大会学術講演会  精密工学会

2点法真直度測定結果の接続による平面形状測定

石橋和也

日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会  日本機械学会

MEMSデバイス評価装置の機能向上と機械特性評価

諌山聡一朗

日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会  日本機械学会

大面積ホログラフィック光学素子製作装置の設計と開発

上沼一也

日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会  日本機械学会

スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振（第2報）－浮上と制振相互間の加振位相ずれと制振性能の関係－

田丸雄摩

2015年度精密工学会秋季大会学術講演会  精密工学会

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報）－デバイス探針の摩耗評価装置の製作－

清水浩貴

2015年度精密工学会秋季大会学術講演会  精密工学会

スクイーズ効果で浮上支持された物体の制振性能向上

中村俊紀

日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

大面積ホログラフィック光学素子製作装置の開発

古谷龍太郎

日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

MEMS変位計デバイス摩耗試験装置の開発

松本航

日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

走査形状測定用三点法マルチカンチレバー変位計の高精度化－相互干渉に起因する誤差の低減－

小松総一朗

日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振（完全非接触支持による制振特性検証の精度向上）

松本勇毅

2014年度精密工学会春季大会学術講演会 

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報：表面荒れを抑えた探針製作法）

殘華智仁

2014年度精密工学会春季大会学術講演会 

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第一報：測定原理の検討と基礎的検証）

藤田豊栄

2014年度精密工学会春季大会学術講演会 

スクイーズ効果による物体の水平保持力特性

高原大二郎

日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

レーザ光の振れの影響を軽減した高安定性角度センサ

溝口 省吾

日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

三点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置の試作

山下 亮祐

日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

ホログラフィック光学素子製作装置の開発

松隈 智寛

日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

走査形状測定用３点法マルチカンチレバー変位計の試作

高畑 翔太

日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

平面測定用マルチカンチレバー変位計デバイスの試作

崎田 浩輔

日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（圧電素子の急速変形による慣性力を利用した推進）

森田賢史，田丸雄摩，清水浩貴

日本機械学会九州学生会 

3 点法真直形状測定に用いるマルチカンチレ バー変位計の試作

久保智裕，清水浩貴，田丸雄摩

日本機械学会九州学生会 

AFMの原理に基づく機械加工面形状計測装置に関する基礎的研究

荒木健太，清水浩貴，田丸雄摩

日本機械学会九州学生会 

スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振

松本勇毅，田丸雄摩，清水浩貴

精密工学会秋季大会 

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 （ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合）

水頭正一郎，清水浩貴，田丸雄摩

精密工学会秋季大会 

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作））

柳原慎也

2012年度精密工学会春季大会 

拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第3報）（試料ステージの姿勢誤差補正と安定性の向上）

塩見真弘

2012年度精密工学会春季大会 

弾性ヒンジを用いた多自由度の位置・姿勢誤差補正機構

野上貴巨

日本機械学会九州学生会 

小型可変形鏡のためのPUSH-PULLアクチュエータユニットの開発

今井康弘

日本機械学会九州学生会 

両端角度補正付き3点法を用いた走査型平面度測定法

岩本裕輝

日本機械学会九州学生会 

2. MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）

秋好崇宏

2011年度精密工学会春季大会 

推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（案内の傾斜角調整による推進）

本人

2010年度精密工学会九州支部熊本地方講演会論文集 

拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報）（曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ）

機械知能　平田裕一

2010年度精密工学会春季大会講演論文集 

可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化（第2報）（押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発）

機械知能　式守良寛

2010年度精密工学会春季大会講演会 

非点収差法を用いたマイクロタッチプローブ球精密変位検出法（プローブ球変位時のスポット形状解析と基礎実験）

2011年度精密工学会春季大会講演論文集 

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）

2011年度精密工学会春季大会講演論文集 

両端角度測定を併用した3点法による走査形状測定

機械知能　秋好崇宏

2009年度精密工学会秋季大会講演論文集 

姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ（第1報　構想の装置の試作）

機械知能工学専攻

2009年度精密工学会春季大会講演論文集 

非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ（光学系設計とシミュレーションによる感度解析）

日本機械学会九州支部第62期講演会 

浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ支持リニアスライダ

本人

2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 

スクイーズ膜支持によるリニアモータの基礎特性

室本国人

九州学生会・第39回学生会卒業研究発表講演会 

可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高性能化（第1報）-特性補正の基礎実験-

諸冨啓

2008年度精密工学会春季大会講演論文集 

連係微動による位置決めステージの開発

本人

2007年度精密工学会秋季大会講演論文集 

拡張レーザーオートコリメーション法による形状測定装置の開発（自律校正法の検討）

機械知能工学科　林修

2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り（第2報）（システムの改良による高速化）

機械知能工学科　鎌田紘介

第60回日本機械学会九州支部総会講演会 

連係微動による高精度位置決め（反復連係微動）

本人

2005年度精密工学会秋季大会講演論文集 

予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り

藤本泰徳

2005年度精密工学会春季大会講演論文集 

すべりねじ駆動におけるテーブルの送り挙動

野田貴三

精密工学会春季大会講演論文集 

マイクロ切削加工に関する基礎研究

2005年度精密工学会春季大会 

ボールねじの予圧制御による粗微動送り方式の微動特性

木山浩

2004年度精密工学会春季大会講演論文集 

送りねじの予圧制御による超精密位置決め

木山浩

2003年度精密工学会秋季大会講演論文集 

マイクロ切削加工の研究

山下洋司

2003年度精密工学会九州支部大会講演論文集 

微動テーブルとナノメータ送りヘッドによるマイクロ加工

本人

日本機械学会九州支部講演会講演論文集 

変位の長ストロークと高分解能を両立する微動機構

本人

2002年度精密工学会春季大会講演論文集 

変位拡大による長ストロークと変位縮小による高分解能を有する一体微動機構の検討

本人

2000年度精密工学会春季大会講演論文集 

粗微動一体形超精密送り装置の開発

研究課題番号：08555038  1996年04月 - 1998年03月   基盤研究(B)

2021年度   機械工学実験Ⅰ

2020年度   機械工学実験Ⅰ

2020年度   機械工学実験Ⅰ

2020年度   機械工学実験Ⅰ

2019年度   機械工学実験Ⅰ

2019年度   機械工学実験Ⅰ

2019年度   機械工学実験Ⅰ

2018年度   機械工学実験Ⅱ

2018年度   機械工学実験Ⅱ

2017年度   機械工学実験Ⅱ

2017年度   機械工学実験Ⅱ

2016年度   機械工学実験Ⅱ

2016年度   機械工学実験Ⅱ

2015年度   機械工学実験Ⅱ

2015年度   機械工学実験Ⅱ

2014年度   機械工学実験Ⅱ

2014年度   機械工学実験Ⅱ

2013年度   機械工学実験Ⅰ

2013年度   機械工学実験Ⅰ

2012年度   機械工学実験Ⅰ

2012年度   機械工学実験Ⅰ

2011年度   機械工学実験Ⅰ

2011年度   機械工学実験Ⅰ