Conference Prsentations (Oral, Poster) -
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報）－デバイス探針の摩耗評価装置の製作－
清水浩貴
2015年度精密工学会秋季大会学術講演会 精密工学会
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スクイーズ効果で浮上支持された物体の制振性能向上
中村俊紀
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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大面積ホログラフィック光学素子製作装置の開発
古谷龍太郎
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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MEMS変位計デバイス摩耗試験装置の開発
松本航
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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走査形状測定用三点法マルチカンチレバー変位計の高精度化－相互干渉に起因する誤差の低減－
小松総一朗
日本機械学会九州学生会第46回卒業研究発表講演会 日本機械学会
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Active Damping Control for Floating Object Supported on Squeeze Film Air Effect(Improving of Measuring Verification by Completely Non-Contact Support)
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報：表面荒れを抑えた探針製作法）
殘華智仁
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第一報：測定原理の検討と基礎的検証）
藤田豊栄
2014年度精密工学会春季大会学術講演会
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Prototyping of device for flatness evaluation using five-point method
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Characteristic of Horizontal Holding Force for Specimen by Squeezed-Air Film Effect
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Highly stable angle sensor reducing the influence of deflection of the laser beam
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Prototyping of the on-machine profiler for machined surface using 3-point method
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Development of an equipment for manufacturing holographic optical element
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Trial production of displacement sensing device for planer surface measurement by three-point method
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推進機構を付加したスクイーズ膜支持リニアスライダ（圧電素子の急速変形による慣性力を利用した推進）
森田賢史，田丸雄摩，清水浩貴
日本機械学会九州学生会
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3 点法真直形状測定に用いるマルチカンチレ バー変位計の試作
久保智裕，清水浩貴，田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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AFMの原理に基づく機械加工面形状計測装置に関する基礎的研究
荒木健太，清水浩貴，田丸雄摩
日本機械学会九州学生会
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スクイーズ膜支持リニアスライダのアクティブ制振
松本勇毅，田丸雄摩，清水浩貴
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 （ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合）
水頭正一郎，清水浩貴，田丸雄摩
精密工学会秋季大会
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MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作））
柳原慎也
2012年度精密工学会春季大会