口頭発表・ポスター発表等 - 片宗 優貴
-
H2O/H2を導入したHWCVD法によるSiOCN膜の形成
田原慎一，福島和哉，大戸崇伸，田原慎一，片宗優貴，和泉亮
平成29年度応用物理学会九州支部学術講演会
-
Formation of diamond films using organic phosphorus solutions by hot filament chemical vapor deposition
Yuki Katamune, Daisuke Arikawa, Akira Izumi
OIST Diamond Workshop 2017
-
Doping effects on minority-carrier lifetimes in ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films
Naofumi Nishikawa, Satoshi Takeichi, Shuya Tategami, Kenjiro Takauchi, Naoki Matsuda, Yuki Katamune, Atsuhiko Fukuyama, and Tsuyoshi Yoshitake
JSAP-OSA Joint Symposia 2017, 第78回応用物理学会秋季学術講演会
-
高温プロセスにおける有機シリコン化合物原料を用いたSiCN膜の合成と組成制御
片宗優貴，森寛人，和泉亮
第14回Cat-CVD研究会
-
HWCVD法により堆積したSiCN膜のCu拡散バリア膜としての性能評価
筒井 逸仁，林田 祥吾，片宗 優貴，和泉 亮
第14回Cat-CVD研究会
-
HWCVD 法により堆積した SiCN 膜の機械的特性評価
森寛人，片宗優貴，和泉亮
平成29年度九州表面・真空研究会2017（兼 第22回九州薄膜表面研究会）
-
加熱触媒体を⽤いて⽣成した H2O/H2分解種による Si 基板の低温酸化
田原慎一、大戸崇伸、片宗優貴、和泉亮
平成29年度九州表面・真空研究会2017（兼 第22回九州薄膜表面研究会）
-
Diamond Growth on SiCN films by Hot Filament Chemical Vapor Deposition
Y. Katamune, H. Mori, and A. Izumi
平成28年度応用物理学会九州支部学術講演会
-
加熱触媒体によるOHラジカルの生成とSiの低温酸化条件の検討
大戸崇伸、片宗優貴、和泉亮
2016 年真空・表面科学合同講演会 第 36 回表面科学学術講演会 第 57 回真空に関する連合講演会
-
Defect Structures of Ultrananocrystalline Diamond/Hydrogenated Amorphous Carbon Composite Films Prepared By Physical Vapor Deposition
Y. Katamune, S. Takeichi, S. Al Riyami, and T. Yoshitake
Pasific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME 2016)/230th ECS Meeting
-
Thermal Conductivity of Ultrananocrystalline Diamond/Nonhydrogenated Amorphous Carbon Composite Films Prepared By Coaxial Arc Plasma Deposition
S. Takeichi, T. Nishiyama, M. Kohno, K. Takahashi, Y. Katamune, and T. Yoshitake
Pasific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME 2016)/230th ECS Meeting
-
Diamond growth with SiCN interlayer by Hot Filament Chemical Vapor Deposition
Y. Katamune, H. Mori, and A. Izumi
9th international conference on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition
-
Electrical and barrier properties of SiCN films deposited by hot-wire chemical vapor deposition
Shogo Hayashida, Yuki Katamune, Akira Izumi
9th international conference on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition
-
HF-CVD法によるダイヤモンド膜の形成におけるSiCN中間層の検討
片宗優貴、森寛人、和泉亮
第13回Cat‒CVD研究会
-
ホウ素ドープ超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の欠陥構造の評価
片宗 優貴、竹市 悟志、吉武 剛
第63回 応用物理学会春季学術講演会
-
硬X線光電子分光法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の化学結合構造および電子状態の評価
片宗 優貴
第8 回SPring-8 萌芽的研究支援ワークショップ