Conference Prsentations (Oral, Poster) -
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CMPにおけるポリシング界面の摩擦およびスラリー流れの現象解析
由井 隆司, 木村 景一, 鈴木 恵友, パナート カチョーンルンルアン, 有本 翔太
精密工学会学術講演会講演論文集
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904 Study on method for analyzing of polishing pad surface based on light diffraction pattern
Takahashi Suguru, Panart Khajornrungruang, Kimura Keiichi, Suzuki Keisuke
The Proceedings of Conference of Kyushu Branch
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903 Study on relationship between change of slurry component and polishing rate in Cu CMP
Fukagawa Hironobu, Suzuki Keisuke, Kimura Keiichi, Panart Khajornrungruang, Fukuda Akira, Wada Yutaka, Hiyama Hirokuni, Fukunaga Akira
The Proceedings of Conference of Kyushu Branch
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608 Study on Variable Rotation Polishing in CMP Process
Pipat PHAISALPANUMAS, KIMURA Keiichi, SUZUKI Keisuke, Panart KHAJORNRUNGRUANG
日本機械学会九州支部講演論文集
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Correlation Between Spatial Fourier Transformed Topography of Polishing Pad Surface and Its Material Removal Rate
Panart Khajornrugnruang
ICPT 2011
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Effect of Fullerenol as Fine Particles in Sapphire CMP Slurry
Takashi Saito
ICPT 2011
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Study on The Measurement of Slurry Layer Thickness using Laser Diode
Yasushi Yamane
ICPT 2011
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Study on Behavior of Fine Particles on Polishing Surface in SiO2 CMP
Yoshikazu Idei
ICPT 2011
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Study on The Material Removal Mechanism of SiO2-CMP
Akiho Tanaka
ICPT 2011
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Investigation on Relationship Between Friction and Polishing Rate with In-situ Dressing
Ryuji Yui
ICPT 2011
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Study on Evaluation Method for Surface Topography of Polishing Pad Based on Optical Fourier Transform
Takashi Kushida
ICPT 2011
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Measurements of Slurry Film Thickness during CMP
HIronobu Fukagawa
ICPT 2011
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サファイア CMP における水酸化 フラーレン混合 スラリーに関する研究 ̶コロイタルシリカスラリーをヘースとした研磨特性の検証
齊藤貴志
2011年度精密工学会全国秋季大会
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エハネッセントを応用したSiO2 膜CMPにおける研磨微粒子の挙動に関する研究
出井良和
2011年度精密工学会全国秋季大会
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光学的フーリエ変換に基ついたCMP用ホリシンクハットの表面形状評価に関する研究
櫛田高志
2011年度精密工学会全国秋季大会
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摩擦力評価法によるCMP性能に関する研究
鈴木恵友
2011年砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2011)
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ポリシングパッド表面トポグラフィーの空間的FFT解析
カチョーンルンルアン パナート
2011年砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2011)
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Performance of Water-Soluble Fullerenol as Novel Functional Fine Particles for Polishing Nanosurfaces
Keisuke Suzuki
The 16th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization (CAMP)
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7. MEMS技術を応用したCMP用マイクロハターンハットの研究 ̶PEEK材を使用した耐摩耗性パットの評価
安田佳祐
2011年度精密工学会全国春季大会
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FFT解析に基ついたホリシンクハットの表面形状評価とその研 磨性能に関する研究
奥園貴久
2011年度精密工学会全国春季大会