2024/05/17 更新

タマル ユウマ
田丸 雄摩
TAMARU Yuuma
Scopus 論文情報  
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Citation Countは当該年に発表した論文の被引用数

所属
大学院工学研究院 機械知能工学研究系
職名
助教
外部リンク

研究キーワード

  • 位置決め制御

  • 精密位置決め

研究分野

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 加工学、生産工学

出身学校

  • 1994年03月   九州工業大学   工学部   設計生産工学   卒業   日本国

出身大学院

  • 1996年03月   九州工業大学   工学研究科   設計生産工学   修士課程・博士前期課程   修了   日本国

取得学位

  • 九州工業大学  -  修士(工学)   1996年03月

学内職務経歴

  • 2008年04月 - 現在   九州工業大学   大学院工学研究院   機械知能工学研究系     助教

所属学会・委員会

  • 1996年04月 - 現在   日本機械学会   日本国

  • 1996年04月 - 現在   精密工学会   日本国

研究経歴

  • 可撓支持による磁力を利用した摺動摩擦フリー位置決め

    磁力制御,位置決め,可撓支持

    研究期間: 2016年04月  -  現在

  • スクイーズ効果による浮上支持を利用した位置決め

    スクイーズ効果,位置決め,非接触支持

    研究期間: 2014年04月  -  現在

  • スクイーズ膜支持効果に関する基礎研究

    スクイーズ効果

    研究期間: 2007年04月  -  現在

  • 微小変位機構に関する研究

    未設定

    研究期間: 2005年04月  -  現在

  • 送りねじによる間座予圧変化を利用した位置決め

    位置決め

    研究期間: 1996年04月  -  現在

論文

  • Evaluation of Fine Feed Table Positioning for Non-contact Support Based on the Squeezed-air Effect 査読有り 国際誌

    Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu

    Proceedings of The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology   034   2024年05月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    China   Hong Kong   2023年11月21日  -  2023年11月24日

  • Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces 招待有り 査読有り 国際誌

    Yuuma Tamaru, Kensuke Kawata, and Hiroki Shimizu

    International Journal of Automation Technology ( 富士技術出版 )   16 ( 5 )   588 - 597   2022年09月

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.20965/ijat.2022.p0588

    DOI: 10.20965/ijat.2022.p0588

    その他リンク: https://www.fujipress.jp/ijat/au_ja/

  • Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect 査読有り 国際誌

    Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA,Hiroki SHIMIZU

    Proceedings of The 19th International Conference on Precision Engineering   C269   2022年11月

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    担当区分:筆頭著者, 最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces 招待有り 査読有り 国際誌

    Hiroki Shimizu, Koichi Tamiya, Shoichiro Mizukami, and Yuuma Tamaru

    International Journal of Automation Technology ( 富士技術出版 )   16 ( 5 )   582 - 587   2022年09月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.20965/ijat.2022.p0582

    DOI: 10.20965/ijat.2022.p0582

    その他リンク: https://www.fujipress.jp/ijat/au_ja/

  • Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces 査読有り 国際誌

    Yuma TAMARU,Kensuke KAWATA,Hiroki SHIMIZU

    Proceedings of The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century ( The Japan Society of Mechanical Engineers )   640 - 645   2021年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • A MEMS device for straightness measurement integrating 10 cantilever displacement sensors 査読有り 国際誌

    Hiroki SHIMIZU,Koichi TAMIYA,Shoichiro MIZUKAMI,Yuma TAMARU

    Proceedings of The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century ( The Japan Society of Mechanical Engineers )   409 - 411   2021年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • ボールねじを使用した位置決めと補正技術 招待有り

    田丸雄摩

    月刊トライボロジー ( 株式会社新樹社 )   34 ( 2 )   15 - 17   2020年02月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:日本語   掲載種別:記事・総説・解説・論説等(商業誌、新聞、ウェブメディア)

  • Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect 査読有り 国際誌

    Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu

    Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology   E26   2019年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials 査読有り 国際誌

    K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu

    Proceedings of 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology   C13   2019年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • 浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ効果支持リニアスライダ 査読有り

    田丸雄摩,清水浩貴

    日本機械学会論文集   83 ( 854 )   2017年09月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.1299/transjsme.17-00278

    Kyutacar

    その他リンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/transjsme/83/854/83_17-00278/_article/-char/ja/

  • ボールねじ式送りテーブルの位置・角度補正 査読有り

    田丸 雄摩, 清水 浩貴, 加茂田 浩史

    日本機械学会論文集   80 ( 816 )   DR0240   2014年08月

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    担当区分:責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.1299/transjsme.2014dr0240

    Kyutacar

    CiNii Article

    その他リンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/transjsme/80/816/80_2014dr0240/_article/-char/ja/

  • Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors 査読有り

    Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru

    Proceedings of the 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   D08   2019年09月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error 査読有り

    Hiroki Shimizu,Ryousuke Yamashita, Takuya Hashiguchi,Tasuku Miyata,Yuuma Tamaru

    International Journal of Automation Technology   12 ( 5 )   1 - 7   2018年08月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

  • Redesign of cantilever displacement sensor to improve sensitivity and channel separation 査読有り

    Hiroki Shimizu, Souichiro Komatsu, Yuuma Tamaru

    Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century   1 - 3   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors 査読有り

    Hiroki Shimizu, Takahiro Akiyoshi, Shinya Yanagihara, Yuuma Tamaru, Akiyoshi Baba

    Proceedings of 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   1 - 5   2015年09月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

  • Property Evaluation of Eccentric Astigmatic Method to Apply Micro Tactile Probe 査読有り

    Hiroki Shimizu,Atsuo Ogawa,Yoshinori Sasaki and Yuuma Tamaru

    Int. J. of Automation Technology   9 ( 5 )   551 - 557   2015年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

  • Displacment Detection of Small Sphere using Eccentric Astigmatic Method 査読有り

    Hiroki Shimizu, Atsuo Ogawa, Yoshinori Sasaki, Yuuma Tamaru

    Proceedings of 11th IMEKO Symposium LMPMI2014 (Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry)   1 - 4   2014年09月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    JAPAN   TSUKUBA   2014年09月02日  -  2014年09月05日

  • Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators 招待有り 査読有り

    Hiroki Shimizu, Keitaro Tanaka and Yuuma Tamaru

    Key Engineering Materials   613   200 - 203   2014年07月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/KEM.913.200

  • Development of a Compact Deformable Mirror using Push-Pull Actuators 査読有り

    Hiroki Shimizu,Keitaro Tanaka,Yuuma Tamaru

    The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments   287 - 288   2013年07月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    ドイツ   アーヘン   2013年07月01日  -  2013年07月05日

    DOI: 10.4028/www.scientific.net/KEM.613.200

    Scopus

  • 長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動(連続ステップ位置決めへの適用) 査読有り

    田丸雄摩,高藤和樹

    日本機械学会論文集(C編)   77 ( 777 )   2139 - 2145   2011年05月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    主要雑誌 代表的研究業績

    Kyutacar

  • 長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動 査読有り

    田丸雄摩,高藤和樹,清水浩貴

    日本機械学会論文集(C編)   74 ( 745 )   2294 - 2299   2008年09月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    主要雑誌 代表的研究業績

    Kyutacar

  • Ultra Fine Positioning by Preload Change in Ball Screw Drive 査読有り

    Katuhiro NAKASHIMA,Kazuki TAKAFUJI,Yuuma TAMARU

    Proceedings of the 1st International Conference on Positioning Technology   pp.31 - 36   2004年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    2004年04月  -  2004年04月

    主要論文集(会議)

  • Feeding Behavier of Screw Drive Table (Comparison of Sliding Screw Drive and Ball Screw Drive) 査読有り

    Katuhiro NAKASHIMA,Yuuma TAMARU,Kazuki TAKAFUJI

    International Conference on Positioning Technology   34 - 39   2002年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

    Korea   2002年04月  -  2002年04月

    主要論文集(会議)

  • Ultraprecision Positioning by Preload Change of Lead Screws (Characteristics of Fine Feed) 査読有り

    Katuhiro NAKASHIMA,Yuuma TAMARU,Kazuki TAKAFUJI

    JSME International Journal,Series C   Vol.44   No3pp808 - 815   2001年04月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    主要雑誌

  • 送りねじの予圧変化による超精密位置決め(微小送り特性) 査読有り

    中島克洋,田丸雄摩,高藤和樹

    日本機械学会論文集(C編)   65 ( 640 )   4903 - 4908   1999年04月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    主要雑誌

  • 送りねじの予圧変化による微小送り(超精密位置決めへの応用) 査読有り

    中島克洋,高藤和樹,田丸雄摩

    日本機械学会論文集(C編)   64 ( 621 )   353 - 359   1998年04月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)

    主要雑誌

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口頭発表・ポスター発表等

  • 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル(第2報)−出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定−

    田丸雄摩,床嶋功明,清水浩貴

    2024年度精密工学会春季大会  2024年03月  精密工学会

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    開催期間: 2024年03月12日 - 2024年03月14日   記述言語:日本語   開催地:東京   国名:日本国  

  • 3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定:第2報−形状測定用デバイスの設計−

    野田樹生,中原洸太朗,田丸雄摩,清水浩貴

    2024年度精密工学会春季大会  2024年03月  精密工学会

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    開催期間: 2024年03月12日 - 2024年03月14日   記述言語:日本語   開催地:東京   国名:日本国  

  • Evaluation of Fine Feed Table Positioning for Non-contact Support Based on the Squeezed-air Effect

    Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu

    The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology  2023年11月  Hong Kong Society for Precision Engineering

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    開催期間: 2023年11月21日 - 2023年11月24日   記述言語:英語   開催地:Hong Kong   国名:中華人民共和国  

    その他リンク: https://www.polyu.edu.hk/sklumt/ASPEN2023/conference-program/e-proceedings/

  • 永久磁石相互の吸引力を用いた可撓支持微動テーブル(第1報)ー磁気吸引力校正と変位予測ー

    床嶋功明,田丸雄摩,清水浩貴

    2023年度精密工学会秋季大会 

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    開催期間: 2023年09月13日 - 2023年09月15日   記述言語:日本語  

  • 3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定−測定データ接続法の比較−

    時實拓紀,野田樹生,田丸雄摩,清水浩貴

    2023年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2023年03月14日 - 2023年03月16日   記述言語:日本語  

  • 多点同時計測可能なカンチレバー式変位計デバイス−機械学習による校正−

    加倉誠勝,小濱大輝,田丸雄摩,清水浩貴

    2023年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2023年03月14日 - 2023年03月16日   記述言語:日本語  

  • 永久磁石相互の磁気吸引力を用いた可撓支持微動テーブルの性能推定

    床嶋功明,田丸雄摩,清水浩貴

    日本機械学会第54回卒業研究発表会 

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    開催期間: 2023年03月03日   記述言語:日本語  

  • Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect

    Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA,Hiroki SHIMIZU

    The 19th International Conference on Precision Engineering  2022年12月  The Japan Society for Precision Engineering

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    開催期間: 2022年11月28日 - 2022年12月02日   記述言語:英語   開催地:Nara   国名:日本国  

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第6報) - 小ステップ変位微動特性 -

    田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴

    2022年度精密工学会秋季大会 

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    開催期間: 2022年09月07日 - 2022年09月09日   記述言語:日本語  

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第5報)—長ストローク微動特性—

    田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴

    2022年度精密工学会春季大会 

     詳細を見る

    開催期間: 2022年03月15日 - 2022年03月17日   記述言語:日本語  

  • Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces

    Yuma TAMARU, Kensuke KAWATA ,Hiroki SHIMIZU

    The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century  The Japan Society of Mechanical Engineers

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    開催期間: 2021年11月14日 - 2021年11月18日   記述言語:英語  

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第4報) - テーブル揺動特性の評価 -

    田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴

    2021年度精密工学会秋季大会 

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    開催期間: 2021年09月21日 - 2021年09月27日   記述言語:日本語  

  • MEMS技術を応用した多点法走査型測定用センサデバイスの開発(第9報)-10点同時測定MEMSデバイスの試作と評価-

    田宮弘一,田丸雄摩,清水浩貴

    2021年度精密工学会春季大会 

     詳細を見る

    開催期間: 2021年03月16日 - 2021年03月22日   記述言語:日本語  

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第3報) - 平行度調整による支持性能向上の検討 -

    田丸雄摩,東福修太朗,清水浩貴

    2021年度精密工学会春季大会 

     詳細を見る

    開催期間: 2021年03月16日 - 2021年03月22日   記述言語:日本語  

  • 磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発(第3報)—2軸駆動装置におけるジグザグ送り—

    田丸雄摩,河田謙介,清水浩貴

    2020年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2020年03月17日 - 2020年03月19日   記述言語:日本語  

  • Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect

    Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu

    8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology 

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    開催期間: 2019年11月12日 - 2019年11月15日   記述言語:英語  

  • 磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発(第2報)—2軸駆動装置の開発と性能評価—

    田丸雄摩

    2019年度精密工学会秋季大会 

     詳細を見る

    開催期間: 2019年09月04日 - 2019年09月06日   記述言語:日本語   開催地:浜松  

  • 磁気吸引力を利用した 1 軸可撓支持微動テーブルの性能

    田丸雄摩

    Dynamic and Design conference 2019 

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    開催期間: 2019年08月27日 - 2019年08月30日   記述言語:日本語   開催地:福岡  

  • MEMS技術を利用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第8報)ー10点同時測定による誤差累積の影響低減ー

    水上翔一朗

    2019年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2019年03月15日   記述言語:日本語  

  • 逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定

    宮田佑

    2019年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2019年03月15日   記述言語:日本語  

  • 磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発

    田丸雄摩

    2019年度精密工学会春季大会 

     詳細を見る

    開催期間: 2019年03月13日   記述言語:日本語  

  • 磁気吸引力を利用した2軸可撓支持微動テーブルの開発

    河田謙介

    日本機械学会第50回卒業研究発表会 

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    開催期間: 2019年03月01日   記述言語:日本語  

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第2報) -180°位相差加振支持による微動テーブルの制振評価-

    田丸雄摩

    2018年度精密工学会秋季大会 

     詳細を見る

    開催期間: 2018年09月05日 - 2018年09月07日   記述言語:日本語   開催地:函館市  

  • 磁力制御による可撓支持微動テーブルの開発

    宅野元気

    日本機械学会第49回卒業研究発表講演会 

     詳細を見る

    開催期間: 2018年03月02日   記述言語:日本語  

  • 静圧力制御によるスクイーズ効果支持 微動テーブルの性能評価

    曲淵公紀

    日本機械学会第49回卒業研究発表講演会 

     詳細を見る

    開催期間: 2018年03月02日   記述言語:日本語  

  • 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

    田丸雄摩

    2017年度精密工学会秋季大会学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2017年09月20日   記述言語:日本語   開催地:大阪大学  

  • 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定 ( 第4報 ) ―ノイズレベル及びセンサ間感度差の影響の検討―

    橋口拓也

    2017年度精密工学会春季大会学術講演会 

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    開催期間: 2017年03月13日 - 2017年03月15日   記述言語:日本語  

  • MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイス の開発(第7報) ‐ 矩形梁採用による感度向上とその構造解析 ‐

    本永聡一朗

    2017年度精密工学会春季大会学術講演会  

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    開催期間: 2017年03月13日 - 2017年03月15日   記述言語:日本語   開催地:慶應義塾大学  

  • 磁力制御を利用した非接触支持微動テーブルの開発

    椎葉穂高

    2017年度日本機械学会九州学生会講演会 

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    開催期間: 2017年03月03日   記述言語:中国語  

  • 静圧力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

    松本哲也

    2017年度日本機械学会九州学生会講演会 

     詳細を見る

    開催期間: 2017年03月03日   記述言語:中国語  

  • 真直形状測定用3点法マルチカンチレバー変位計の高感度化モデルの検討

    荒牧健太郎

    日本機械学会2016年度年次大会 

     詳細を見る

    開催期間: 2016年09月13日   記述言語:日本語  

  • 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定(第3報)-平面測定のためのゼロ点調整誤差除去法の提案-

    山下亮祐

    2016年度精密工学会春季大会学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2016年03月16日   記述言語:日本語   開催地:東京理科大学  

  • 2点法真直度測定結果の接続による平面形状測定

    石橋和也

    日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会  日本機械学会

     詳細を見る

    開催期間: 2016年03月04日   記述言語:日本語  

  • MEMSデバイス評価装置の機能向上と機械特性評価

    諌山聡一朗

    日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2016年03月04日   記述言語:日本語  

  • 大面積ホログラフィック光学素子製作装置の設計と開発

    上沼一也

    日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2016年03月04日   記述言語:日本語  

  • スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振(第2報)-浮上と制振相互間の加振位相ずれと制振性能の関係-

    田丸雄摩

    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2015年09月04日   記述言語:日本語  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第7報)-デバイス探針の摩耗評価装置の製作-

    清水浩貴

    2015年度精密工学会秋季大会学術講演会  精密工学会

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    開催期間: 2015年09月04日   記述言語:日本語  

  • スクイーズ効果で浮上支持された物体の制振性能向上

    中村俊紀

    日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2015年03月03日   記述言語:日本語  

  • 大面積ホログラフィック光学素子製作装置の開発

    古谷龍太郎

    日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2015年03月03日   記述言語:日本語  

  • MEMS変位計デバイス摩耗試験装置の開発

    松本航

    日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2015年03月03日   記述言語:日本語  

  • 走査形状測定用三点法マルチカンチレバー変位計の高精度化-相互干渉に起因する誤差の低減-

    小松総一朗

    日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2015年03月03日   記述言語:日本語  

  • スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振(完全非接触支持による制振特性検証の精度向上)

    松本勇毅

    2014年度精密工学会春季大会学術講演会 

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    開催期間: 2014年03月18日   記述言語:日本語  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第4報:表面荒れを抑えた探針製作法)

    殘華智仁

    2014年度精密工学会春季大会学術講演会 

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    開催期間: 2014年03月18日   記述言語:日本語  

  • 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定(第一報:測定原理の検討と基礎的検証)

    藤田豊栄

    2014年度精密工学会春季大会学術講演会 

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    開催期間: 2014年03月18日   記述言語:日本語  

  • 平面測定用マルチカンチレバー変位計デバイスの試作

    崎田 浩輔

    日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2014年03月04日   記述言語:日本語   開催地:九州大学伊都キャンパス  

  • スクイーズ効果による物体の水平保持力特性

    高原大二郎

    日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2014年03月04日   記述言語:日本語   開催地:九州大学伊都キャンパス  

  • レーザ光の振れの影響を軽減した高安定性角度センサ

    溝口 省吾

    日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2014年03月04日   記述言語:日本語   開催地:九州大学伊都キャンパス  

  • 三点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置の試作

    山下 亮祐

    日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2014年03月04日   記述言語:日本語   開催地:九州大学伊都キャンパス  

  • ホログラフィック光学素子製作装置の開発

    松隈 智寛

    日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2014年03月04日   記述言語:日本語   開催地:九州大学伊都キャンパス  

  • 走査形状測定用3点法マルチカンチレバー変位計の試作

    高畑 翔太

    日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会  日本機械学会

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    開催期間: 2014年03月04日   記述言語:日本語   開催地:九州大学伊都キャンパス  

  • 推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ(圧電素子の急速変形による慣性力を利用した推進)

    森田賢史,田丸雄摩,清水浩貴

    日本機械学会九州学生会 

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    開催期間: 2013年03月06日   記述言語:日本語  

  • 3 点法真直形状測定に用いるマルチカンチレ バー変位計の試作

    久保智裕,清水浩貴,田丸雄摩

    日本機械学会九州学生会 

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    開催期間: 2013年03月06日   記述言語:日本語  

  • AFMの原理に基づく機械加工面形状計測装置に関する基礎的研究

    荒木健太,清水浩貴,田丸雄摩

    日本機械学会九州学生会 

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    開催期間: 2013年03月06日   記述言語:日本語  

  • スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振

    松本勇毅,田丸雄摩,清水浩貴

    精密工学会秋季大会 

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    開催期間: 2012年09月14日   記述言語:日本語  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 (ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合)

    水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩

    精密工学会秋季大会 

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    開催期間: 2012年09月14日   記述言語:日本語  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作))

    柳原慎也

    2012年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2012年03月   記述言語:日本語  

  • 拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発(第3報)(試料ステージの姿勢誤差補正と安定性の向上)

    塩見真弘

    2012年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2012年03月   記述言語:日本語  

  • 弾性ヒンジを用いた多自由度の位置・姿勢誤差補正機構

    野上貴巨

    日本機械学会九州学生会 

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    開催期間: 2011年03月11日   記述言語:日本語  

  • 小型可変形鏡のためのPUSH-PULLアクチュエータユニットの開発

    今井康弘

    日本機械学会九州学生会 

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    開催期間: 2011年03月11日   記述言語:日本語  

  • 両端角度補正付き3点法を用いた走査型平面度測定法

    岩本裕輝

    日本機械学会九州学生会 

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    開催期間: 2011年03月11日   記述言語:日本語  

  • 2. MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計)

    秋好崇宏

    2011年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2011年03月   記述言語:日本語  

  • 推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ(案内の傾斜角調整による推進)

    本人

    2010年度精密工学会九州支部熊本地方講演会論文集 

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    開催期間: 2010年12月11日   記述言語:日本語   開催地: 熊本  

  • 拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発(第2報)(曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ)

    機械知能 平田裕一

    2010年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2010年03月16日   記述言語:日本語   開催地: さいたま  

  • 可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化(第2報)(押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発)

    機械知能 式守良寛

    2010年度精密工学会春季大会講演会 

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    開催期間: 2010年03月16日   記述言語:日本語   開催地: さいたま  

  • 非点収差法を用いたマイクロタッチプローブ球精密変位検出法(プローブ球変位時のスポット形状解析と基礎実験)

    2011年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2010年03月14日   記述言語:日本語   開催地: 東京  

  • MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計)

    2011年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2010年03月13日   記述言語:日本語   開催地: 東京  

  • 両端角度測定を併用した3点法による走査形状測定

    機械知能 秋好崇宏

    2009年度精密工学会秋季大会講演論文集 

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    開催期間: 2009年09月11日   記述言語:日本語   開催地: 神戸  

  • 姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ(第1報 構想の装置の試作)

    機械知能工学専攻

    2009年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2009年03月   記述言語:日本語   開催地: 東京  

  • 非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ(光学系設計とシミュレーションによる感度解析)

    日本機械学会九州支部第62期講演会 

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    開催期間: 2009年03月   記述言語:日本語  

  • 浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ支持リニアスライダ

    本人

    2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 

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    開催期間: 2008年09月16日 - 2008年09月18日   記述言語:日本語   開催地: 仙台  

  • スクイーズ膜支持によるリニアモータの基礎特性

    室本国人

    九州学生会・第39回学生会卒業研究発表講演会 

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    開催期間: 2008年03月18日   記述言語:日本語   開催地: 福岡  

  • 可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高性能化(第1報)-特性補正の基礎実験-

    諸冨啓

    2008年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2008年03月17日 - 2008年03月19日   記述言語:日本語   開催地: 川崎  

  • 連係微動による位置決めステージの開発

    本人

    2007年度精密工学会秋季大会講演論文集 

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    開催期間: 2007年09月12日 - 2007年09月15日   記述言語:日本語   開催地: 旭川  

  • 拡張レーザーオートコリメーション法による形状測定装置の開発(自律校正法の検討)

    機械知能工学科 林修

    2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 

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    開催期間: 2007年04月   記述言語:日本語  

  • 予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り(第2報)(システムの改良による高速化)

    機械知能工学科 鎌田紘介

    第60回日本機械学会九州支部総会講演会 

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    開催期間: 2006年04月   記述言語:日本語  

  • 連係微動による高精度位置決め(反復連係微動)

    本人

    2005年度精密工学会秋季大会講演論文集 

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    開催期間: 2005年04月   記述言語:日本語  

  • 予圧制御による微動動作を付加したボールねじの精密連続送り

    藤本泰徳

    2005年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2005年03月   記述言語:日本語  

  • すべりねじ駆動におけるテーブルの送り挙動

    野田貴三

    精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2005年03月   記述言語:日本語  

  • マイクロ切削加工に関する基礎研究

    2005年度精密工学会春季大会 

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    開催期間: 2005年03月   記述言語:日本語  

  • ボールねじの予圧制御による粗微動送り方式の微動特性

    木山浩

    2004年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2004年03月   記述言語:日本語  

  • 送りねじの予圧制御による超精密位置決め

    木山浩

    2003年度精密工学会秋季大会講演論文集 

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    開催期間: 2003年09月   記述言語:日本語  

  • マイクロ切削加工の研究

    山下洋司

    2003年度精密工学会九州支部大会講演論文集 

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    開催期間: 2003年04月   記述言語:日本語  

  • 微動テーブルとナノメータ送りヘッドによるマイクロ加工

    本人

    日本機械学会九州支部講演会講演論文集 

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    開催期間: 2002年04月   記述言語:日本語  

  • 変位の長ストロークと高分解能を両立する微動機構

    本人

    2002年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2002年03月   記述言語:日本語  

  • 変位拡大による長ストロークと変位縮小による高分解能を有する一体微動機構の検討

    本人

    2000年度精密工学会春季大会講演論文集 

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    開催期間: 2000年03月   記述言語:日本語  

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報道関係

  • 位置決め技術の高精度化に対する現状と課題

    田丸雄摩

    日刊工業新聞社  2018年10月31日

学術関係受賞

  • Best Paper Award

    Hong Kong Society for Precision Engineering   Evaluation of Fine Feed Table Positioning for Non-contact Support Based on the Squeezed-air Effect   2023年11月24日

    Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu

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    受賞国:中華人民共和国

  • 工作機械技術振興賞(奨励賞)

    工作機械技術振興財団   2014年06月23日

    崎田浩輔,清水浩貴,田丸雄摩

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    受賞国:日本国

科研費獲得実績

  • 磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発

    研究課題番号:22K03863  2022年04月 - 2025年03月   基盤研究(C)

  • テーブルの浮上支持と精密位置決めをスクイーズ効果で可能にする微動機構の開発

    研究課題番号:19K04106  2019年04月 - 2023年03月   基盤研究(C)

  • 機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発

    研究課題番号:17K06082  2017年04月 - 2020年03月   基盤研究(C)

  • 機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発

    研究課題番号:25420057  2013年04月 - 2016年03月   基盤研究(C)

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    本研究は高精度の真直度測定を行う目的で開始した研究である.真直度測定の1つに三点法があるが高精度・高分解能をもつ変位計の製作には三点の測定間隔を精度よく等間隔に配置することが必須である.一般的な機械製作では等間隔を高精度に加工することが困難でありコスト高にもつながる.本研究課題は半導体製造技術を応用したMEMSを利用して複数点の測定点をもつ変位計測デバイスを一体成型で製作するものである.物理的な加工を伴わず一体成型できるため高精度配置が期待できる.申請者は製作でのエッチング手法の改善提案や表面保護に関する研究支援を主に行なっている.

  • PZTを利用した超微小変位機構の開発

    研究課題番号:10750109  1998年04月 - 2000年03月   奨励研究(A)

  • 粗微動一体形超精密送り装置の開発

    研究課題番号:08555038  1996年04月 - 1998年03月   基盤研究(B)

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その他競争的資金獲得実績

  • 磁力制御と自重で高精度位置決めを可能にする磁気浮上式微動テーブルの開発

    2017年04月 - 2019年03月

    公益財団法人JKA機械振興補助事業  

担当授業科目(学内)

  • 2023年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2023年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2023年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2022年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2022年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2022年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2021年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2021年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2021年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2020年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2020年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2020年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2019年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2019年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2019年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2018年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2018年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2017年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2017年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2016年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2016年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2015年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2015年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2014年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2014年度   機械工学実験Ⅱ

  • 2013年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2013年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2012年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2012年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2011年度   機械工学実験Ⅰ

  • 2011年度   機械工学実験Ⅰ

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