論文 - 新海 聡子
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Alメタライゼーション系へのAl3Hf/Hf積層膜の拡散バリヤとしての適用
新海聡子,佐々木克孝,阿部良夫,柳沢英人
電子情報通信学会, 技術研究報告, SDM 97-184 49 - 55 1998年04月
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(001)Siと(111)Si上へのAl/HfN積層膜の連続単配向成長条件の検討
新海聡子,佐々木克孝
電子情報通信学会, 技術研究報告, CPM 98-118 35 - 40 1998年04月
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Al3Hf金属間化合物膜の結晶化過程と電気的特性 査読有り
新海聡子，柳沢英人，川村みどり，阿部良夫，佐々木克孝
電子情報通信学会論文誌(C-II) J80-C-II ( 9 ) 309 - 311 1997年04月
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n-(001)Si上への単配向Hf膜の作製条件の検討
新海聡子,柳沢英人,川村みどり,阿部良夫,佐々木克孝
電子情報通信学会, 技術研究報告 CPM 97-56 27 - 33 1997年04月