Conference Prsentations (Oral, Poster) -
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熱フィラメントCVD法により成長した高濃度リンドープダイヤモンド(111)薄膜の電気的特性
片宗優貴，和泉亮，市川公善，小泉聡
第36回ダイヤモンドシンポジウム
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RFマグネトロンスパッタ法によるダイヤモンド (100)基板上へのβ-Ga2O3薄膜の⼀軸配向成長
草場 崇史、Sittimart Phongsaphak、楢木野 宏、片宗 優貴、大曲 新矢、吉武 剛
第13回半導体デバイスフォーラム
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HWCVD 法による SiCN 膜堆積における加熱触媒体表面の変質状態の調査
米満 宥希，片宗 優貴，和泉 亮
第13回半導体デバイスフォーラム
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熱フィラメントCVD法によるn型ダイヤモンドの成長と高濃度ドーピング
片宗 優貴，和泉 亮，市川公善，小泉聡
第19回Cat-CVD研究会 2022.07
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熱フィラメントCVD法による多結晶ダイヤモンド膜の成長に及ぼすリン不純物添加の影響
山口一色、片宗優貴、和泉亮
第19回Cat-CVD研究会
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SiCN膜堆積における加熱触媒体表面の変質状態の調査
米満宥希、森永隆希、岩崎雄大、片宗優貴、和泉亮
第19回Cat-CVD研究会
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Si基板上への多結晶ダイヤモンドの成長における予備成長層の検討
中野晃良、松本拓万、山口一色、片宗優貴、和泉亮
第19回Cat-CVD研究会
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加熱触媒体により生成したラジカルを用いた 新規滅菌法に関する基礎検討
川田正幸, 片宗優貴, 和泉亮
第19回Cat-CVD研究会
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HW法におけるHMDSを用いたタングステン触媒体の表面炭化組成の評価
岩﨑 雄大 、森永 隆希 、米満 宥希、片宗 優貴 、和泉 亮
第19回Cat-CVD研究会
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Heavily phosphorus-doped diamond thin films grown by hot-filament CVD
Y. Katamune, A. Izumi, K. Ichikawa, and S. Koizumi
NDNC2022 2022.06
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Effects of trimethylphosphine on additional growth of polycrystalline diamond films by hot-filament chemical vapor deposition
T.Matsumoto, Y.Katamune, H.Yamaguchi, A.Nakano, A.Izumi
NDNC2022 2022.06
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熱フィラメントCVD法により成長した リンドープn型ダイヤモンド薄膜のカソードルミネッセンス
片宗 優貴，森 大地，和泉 亮， 市川 公善，寺地 徳之，渡邊 賢司，小泉 聡
第69回応用物理学会春季学術講演会
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導電性 AFM法によるダイヤモンドショットキーバリアダイオードの漏れ電流解析
山口遼平、大曲新矢、片宗優貴、和泉亮、上原 雅人、山田浩志
2021年度応用物理学会九州支部学術講演会
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HW 法により生成した水素ラジカルによる高温状態での粉鉱の還元
中原由翔、片宗優貴、和泉亮
2021年度応用物理学会九州支部学術講演会
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H2O/H2分解種を用いて低温直接酸化で形成したSiO2/Si(100)の電気的特性調査
松永和樹、片宗優貴、和泉亮
2021年度応用物理学会九州支部学術講演会
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Leakage current analysis of diamond Schottky barrier diodes by conductive atomic force microscopy
Ryohei Yamaguchi, Shinya Ohmagari, Yūki Katamune, Akira Izumi, Masato Uehara, and Hiroshi Yamada
ICAE2021
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熱フィラメントCVD法によるリン 添加多結晶ダイヤモンド膜の成長
松本拓万，片宗優貴，和泉亮
NDF若手研究会
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熱フィラメントCVD法による多結晶ダイヤモンド薄膜の成長とリン不純物添加
片宗 優貴，室津 遼，平木 元博，松浦 耕洋，和泉 亮
第18回Cat-CVD研究会
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触媒体表面処理を施して堆積したSiCN膜の表面組成の調査
森永隆希、岩崎雄大、片宗優貴、和泉亮
第18回Cat-CVD研究会
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熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド成長膜の高品質化と大型ショットキーバリアダイオードの作製
山口遼平、大曲新矢、Phongsaphak Sittimart、片宗優貴、和泉亮
第18回Cat-CVD研究会