PANART KHAJORNRUNGRUANG (カチョーンルンルアン パナート)

KHAJORNRUNGRUANG Panart

写真a

職名

准教授

研究室住所

福岡県飯塚市川津680-4

研究分野・キーワード

光応用計測,ナノスケール可視化,化学的機械研磨

研究室FAX

0948-29-7751

Scopus 論文情報  
総論文数: 0  総Citation: 0  h-index: 6

Citation Countは当該年に発表した論文の被引用数

出身大学 【 表示 / 非表示

  • 2000年03月   大阪大学   工学部   機械工学科   卒業   日本国

出身大学院 【 表示 / 非表示

  • 2002年03月  大阪大学  工学研究科  修士課程・博士前期課程  修了  日本国

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 大阪大学 -  博士(工学)  2005年03月

学内職務経歴 【 表示 / 非表示

  • 2019年04月
    -
    継続中

    九州工業大学   大学院情報工学研究院   知的システム工学研究系   准教授  

  • 2016年09月
    -
    2019年03月

    九州工業大学   大学院情報工学研究院   機械情報工学研究系   准教授  

  • 2014年11月
    -
    2016年08月

    九州工業大学   大学院情報工学研究院   機械情報工学研究系   助教  

  • 2007年04月
    -
    2014年10月

    九州工業大学   先端金型センター   助教  

  • 2006年04月
    -
    2007年03月

    九州工業大学   先端金型センター   助手  

全件表示 >>

学外略歴 【 表示 / 非表示

  • 2013年03月
    -
    2014年03月

    クラークソン大学(米国)   the Center for Advanced Materials Processing (CAMP)   特任准教授   アメリカ合衆国

所属学会・委員会 【 表示 / 非表示

  • 2014年04月
    -
    2020年03月
     

    日本光学会  日本国

  • 2012年03月
    -
    2020年07月
     

    ヨロッパ精密工学会  グレートブリテンおよび北部アイルランド連合王国(英国)

  • 2011年04月
    -
    継続中
     

    精密工学会アフィリエイト委員会  日本国

  • 2009年04月
    -
    継続中
     

    砥粒加工学会  日本国

  • 2008年09月
    -
    継続中
     

    プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会  日本国

全件表示 >>

専門分野(科研費分類) 【 表示 / 非表示

  • 光工学・光量子科学

  • ナノマイクロシステム

  • 生産工学・加工学

  • 計測工学

 

研究経歴 【 表示 / 非表示

  • ナノスケール界面におけるナノ微粒子動的挙動の可視化

    エバネッセント場,ナノ粒子,可視化,界面,光,レーザ,動的  

    研究期間: 2008年04月  -  継続中

  • 近接場光による刃先端のナノ位置計測

    研究期間: 2015年10月  -  継続中

  • 光回折による微小径工具の切れ刃位置のオンマシン計測

    計測,機械加工,回折,オンマシン,工具,光応用  

    研究期間: 2005年10月  -  2017年03月

  • Chemical Mechanical Polishing

    半導体,研磨,ナノ粒子  

    研究期間: 2005年04月  -  継続中

論文 【 表示 / 非表示

  • Light scattering model for individual sub-100-nm particle size determination in an evanescent field

    Panart Khajornrungruang, Sevim Korkmaz, Pal Angshuman, Keisuke Suzuki, Keiichi Kimura, Suryadevara V. Babu

    Japanese Journal of Applied Physics    55 ( 6S3 ) 06JG02-1 - 06JG02-2   2016年06月  [査読有り]

    DOI CiNii

  • Observation of the formation of anisotropic silver microstructures by evanescent wave and electron microscopy

    Angshuman Pal, Panart Khajornrungruang, Christopher Netzband, Sriveda Alety, S. V. Babu

    Nanotechnology    27 ( 7 ) 075708 (1) - 075708 (10)   2016年02月  [査読有り]

     概要を見る

    Using a well-known galvanic displacement reaction, ~25–40 μm long silver ribbons grown after mixing ~50 nm copper particles with AgNO3 solution were observed as a function of Ag+ concentration and their growth was characterized in real-time and in situ by evanescent wave (EW) microscopy. At low Ag+ concentration, chain-like structures consisting of both Ag and Cu were observed. When the sequence of mixing these two reactants was reversed, different Ag microstructures (platelets and dendrites) were formed and were also characterized by EW microscopy. Dependence of the morphology of all these microstructures on silver ion concentration was determined by EW microscopy in conjunction with scanning and transmission electron microscopy.

    機関リポジトリ DOI Scopus

  • Real time imaging of the growth of silver ribbons by evanescent wave microscopy

    Angshuman Pal, Panart Khajornrungruang, S. V. Babu

    RSC Advances    5   71830 - 71834   2015年08月  [査読有り]

     概要を見る

    Real time visualization of the in situ growth of ∼40 μm long high aspect ratio silver ribbons, synthesized by template-free galvanic displacement using ∼100 nm Cu particles and Ag ions in aqueous conditions, is demonstrated using evanescent wave microscopy. The observed growth rate from several ribbons is 1.5 ± 0.5 μm/s.

    DOI Scopus

  • Spatial Fourier Transform Analysis of Polishing Pad Surface Topography

    Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Takahisa Okuzono, Keisuke Suzuki, and Takashi Kushida

    Japanese Journal of Applied Physics    51 ( 5 )   2012年05月  [査読有り]

    DOI Scopus CiNii

  • Study on the SUAM Double Magnet System for Polishing

    Nakasaki Tatsuya, Kinoshita Yushi, Khajornrungruang Panart, Otabe Edmund Soji, Suzuki Keisuke

    International Journal of Automation Technology  ( 富士技術出版株式会社 )  15 ( 4 ) 503 - 511   2021年01月  [査読有り]

     概要を見る

    <p>Superconductive assisted machining (SUAM) is a novel machining method that eliminates tool interference via magnetic levitation tools. In our study, we developed a double magnet system (DMS) to increase the maximum power of the holding force and stabilize the magnetic rotation during polishing via the higher magnetic flux compared to a single magnet system (SMS). The maximum magnetic flux density of the DMS was approximately 100 mT higher than that of the SMS. In these cases, the entire holding force increases as the distance between the superconducting bulk and lower magnet decreases. The attractive forces are maximum around a displacement of 6 mm, although the repulsive and restoring forces increase spontaneously. The polishing performances of the DMS on the SUS304 and A1100P plates were evaluated using water-based diamond slurries, for equal levitation amounts. The amount removed by the DMS increased for the A1100P and SUS304 substrates compared to that by the SMS. In this case, we observe that the deviation of the polishing area on the DMS decreases compared to that of the SMS, reflecting a more stable rotation and movement due to the higher holding force.</p>

    DOI CiNii

全件表示 >>

口頭発表・ポスター発表等 【 表示 / 非表示

  • 層間絶縁膜CMPプロセスにおけるスラリー中の微粒子の挙動観察

    出井良和

    2009年度 日本機械学会九州支部第63期総会・講演会  (熊本大学(黒髪南キャンパス))  2010年03月  -  2010年03月    日本機械学会

  • CMPプロセスにおけるスラリー中の微粒子の挙動の観察

    出井良和

    2009年度精密工学会九州支部地方講演会  (佐賀大学)  2009年12月  -  2009年12月   

     概要を見る

    CMPプロセスにおけるスラリー中の微粒子の挙動の観察を,レーザー光の照射により発生したエバネッセント光を利用して,微粒子からの散乱光を生じさせ,散乱光を観察することにより実現した.適切な画像処理を施すことで,微粒子の挙動を観察できることを確認した.その結果,粒径500 nmのダイヤモンド微粒子の挙動の観察に成功し,その挙動を確認した.

  • Proposal of Optical Measurement Method for 3D Single Nanoparticle Position Near a Surface

    Panart Khajornrungruang

    the 21th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization  2017年08月  -  2018年08月    Clarkson University and NYSTAR

  • 水酸化フラーレン含有加工液を用いた紫外光照射CMPに関する研究

    李木宣孝

    2009年度精密工学会九州支部地方講演会  2009年12月  -  2009年12月   

  • Observation role of fine particles in dielectric material CMP applying evanescent field

    Panart Khajornrungruang

    Center for Advanced Materials Processing's Annual Technical Meeting 2013  (Saratoga Springs, New York USA)  2013年05月  -  2013年05月    Clarkson University, NYSTAR

全件表示 >>

工業所有権 【 表示 / 非表示

  • 超近接距離の検知方法及びそれを用いた超近接スイッチ

    特願 2016-239439  日本国

    カチョーンルンルアン パナート、鈴木恵友、井上 智輝

  • 半導体基板の表面皮膜の厚さ測定方法

    特願 2016-202457  日本国

    鬼木 喬玄、中利明、松尾正昭、田代康典、鈴木恵友、カチョーンルンルアン パナート

  • 微粒子の3D位置特定装置及び特定方法

    特願 2016-47872  日本国

    カチョーンルンルアン パナート、鈴木恵友、白川裕晃、堺航也

  • 液滴量測定装置及び測定方法

    特願 2015-199979  日本国

    伊藤高廣、カチョーンルンルアン パナート、村上直、鈴木恵友

  • 研磨パッドの表面性状測定方法および装置

    特願 2014-265694  日本国

    松尾尚典、望月宣宏、鈴木恵友、田尻貴寛、カチョーンルンルアン パナート

全件表示 >>

講演 【 表示 / 非表示

  • Concept of Spatial Fourier Transform Analysis for Polishing Pad Surface 3D Topography

    the 22st International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization ( Lake Placid, NY )  2018年08月15日  Clarkson University and Empire State Development Division of Science, Technology and Innovation (NYSTAR)

  • Light Scattering Model for Individual Sub-100-nm Particle Size Determination in an Evanescent Field and its Verification with Compact Apparatus

    the 20st International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization ( Lake Placid, NY )  2016年08月10日  Clarkson University and Empire State Development Division of Science, Technology and Innovation (NYSTAR)

  • 高速加工 における高速回転小径工具の機上計測

    第323回 講習会「機械加工における計測の基礎と最新動向」   2012年12月04日  日本機械学会関西支部

学術関係受賞 【 表示 / 非表示

  • 工作機械技術振興財団奨励賞

    2013年06月   公益財団法人 工作機械技術振興財団   日本国

    受賞者:  田尻貴寛, 木村景一, カチョーン ルンルアン・パナート, 鈴木恵友, 松尾尚典

科研費獲得実績 【 表示 / 非表示

  • ナノスケール加工現象における作用単粒子の三次元空間追跡法及び粒径計測法の確立

    基盤研究(C)

    研究期間:  2016年04月  -  2019年03月

    研究課題番号:  16K06015

  • 機上ポリシング加工現象観察装置の開発およびその現象解析

    若手研究(B)

    研究期間:  2013年04月  -  2015年03月

    研究課題番号:  25870514

  • ArFエキシマレーザ照射援用集積回路金属配線電解めっきおよびエッチング加工の研究

    若手研究(B)

    研究期間:  2008年04月  -  2010年03月

    研究課題番号:  20760086

受託研究・共同研究実施実績 【 表示 / 非表示

  • (AS2311249B)レーザー次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発

    受託研究

    研究期間:  2011年10月  -  継続中

  • パルスレーザ光を用いた回転工具形状測定装置ならびにシステム

    受託研究

    研究期間:  2011年07月  -  2012年03月

     概要を見る

    「知財活用促進ハイウェイ」大学特許価値向上支援

  • レーザ回折光を利用したオンマシン工具計測装置の開発

    受託研究

    研究期間:  2007年08月  -  2008年03月

寄附金・講座 【 表示 / 非表示

  • 平成27年度(公財)金型技術振興財団 研究開発助成

    公益財団法人金型技術振興財団  2016年02月

  • 平成26年度研究助成金

    公益財団法人三井金型振興財団  2014年10月

  • 金型技術振興財団研究開発助成

      2008年04月

その他競争的資金獲得実績 【 表示 / 非表示

  • レーザ一次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発

    提供機関:  (独)科学技術振興機構 

    研究期間:  2011年10月  -  2012年09月

  • パルスレーザ光を用いた回転工具形状測定装置ならびにシステム

    提供機関:  (独)科学技術振興機構 

    研究期間:  2011年07月  -  2012年03月

海外研究歴 【 表示 / 非表示

  • エバネッセント光を用いた超ナノ粒子の可視化

    クラークソン大学  アメリカ合衆国  研究期間:  2013年03月27日  -  2014年03月26日

 

担当授業科目 【 表示 / 非表示

  • 2020年度  システム計測

  • 2020年度  情報工学基礎実験

  • 2020年度  光応用ナノスケール計測特論

  • 2019年度  光応用ナノスケール計測特論

  • 2019年度  情報工学基礎実験

全件表示 >>

担当経験のある授業科目(学外) 【 表示 / 非表示

  • 北九州高専   生産プロセス工学

その他教育活動 【 表示 / 非表示

  • e-car (コンバート電気自動車製作)

    2012年04月
    -
    継続中
  • 学生創造プロジェクト(夢プラン:ハードものつくり系活動)の指導

    2012年04月
    -
    継続中
  • RoDEP (ロボット製作サークル)

    2012年04月
    -
    2013年03月
  • 学生創造プロジェクト(夢プラン:ハードものつくり系活動)の指導

    2011年04月
    -
    2012年03月
  • Kyu-techer (コンバート電気自動車製作)

    2011年04月
    -
    2012年03月

全件表示 >>

 

学会・委員会等活動 【 表示 / 非表示

  • 2020年10月
    -
    2021年11月

    日本機械学会 生産加工・工作機械部門   国際会議 LEM21 実行委員

  • 2016年07月
    -
    2019年07月

    日本機械学会 生産加工・工作機械部門   コンピュータ支援ものづくり体験 実行委員

  • 2014年04月
    -
    2020年03月

    日本光学会   事業・企画担当幹事

  • 2011年12月
    -
    2012年09月

    精密工学会   2012年度精密工学会秋季大会 実行委員・国際シンポジウム委員

  • 2011年04月
    -
    継続中

    精密工学会   アフィリエイト

全件表示 >>

社会貢献活動(講演会・出前講義等) 【 表示 / 非表示

  • 虫めがねで原子は見えるの?

    2021年03月
    -
    継続中

     概要を見る

    熊本学園大学付属高等学校 1~2年

  • 未来に挑戦 マイクロ加工技術

    2015年09月
     
     

     概要を見る

    熊本学園大学付属高等学校 1~2年

  • 未来に挑戦 マイクロ加工技術

    2014年10月
     
     

     概要を見る

    熊本学園大学付属高等学校 1~2年

  • 未来に挑戦 マイクロ加工技術

    2012年04月
    -
    2021年03月
  • 情報工学部主催のISGフェスタ 電気自動車の展示

    2012年04月
    -
    継続中

全件表示 >>

 

国際会議の開催 【 表示 / 非表示

  • Japan-Taiwan Technical Experience Program through Internship in Company

    2012年02月27日  -  2012年03月10日 

  • Workshop on Mechanical Information Science and Technology (Thailand)

    2012年02月09日  -  2012年02月18日  タイ・キングモンクット工科大学との交流事業 共催

  • Workshop on Mechanical Information Science and Technology (Thailand)

    タイ王国  2012年01月30日  -  2012年02月04日 

  • 2011 Japan-Korea CMP students meeting

    韓国  2011年11月14日  -  2011年11月14日  本学・Hanyang University

  • 日韓CMP学生交流ミーティング

    韓国  2011年11月07日  -  2011年11月15日 

全件表示 >>

国際交流窓口担当 【 表示 / 非表示

  • キング・モンクット工科大学 北バンコク校  2009年05月  -  継続中

  • タマサート大学  2009年01月  -  2014年03月

 

PR 【 表示 / 非表示

  • (学生向けPR)

    九州工業大学の公式 YouTube