Conference Prsentations (Oral, Poster) -
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海水中におけるIS-FETイオンセンサのヒステリシス特性の原因調査と抑制方法
大西 浩輝、Sethavut Duangchan、野口 科端稀, 佐々木 翼
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
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スパッタエッチングによる表面平坦化の活性化接合への応用
永田 将大,白浜 亮弥,ドゥアンチャン セタヴット,馬場 昭好
第9回集積化MEMSシンポジウム
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液中半導体センサーパッシベーション膜の厚膜化による配線腐食低減
馬場 祐輔,種吉 郁文,山口 隆貴,二宮 尚輝,馬場 昭好
第9回集積化MEMSシンポジウム
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スパッタエッチングにより極薄化したSiO2接合層を持つSOD基板の作製
永田 将大,白浜 亮弥,Duangchan Sethavut,馬場 昭好
第78回応用物理学会秋季学術講演会
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海水中における電気化学反応の抑制のためのパッシベーション膜の検討
馬場 祐輔,種吉 郁文,馬場 昭好
第78回応用物理学会秋季学術講演会
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表面活性化接合における接合面積拡大のためのイオン条件の検討
白浜 亮弥,Duangchan Sethavut,村山 智紀,濱田 爽志,馬場 昭好
第8回集積化MEMSシンポジウム
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生分解性マイクロニードルアレイの作製
情報システム専攻
2009年応用物理学会九州支部学術講演会
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深溝構造を持つ結晶シリコン太陽電池の作製
情報システム専攻
2009年応用物理学会九州支部学術講演会
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静電アクチュエーターを有する静電インクジェットノズルの作製
情報システム専攻
2009年応用物理学会九州支部学術講演会
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高耐圧素子における終端構造の作製
情報システム
第62回電気関係学会九州支部連合大会
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マイクロ片持ちはりの振動における構造-流体-静電界連成効果に関する研究
情報システム
機械学会九州支部第62期講演会
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深溝構造を持つシリコン太陽電池の提案
情報システム専攻・電子情報工学分野
平成21年電気学会全国大会
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可動針を有する静電インクジェットノズルの提案
情報システム
平成21年電気学会全国大会
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MEMS技術を応用したCMP用マイクロパターンパッドの研究(第2報)
情報システム専攻・機械情報工学分野
2009年度精密工学会春季大会学術講演会
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裏面深堀によるpn接合型シリコン近赤外線受光素子の高感度化
情報システム専攻・電子情報工学分野
第61回電気関係学会九州支部連合大会
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フェムトリットル液滴吐出可能な静電針型インクジェットノズルの一体形成
情報システム・電子情報工学分野
第61回電気関係学会九州支部連合大会
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MEMS技術を応用したCMP用マイクロパターンパッドの研究(第1報)-微小ピラミッド型パターンパッドの製作法-
情報システム専攻・機械情報工学分野
2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
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イオン照射薄膜直立現象を利用して作製したVTF(Vertical Thin Film)電子源の先鋭化法の検討
産総研吉田知也
第68回応用物理学会学術講演会
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インクジェット法を用いたカーボンナノチューブ電子源の作製
第54回応用物理学関係連合講演会
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イオン照射による薄膜の変形現象を利用して作製した電界放出型電子源
電子情報通信学会技術研究報告(電子デバイス研究会)