研究者詳細 - 村上　直

論文 - 村上　直

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Design, fabrication, and evaluation of highly sensitive compact chemical sensor system employing a micro cantilever array and a preconcentrator（共著）査読有り

Takashi Mihara, Tsuyoshi Ikehara, Mitsuo Konno, Sunao Murakami, Ryutaro Maeda, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura

Sensors and Materials 23 ( 7 ) 397 - 417 2011年10月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

we developed a highly sensitive compact chemical sensor system employing a polymer-coated microcantilever sensor array and a thermal preconcentrator. The design, structure, fabrication, and experiment results are reported here. This sensor system had 1) a sub-ppb detection limit concentrated by a preconcentrator and 2) analytical function by thermal desorption of the preconcentrator and multiple cantilevers (acting as the mass sensor) with different polymers. The preconcentrator contained 0.03 g of carbon fiber, and absorption/desorption were controlled by the temperature from room temperature to 520°C. The sample gas was introduced into the preconcentrator using a miniature air pump at a flow rate of 2.0 L/min. Four silicon microcantilevers in one silicon chip fabricated by micro-electromechanical systems (MEMS) technology were packaged in a ceramic flat package and driven by a PZT actuator plate mounted in the package. Using the 4th vibration mode (resonant frequency: 764 kHz) of a polybutadiene (2.52 urn thick)-coated cantilever, the sensitivity was 514 Hz/ppm for toluene and 850 Hz/ ppm for p-xylene with a 5 min preconcentration time. The preconcentration factor and system efficiency of sensing were estimated to be 830 and 0.78, respectively, for toluene. The estimated detection limit of the sensor system was less than 1 ppb for toluene and p-xylene with a 10 L sample volume, which was good enough for application to environmental monitoring. Separate detection of the mixed toluene and p-xylene was also achieved in the form of different time peaks during the heating preconcentrator operation.

Scopus

その他リンク： http://myukk.org/sm_pdf/SM0855.pdf

Fabrication of two-point-supported annular microresonators with vertical transducer gaps（共著）査読有り国際誌

Sunao Murakami, Mitsuo Konno,Tsuyoshi Ikehara, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara

Micro and Nano Letters ( The Institution of Engineering and Technology ) 6 ( 7 ) 469 - 472 2011年07月

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

マイクロ振動子デバイスにおける支持点よりのエネルギー損失を低減する目的で、2点支持の円環型振動子デバイスを作製した。振動子の外周上に振動の節が出現するように円環の穴径等を調整した振動子を、静電的相互作用により駆動することに成功した。

DOI： 10.1049/mnl.2011.0097

Scopus

その他リンク： https://digital-library.theiet.org/content/journals/10.1049/mnl.2011.0097;jsessionid=52h5n50qs1tj2.x-iet-live-01

Novel MEMS oscillator using in-plane disk resonator with sensing platform and its mass sensing （共著）査読有り

Mitsuo Konnno, Tsuyoshi Ikehara, Sunao Murakami, Ryutaro Maeda, Tadashi Fukawa, Mutsumi Kimura, Takashi Mihara

Proceedings of 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (Transducers 2011) 518 - 521 2011年06月

記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）

P.R. China Beijing 2011年06月05日 - 2011年06月09日

平面内振動モードでの振動の節が外周上に位置するように円環型振動子の構造を設計し、その支持梁よりのエネルギー損失を抑えて高いQ値を実現した。また、円環内にガス吸着膜形成用プラットフォーム付きの振動子を用いた有機溶剤の検出にも成功した。

DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2011.5969670

Scopus

その他リンク： http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=5969670

単結晶シリコンの異方性がディスク型MEMS振動子の振動特性に及ぼす影響（共著）査読有り

村上直，昆野舜夫，池原毅，前田龍太郎，三原孝士

電気学会論文誌E ( 一般社団法人　電気学会 ) 130 ( 9 ) - 426 430 2010年09月

担当区分：責任著者記述言語：日本語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

単結晶シリコン製の円板型マイクロ振動子を2種類の面内共振モードで駆動した際に、振動子の支持方位と結晶方位の関係が振動特性に及ぼす影響を検討した。各モードに関して、振動解析および、作製したデバイスの周波数特性より、共振モード形状の対称性により、結晶方位が共振周波数に与える影響の大小は異なることを示した。

DOI： 10.1541/ieejsmas.130.426

Scopus

CiNii Article

その他リンク： https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/130/9/130_9_426/_article/-char/ja/

Fabrication of 150 nm-wide transducer gaps for disk-type resonators by single dry etching process（共著）査読有り

Sunao Murakami, Mitsuo Konno, Tsuyoshi Ikehara, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara

Japanese Journal of Applied Physics 49 ( 6 ) 06GN04 2010年06月

担当区分：責任著者記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

直径200 μmのシリコン製ディスク型振動子を、150 nm幅エアギャップ構造を介して静電的に駆動・検出するデバイスを作製した。作製プロセス確立のため、ドライエッチング条件を調整し、垂直性の高い側壁を有する100および150 nm幅のトレンチ構造の作製に成功した。

DOI： 10.1143/JJAP.49.06GN04

Scopus

その他リンク： http://iopscience.iop.org/1347-4065/49/6S/06GN04/

カンチレバー型化学センサのオンチップ温度センサによる温度補償（共著）

池原毅，村上直，昆野舜夫，布川正史，木村睦，三原孝士

（査読有）平成22年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会ケミカルセンサ研究会資料 57 - 62 2010年06月

MEMS振動子等価回路を用いた発振器の開発と質量センサへの応用（共著）

昆野舜夫，池原毅，村上直，前田龍太郎，三原孝士

（査読有）第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（電気学会）論文集 524 - 527 2009年10月

In vivo tissue response and degradation behavior of PLLA and stereocomplexed PLA nanofibers（共著）査読有り国際誌

Daisuke Ishii, Tang H. Ying, Atsushi Mahara, Sunao Murakami, Tetsuji Yamaoka, Won-ki. Lee, Tadahisa Iwata

Biomacromolecules ( American Chemical Society ) 10 ( 2 ) 237 - 242 2009年02月

Scaffolds from electrospun polyhydroxyalkanoate copolymers: Fabrication, characterization, bioabsorption and tissue response（共著）査読有り国際誌

Tang H. Ying, Daisuke Ishii, Atsushi Mahara, Sunao Murakami, Tetsuji Yamaoka, Kamar Sudesh, Razip Samian, Masahiro Fujita, Mizuo Maeda, Tadahisa Iwata

Biomaterials ( Elsevier Ltd ) 29 ( 10 ) 1307 - 1317 2008年04月

Effect of diglucosamine on the entrapment of protein into liposomes（共著）査読有り

Sunao Murakami, Tsutomu Ono, Shinji Sakai, Hiroyuki Ijima, Koei Kawakami

Journal of Liposome Research ( Taylor & Francis Group, LLC ) 16 ( 2 ) 103 - 112 2006年05月

Enhancement of the liver specific functions of primary rat hepatocytes co-cultured with bone marrow cells on tissue culture treated polystyrene surfaces（共著）査読有り国際誌

Hiroyuki Ijima, Sunao Murakami, Takeshi Matsuo, Takayuki Takei, Tsutomu Ono, Koei Kawakami

Journal of Artificial Organs ( The Japanese Society for Artificial Organs ) 8 ( 2 ) 104 - 109 2005年08月

Development of co-culture system of hepatocytes with bone marrow cells for expression and maintenance of hepatic functions（共著）査読有り

Sunao Murakami, Hiroyuki Ijima, Tsutomu Ono, Koei Kawakami

The International Journal of Artificial Organs ( Wichtig Editore ) 27 ( 2 ) 118 - 126 2004年02月

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