口頭発表・ポスター発表等 - 田丸 雄摩
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発(第7報)-デバイス探針の摩耗評価装置の製作-
清水浩貴
2015年度精密工学会秋季大会学術講演会 精密工学会
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スクイーズ効果で浮上支持された物体の制振性能向上
中村俊紀
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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大面積ホログラフィック光学素子製作装置の開発
古谷龍太郎
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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MEMS変位計デバイス摩耗試験装置の開発
松本航
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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走査形状測定用三点法マルチカンチレバー変位計の高精度化-相互干渉に起因する誤差の低減-
小松総一朗
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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スクイーズ効果によって浮上支持された物体のアクティブ制振(完全非接触支持による制振特性検証の精度向上)
松本勇毅
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第4報:表面荒れを抑えた探針製作法)
殘華智仁
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定(第一報:測定原理の検討と基礎的検証)
藤田豊栄
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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平面測定用マルチカンチレバー変位計デバイスの試作
崎田 浩輔
日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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スクイーズ効果による物体の水平保持力特性
高原大二郎
日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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レーザ光の振れの影響を軽減した高安定性角度センサ
溝口 省吾
日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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三点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置の試作
山下 亮祐
日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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ホログラフィック光学素子製作装置の開発
松隈 智寛
日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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走査形状測定用3点法マルチカンチレバー変位計の試作
高畑 翔太
日本機械学会九州学生会第45 回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ(圧電素子の急速変形による慣性力を利用した推進)
森田賢史,田丸雄摩,清水浩貴
日本機械学会九州学生会
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3 点法真直形状測定に用いるマルチカンチレ バー変位計の試作
久保智裕,清水浩貴,田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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AFMの原理に基づく機械加工面形状計測装置に関する基礎的研究
荒木健太,清水浩貴,田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振
松本勇毅,田丸雄摩,清水浩貴
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 (ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合)
水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作))
柳原慎也
2012年度精密工学会春季大会