Conference Prsentations (Oral, Poster) -
-
Development of fine positioning table supported by squeezed air films based on levitation force control (3rd report) - Consideration of support ability improvement by parallelism alignment -
Yuuma Tamaru, Shutaro Tofuku,Hiroki Shimizu
-
磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第3報）—2軸駆動装置におけるジグザグ送り—
田丸雄摩,河田謙介,清水浩貴
2020年度精密工学会春季大会
-
Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect
Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto, Hiroki Shimizu
8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
-
磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第2報）—2軸駆動装置の開発と性能評価—
田丸雄摩
2019年度精密工学会秋季大会
-
Properties of Uniaxial Flexible Support Table for Fine Positioning by Magnetic Attraction Controlled
-
MEMS技術を利用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第8報）ー10点同時測定による誤差累積の影響低減ー
水上翔一朗
2019年度精密工学会春季大会
-
逐次二点法と差動オートコリメーション法を併用した真直度機上測定
宮田佑
2019年度精密工学会春季大会
-
磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発
田丸雄摩
2019年度精密工学会春季大会
-
磁気吸引力を利用した2軸可撓支持微動テーブルの開発
河田謙介
日本機械学会第50回卒業研究発表会
-
浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第2報） －180°位相差加振支持による微動テーブルの制振評価－
田丸雄摩
2018年度精密工学会秋季大会
-
Developing of flexible support table for fine positioning by magnetic controlled
-
Evaluation for fine positioning table properties supported by squeezed air films based on static pressure controlled
-
Development of fine motion table supported by squeezed air films based on levitation force control
-
Scanning flatness measurement using multi point method and angle correction (3th Report)
-
Development of sensor device using MEMS technology for scanning profile measurement with multi - point method ( 7th Report)
-
Development of positioning table with non-contact support by magnetic force controlled
-
Development of fine positioning table supported on squeezed-air film by static pressure controlled
-
真直形状測定用3点法マルチカンチレバー変位計の高感度化モデルの検討
荒牧健太郎
日本機械学会2016年度年次大会
-
角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第3報）－平面測定のためのゼロ点調整誤差除去法の提案－
山下亮祐
2016年度精密工学会春季大会学術講演会 精密工学会
-
2点法真直度測定結果の接続による平面形状測定
石橋和也
日本機械学会九州学生会第47回卒業研究発表講演会 日本機械学会