口頭発表・ポスター発表等 - 田丸 雄摩
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永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル(第4報)- 1軸テーブルの出力変位と軸間干渉の評価 -
田丸雄摩,床嶋功明,清水浩貴
2025年度精密工学会春季大会 2025年03月 精密工学会
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Floating support properties of fine feed table for non-contact support with squeezed-air effect
Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu
The 20th International Conference on Precision Engineering
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Design of a device for surface profile measurement integrating 3x3 displacement sensors
Kotaro Nakahara, Tatsuki Noda, Naoya Shirozu, Yuuma Tamaru and Hiroki Shimizu
The 20th International Conference on Precision Engineering
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永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル(第3報)−1軸テーブルの微動変位特性−
田丸雄摩,床嶋功明,清水浩貴
2024年度精密工学会秋季大会 2024年09月 精密工学会
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永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル(第2報)−出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定−
田丸雄摩,床嶋功明,清水浩貴
2024年度精密工学会春季大会 2024年03月 精密工学会
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3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定:第2報−形状測定用デバイスの設計−
野田樹生,中原洸太朗,田丸雄摩,清水浩貴
2024年度精密工学会春季大会 2024年03月 精密工学会
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Evaluation of Fine Feed Table Positioning for Non-contact Support Based on the Squeezed-air Effect
Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu
The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology 2023年11月 Hong Kong Society for Precision Engineering
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永久磁石相互の吸引力を用いた可撓支持微動テーブル(第1報)ー磁気吸引力校正と変位予測ー
床嶋功明,田丸雄摩,清水浩貴
2023年度精密工学会秋季大会
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3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定−測定データ接続法の比較−
時實拓紀,野田樹生,田丸雄摩,清水浩貴
2023年度精密工学会春季大会
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多点同時計測可能なカンチレバー式変位計デバイス−機械学習による校正−
加倉誠勝,小濱大輝,田丸雄摩,清水浩貴
2023年度精密工学会春季大会
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永久磁石相互の磁気吸引力を用いた可撓支持微動テーブルの性能推定
床嶋功明,田丸雄摩,清水浩貴
日本機械学会第54回卒業研究発表会
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Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect
Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA,Hiroki SHIMIZU
The 19th International Conference on Precision Engineering 2022年12月 The Japan Society for Precision Engineering
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浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第6報) - 小ステップ変位微動特性 -
田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴
2022年度精密工学会秋季大会
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浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第5報)—長ストローク微動特性—
田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴
2022年度精密工学会春季大会
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Consideration of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces
Yuma TAMARU, Kensuke KAWATA ,Hiroki SHIMIZU
The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century The Japan Society of Mechanical Engineers
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浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第4報) - テーブル揺動特性の評価 -
田丸 雄摩,牛島 智大,清水 浩貴
2021年度精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査型測定用センサデバイスの開発(第9報)-10点同時測定MEMSデバイスの試作と評価-
田宮弘一,田丸雄摩,清水浩貴
2021年度精密工学会春季大会
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浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発(第3報) - 平行度調整による支持性能向上の検討 -
田丸雄摩,東福修太朗,清水浩貴
2021年度精密工学会春季大会
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磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発(第3報)—2軸駆動装置におけるジグザグ送り—
田丸雄摩,河田謙介,清水浩貴
2020年度精密工学会春季大会
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Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect
Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu
8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology