Conference Prsentations (Oral, Poster) -
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スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振
松本勇毅，田丸雄摩，清水浩貴
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 （ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合）
水頭正一郎，清水浩貴，田丸雄摩
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作））
柳原慎也
2012年度精密工学会春季大会
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拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第3報）（試料ステージの姿勢誤差補正と安定性の向上）
塩見真弘
2012年度精密工学会春季大会
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弾性ヒンジを用いた多自由度の位置・姿勢誤差補正機構
野上貴巨
日本機械学会九州学生会
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小型可変形鏡のためのPUSH-PULLアクチュエータユニットの開発
今井康弘
日本機械学会九州学生会
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両端角度補正付き3点法を用いた走査型平面度測定法
岩本裕輝
日本機械学会九州学生会
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2. MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）
秋好崇宏
2011年度精密工学会春季大会
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推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（案内の傾斜角調整による推進）
本人
2010年度精密工学会九州支部熊本地方講演会論文集
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拡張レーザオートコリメーション法による形状測定装置の開発（第2報）（曲面の法線方向を高分解能で測定できる角度センサ）
機械知能 平田裕一
2010年度精密工学会春季大会講演論文集
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可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高機能化（第2報）（押し引き可能な変形機構を用いた可変形鏡の開発）
機械知能 式守良寛
2010年度精密工学会春季大会講演会
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非点収差法を用いたマイクロタッチプローブ球精密変位検出法（プローブ球変位時のスポット形状解析と基礎実験）
2011年度精密工学会春季大会講演論文集
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計）
2011年度精密工学会春季大会講演論文集
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両端角度測定を併用した3点法による走査形状測定
機械知能 秋好崇宏
2009年度精密工学会秋季大会講演論文集
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姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ（第1報 構想の装置の試作）
機械知能工学専攻
2009年度精密工学会春季大会講演論文集
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非点収差法を利用したマイクロタッチプローブ（光学系設計とシミュレーションによる感度解析）
日本機械学会九州支部第62期講演会
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浮上量差による推進機構を付加したスクイーズ支持リニアスライダ
本人
2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
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スクイーズ膜支持によるリニアモータの基礎特性
室本国人
九州学生会・第39回学生会卒業研究発表講演会
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可変形鏡を用いた光学測定機器の較正と高性能化（第1報）-特性補正の基礎実験-
諸冨啓
2008年度精密工学会春季大会講演論文集
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連係微動による位置決めステージの開発
本人
2007年度精密工学会秋季大会講演論文集