Conference Prsentations (Oral, Poster) -
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海水中におけるIS-FETイオンセンサのヒステリシス特性の原因調査と抑制方法
大西 浩輝、Sethavut Duangchan、野口 科端稀, 佐々木 翼
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
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スパッタエッチングによる表面平坦化の活性化接合への応用
永田 将大,白浜 亮弥,ドゥアンチャン セタヴット,馬場 昭好
第9回集積化MEMSシンポジウム
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液中半導体センサーパッシベーション膜の厚膜化による配線腐食低減
馬場 祐輔,種吉 郁文,山口 隆貴,二宮 尚輝,馬場 昭好
第9回集積化MEMSシンポジウム
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スパッタエッチングにより極薄化したSiO2接合層を持つSOD基板の作製
永田 将大,白浜 亮弥,Duangchan Sethavut,馬場 昭好
第78回応用物理学会秋季学術講演会
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海水中における電気化学反応の抑制のためのパッシベーション膜の検討
馬場 祐輔,種吉 郁文,馬場 昭好
第78回応用物理学会秋季学術講演会
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表面活性化接合における接合面積拡大のためのイオン条件の検討
白浜 亮弥,Duangchan Sethavut,村山 智紀,濱田 爽志,馬場 昭好
第8回集積化MEMSシンポジウム
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生分解性マイクロニードルアレイの作製
情報システム専攻
2009年応用物理学会九州支部学術講演会
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深溝構造を持つ結晶シリコン太陽電池の作製
情報システム専攻
2009年応用物理学会九州支部学術講演会
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静電アクチュエーターを有する静電インクジェットノズルの作製
情報システム専攻
2009年応用物理学会九州支部学術講演会
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高耐圧素子における終端構造の作製
情報システム
第62回電気関係学会九州支部連合大会
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マイクロ片持ちはりの振動における構造-流体-静電界連成効果に関する研究
情報システム
機械学会九州支部第62期講演会
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深溝構造を持つシリコン太陽電池の提案
情報システム専攻・電子情報工学分野
平成21年電気学会全国大会
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可動針を有する静電インクジェットノズルの提案
情報システム
平成21年電気学会全国大会
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MEMS技術を応用したCMP用マイクロパターンパッドの研究（第2報）
情報システム専攻・機械情報工学分野
2009年度精密工学会春季大会学術講演会
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裏面深堀によるpn接合型シリコン近赤外線受光素子の高感度化
情報システム専攻・電子情報工学分野
第61回電気関係学会九州支部連合大会
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フェムトリットル液滴吐出可能な静電針型インクジェットノズルの一体形成
情報システム・電子情報工学分野
第61回電気関係学会九州支部連合大会
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MEMS技術を応用したCMP用マイクロパターンパッドの研究（第1報）-微小ピラミッド型パターンパッドの製作法-
情報システム専攻・機械情報工学分野
2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
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イオン照射薄膜直立現象を利用して作製したVTF(Vertical Thin Film)電子源の先鋭化法の検討
産総研吉田知也
第68回応用物理学会学術講演会
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インクジェット法を用いたカーボンナノチューブ電子源の作製
第54回応用物理学関係連合講演会
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イオン照射による薄膜の変形現象を利用して作製した電界放出型電子源
電子情報通信学会技術研究報告（電子デバイス研究会）
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Niインプリント法による非晶質SiGe薄膜の固相成長促進
第53回応用物理学関係連合講演会
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電子源設計に関する統計的考察
第53回応用物理学関係連合講演会
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ゲート電極付き静電型インクジェットノズルによる液滴吐出
第53回応用物理学関係連合講演会
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イオン照射による薄膜の変形現象を利用して作製したゲート付き電子源の電子放出特性
第66回応用物理学会学術講演会
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シリコン針形エミッタアレイからの放出電子エネルギー測定とその計測計の検討
第66回応用物理学会学術講演会
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Niインプリント法による非晶質SiGe薄膜/絶縁体の種付け固相成長
第66回応用物理学会学術講演会
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インクジェット法により作製したゲート電極付きカーボンブラック電子源からの電子放出特性
本人
第66回応用物理学会学術講演会
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インクジェット法によるカーボンブラック含有インクのゲート穴への埋め込み
本人
第52回応用物理学関係連合講演会
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イオン照射による薄膜の変形現象を用いた微小電子源の作製
第52回応用物理学関係連合講演会
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方形波電圧による静電インクジェット描画
第52回応用物理学関係連合講演会
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静電インクジェットにおける液滴吐出検出
第52回応用物理学関係連合講演会
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FED応用を目指した静電吐出型インクジェット・ノズルの研究
マイクロ化総合技術センター 浅野種正
カーボンナノチューブ-FED プロジェクト公開シンポジウム・第3回真空ナノエレクトロニクスシンポジウム
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インクジェット法による高精度配列電子源アレイの作製
本人
電子情報通信学会技術研究報告会（電子デバイス研究会）
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静電型針状Siインクジェットヘッドによる描画
第65回応用物理学会学術講演会
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部分的表面自由エネルギー変化による吐出液滴の精細パターニングの可能性
本人
第65回応用物理学会学術講演会
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有機物ナノピラーを電子源とする三極素子の破壊機構の調査
第65回応用物理学会学術講演会
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インクジェット法による電界電子放出源の作製
本人
第51回応用物理学関係連合講演会
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陽極化成法で作製した針状Siインクジェットヘッドからの液滴静電吐出
第51回応用物理学関係連合講演会
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マイクロ波励起プラズマ酸化によるpoly-Si/酸化膜界面ラフネスの低減
第51回応用物理学関係連合講演会
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高周波低電圧パルス印加によるナノピラー電子源からの放出電流の増加
第51回応用物理学関係連合講演会
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低電圧パルス印加法による欠陥導入ポリイミドMIM型冷陰極のフォーミング
本人
第51回応用物理学関係連合講演会
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ウェッジ形Siエミッタアレイからの電界放出電子のエネルギー測定の検討
第51回応用物理学関係連合講演会
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インクジェット法で作製したカーボンブラックからの電界電子放出
本人
電子情報通信学会技術研究会電子デバイス研究会
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マイクロ波プラズマで成長したSi酸化膜のゲート酸化膜への適合性
第29回応用物理学会九州支部学術講演会
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有機材料より形成した炭素系針状突起群を持つ三極電子源のリーク電流の低減
第64回応用物理学会学術講演会
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一次元配置した針つきノズルからの静電誘引液体吐出
第64回応用物理学会学術講演会
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改質ポリイミドトンネル冷陰極からの放出電子エネルギー分布
本人
第64回応用物理学会学術講演会
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自己整合プロセスで作製した有機物針状突起群を電子源とする三極素子の作製
第50回応用物理学関係連合講演会
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欠陥導入ポリイミドトンネル冷陰極の電子放射特性
第50回応用物理学関係連合講演会
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Si表面に作製した一次元配置ノズルからの液体静電吐出
第50回応用物理学関係連合講演会
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RIEにより作製した有機物針状突起群を電子源とする三極素子の作製
電子情報通信学会 電子デバイス研究会
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イオンビーム改質したポリイミドをトンネル絶縁層とするMIM型電子源の作製
第63回応用物理学会学術講演会
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有機物ナノティップ電子源アレイの三極構造化
応用物理学関係連合講演会
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有機材料のスタンプ成形による高密度電子源ティップアレイの作製
電子情報通信学会技術研究会（電子デバイス研究会）
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金属微粒子混入フォトレジスト膜の電子放出特性の改善
応用物理学会学術講演会
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改質有機電子源チップの微細化による電子放出特性の改善
応用物理学会学術講演会
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酸素プラズマ処理した有機材料からの電界電子放出
応用物理学会学術講演会
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スタンプ法で作製した改質有機電子源の三極構造化
第48回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集
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絶縁体でバインドされた金属微粒子からの電界電子放出
第48回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集
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絶縁体でバインドされたパラジウム微粒子膜からの電界電子放出
電子情報通信学会技術研究報告（電子デバイス研究会）
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スタンプ法で作製した改質有機微小電子源の三極構造化
平成12年度応用物理学会九州支部講演会講演予稿集
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Pd微粒子膜からの電界電子放出
第61回応用物理学会学術講演会
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ビーム改質有機エミッタの初期有機材料による電子放出特性の違い
第61回応用物理学会学術講演会
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イオンビーム改質および熱改質ポリイミド膜の電気伝導特性
第47回応用物理学関係連合講演会
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スタンプ法による有機材料の構造形成と電界放出型微小電子源への応用
電子情報通信学会電子デバイス研究会
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スタンプ法による微小電子源の作製
応用物理学会九州支部講演会
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イオンビーム改質したポリイミド膜の電気伝導特性
第60回応用物理学会学術講演会
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スタンプ法によるフィールドエミッターの作製
本人
第46回応用物理学関係連合講演会
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スタンプ法によるポイント型フィールドエミッタアレイの作製
第47回応用物理学関係連合講演会
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イオンビーム改質したポリイミドフィルムからの電界放出
本人
第59回応用物理学会学術講演会